Вакуумное шлюзовое устройство
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
О П И С А Н И Е 9 фкаИЗОБРЕТЕН Ия Сооз Соеетских Соиалистических РеспубликК АЕ РСКОмУ СВИДЕ 7 ЕЛС 7 ВУЗависимое от авт. свидетельства М -Заявлено 21.11.1969 (М 1313535/25 8)с прпсосдппснпсм заявки М -Приоритет -Оп бликовано 06,1,1971. Боллстень,о 4Дата опубликованпя опися:шя 10.71.1971 Комитет по делам изобретений и открьтй пои Совете Министров СССРВ. Л, Бибер и Л. Ь. Хейфец 3 25 ВИТЕЛ Ь 15 Р КУУМ.1 ОР тБД 1 ОЗОЬС 1: У 1"Т-"Уйс ВЗ Изобретение предназначено для использования в вакуумно-технологическом оборудовании для производства элементов электронных приборов методами напыления и других технологических операциях.В отличие от известных устройств аналогичного назначения сот например, патент (ОРГ925633, 1955 г., кл. 47 д, 22/01) данная конструкции имеет более надежное уплотпсние шлюзового цилиндра, благодарч применению материала, обладаощсго гпдростатичсскими свойствами в полостях уплотнения - вкладыша, изготовленного из самосмазывающегося материаланапример, фторопласта).На фиГ. 1 изооряжсн шлюз, про(вилпы разрез; на фиг. 2 - то же, вид сверху с вьтрывом; на фиг. 3 - частичный поперечный разрез по Л - А, на фиг. 1; на фиг. 4 - поперечный разрез по Б - Б на фиг. 1.В корпус 1 вмонтирован на подцппникяхшлюзовой цилиндр 3 с обработанной с высоким классом чистоты повсрхност,то, Со стороы атмосферы в прямоугольнос Окпо корпуса Вставлен В:тадыш 4 из самосмазываощсгося материала, герметичное соединение которого с корпусом обеспечивается посредством гайки 5 через шайбу 6 уплотнением 7, смонтированным в боковой крышке (5.Вкладыш Имеет полости 9 (с:. фпг. 3) и 10 сх. фиг, 1), запо.пеппыс розОп лп;ргим материалом с. Г.(дростатическп.,п свойст 32 би. полости Образуот н 2 Вкладыше тонкуО стенку герметично прижимаоцуося к шлюЗовобУ цндр;. ГПЛООСТЯТП 1 ССК МЯТЕРИЯ ПОтт - ,ЕСТВЕ,; ПОО(КО /аа П,ГЯ 0 т :Олостп с торцов. В крыш;2 х 12 и 1 5, ГсрмсТЧПО СОСТЫКОВЯНПЫХ С КО:;ПСол СО СОРПЬ торцов, смонтированы пр 5(мы, состотпцис пз винтов И и штифтов 12, оказывятощих прп- О ткичпос си,и(. На ппобкп Ппижпмпыс Вптрп,1 Еи И очи 1 и . т,.Пт 1 1 р 7 ПСхп 17. 3230(1 1 плсзОВОГО ц,дра с ьорп со. со стороты Ваю, х 2 сОстявл 5 ет пс бол 0,1 л.л, что обеспечивает э(1(си Ивпась откачки,Оппсатшый плюз раоотасг следуюшпм обПЯЗОМ.Через ствсрспс В боковой кры ткс ) и вкл- дыш 4 Объс шл 030 ВЯИИ 5 3;Гружастся ь 20 пездо 18 шлюзового ци;шпдра . Цилиндр отПНСШНСГО ПРНВСДЯ ПОЬОРЯЧПВаетСЯ тЯК, ЧтО ГОздо с Ооъ(ктм ш,озовзнпя проходт про:,.С 5( точную Откя 1"., я загс0(ьст;т ВыГ 15 - жас с В р ЯбочО (е меру.25Пред., ст пзобретснпяВакуубшос шгпозавое устройство, состоящссПЗ НОРУСЯ С СПС;СМОЙ ПРОМСЖ;ТохНОЙ ОТКЯЧ- кп, ш,позогого п.пцдра с пр;подом и уплот нсшя пз самосмазыватощсгос 5:5 атер 2,а с292048 Фиг. 1 Состаиигепь В. Цукериик Редактор Левятов Текред Л. Л. Камыжинкова Корректор Т, Л. ДжаманкулПодписноеетс Мн 1 и 1 стров СССР Тираж 47открыт 1 и прн Скаи иаб., д. 4/5 делам изооретсинй 11 оски а )К.З 5 Р ауш прилипни типографии М( отверстием для передачи объекта шлюзования, отличающееся тем, что, с целью увеличения степени герметичности шгпозового цилиндра, уплотнение содер 1 кит полости, заполненные материалом, обладающим гидростатическими свойствами, так что полости образу 1 от в уплотнении тонкую стенку, герметично при:кима 1 ощуюся к шл 1030 ВО 11 у цилиндоу Гидростатпчсским материалом, находящимся под давлением прижимных ВинтОВ чсреЗ Закрыва ющие полости пробки, имеющие форму попер:чного сечения полости.
СмотретьЗаявка
1313535
В. Л. Бибср, А. Б. Хеифец
МПК / Метки
МПК: F16K 5/04
Опубликовано: 01.01.1971
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-292048-vakuumnoe-shlyuzovoe-ustrojjstvo.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Вакуумное шлюзовое устройство</a>
Предыдущий патент: Заглушка для труб
Следующий патент: 292049
Случайный патент: Устройство для индикации