Патенты с меткой «299044»

Номер патента: 299044

Опубликовано: 01.01.1971

Авторы: Данилина, Иванова, Электронной

МПК: H05K 7/00

Метки: 299044

...холодными катодами, магнитной системой, создающей магнитное поле, направленное перпендикулярно электрическому полю и держатель подложки, на которую напыляется диэлектрическая пленка.Однако устройства не обеспечивают получения сильно окисленных однородных пленок с высокими диэлектрическими параметрами из-за электронно-ионной бомбардировки пленок при напылении.С целью получения высококачественных аленок в предлагаемом устройстве используют анод П-образной формы, а подложку размещают под анодом вне области газового разряда.На чертеже изображена конструкция предлагаемого устройства.Газоразрядная камера 1 содержит П-образный анод 2 и магнитную систему, полюсные наконечники 3 и 4 которой снабжены,насадками 5 и б из распыляемых материалов...