Всесоюзная iч r-•. -j”•f•, “• • •• t. fi i -i; . кг •. а; , v•б;: ь: мо; .: чд;

Номер патента: 292105

Авторы: Осипов, Павлов, Токарев

ZIP архив

Текст

ОПИСАНИЕ 292105ИЗОБРЕТЕН ИЯ СоЖа СГветских Социалистических РеспубликАВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУЗависимое от авт, свидетельст.ЧП 1 б 01 п 21 явлено 19.111.1964 (М 889150/26-25 сорисоединением заявки Комитет по делам зобретений и открытий при Совете Министров СССРПриоритет -Опубликовано 06 1,1971. Бюл Дата опубликования описания 9,107 (088.8 петень97 вторы обретен. Д, Токарев, В. Н. Осипов и В, А. Павло 1 l, Ст1 аявител с ъ ВИДЕОКОНТРОЛЬНОЕ УСТРОЙСТВО РАСТРОВО ЭЛЕКТРОННОГО МИКРОЗОНДОВОГО ПРИБОР Изобретение относится к растровым электронным микрозондовым приборам.Электронные микрозондовые приборы рентгеновские микроанализаторы и растровые электронные микроскопы - хорошо известны, например прибор МАР,В известных приборах участок анализа, например рентгеноспектральный, выбирается неподвижным зондом с помощью светового оптического микроскопа с большим увеличением, Зону анализа удается различить в микроскопе электронным зондом либо за счет загрязнения зоны анализа продуктами разложения паров масла, либо за счет излучений объекта в видимой части спектра,Известные видеоконтрольные устройства растровых приборов не позволяют точно выбирать по изображению объекта зону анализа неподвижным зондом, так как изображение объекта на экране получают за счет непрерывного движения зонда, а при выключении развертки изображение на экране кинескопа отсутствует.Целью изобретения является повышение разрешающей способности микрозондовых приборов, точности и локальности анализа,Для этого в известное видеоконтрольное устройство, содержащее генераторы разверток, спектральный зонд в колонне прибора и на экранах ЭЛТ, датчики, видеоусилители, электроццолучевые трубки и блоки питания, введена схема формирования на экране электроннолучевых трубок сигнала положения неотклоненного луча на поверхности объекта.Предлагаемое видеоконтрольное устройствопозволяет исключить использование светового микроскопа, поскольку, во-первых, изображение объекта и зоны анализа может быть получено со значительно большим (по крайней мере на порядок) полезным увеличением ц разрешением; во-вторых, изображение объекта и зоны анализа получают при любом чистом вакууме и в любом виде вторичного излучения объекта при установке в камеру объектов соответствующих датчиков. Это значительно повышает точность выбора зоны анализа, локальность и диапазон исследований.На чертеже изображена схема формцрова.ния, состоящая из датчика положения луча по 20 координатам х и у, например, отклоняющейсистемы 1, к которой подключены два формирователя 2 импульса положения неотклонец.ного луча, усилителей 3 и смесителя-формиро.вателя 4, осуществляющего формирование 2-, сложного видеосигнала,Видеосигнал со смесителя 4, несущий информацию о любом вторичном излучении объекта и положении на объекте неотклоненного электронного зонда по двум координатам, по- зО дается на модулпрующий электрод ЭЛТ.292105 Предмет изобретения Составитель Л. А. ТребушинннаРедактор Т. 3. Орловская Техред А. А, Камышникова Корректор Н. Л. Бронская Тираж 473тений и открытий при Совете М35, Раушская наб д. 4/5 Заказ 124 ЦНИИПИ Подписноестров СССР делам изо Москва, митета Загорская типографи На экране ЭЛТ получают изобрджение объекта с наложенной на него неподвижной яркостной меткой, например перекрестием двух линий, Центр перекрестия точно указывает зону локального анализа. Видео контрольное устройство растрового электронного микрозондового прибора, состоящее из генераторов разверток, блока индикаторов с электроннолучевыми трубками, видеоусилителей, детекторов вторичного излучения объекта, отклоняющих систем и источников питания, отличающееся тем, что, с целью повышения точности выбора зоны локального 5 анализа объекта неподвижным зондом, улучшения локальности анализа и расширения диапазона исследований, в него введена двухканальная схема управления выбором зоны локального анализа, состоящая из формировате лей сигнала положения неотклоненного зонда,усилителей и смесителя-формирователя видеосигнала.

Смотреть

Заявка

889150

П. Д. Токарев, В. Н. Осипов, В. А. Павлов

МПК / Метки

МПК: G01B 15/00, H01J 37/26, H04N 5/321

Метки: j"•f•, v«b», всесоюзная, мо, р•, чд

Опубликовано: 01.01.1971

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-292105-vsesoyuznaya-ich-r-jf-t-fi-i-i-kg-a-vb-mo-chd.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Всесоюзная iч r-•. -j”•f•, “• • •• t. fi i -i; . кг •. а; , v•б;: ь: мо; .: чд;</a>

Похожие патенты