Привод для микроперемещений

ОПИСАН И Е ИЗОБРЕТЕНИЯ 28015 О Союз Советских Социалистических РеслубликК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Зависимое от авт, свидетельстваКл. 47 Ь, 22 аявлено 24,1 Ч.1969 ( 1325420/25-8) исоединением заявкиПК Г 15 Ь 15/О ПриоритетОпубликовано 26.Ч 111,1970. Бюллетень27Дата опубликования описания 12,11,1971 Комитет ло делам изобретений и открытий ори Совете Мииистров СССР. Ф. Агашин, В Заявитель Московский станкоинструментальный институт ИВОД ДЛЯ МИКРОПЕРЕМЕЩЕН Известны приводы для микроперемещений, выполненные в виде гидростатической опоры, противоположные несущие карманы которой связаны с регулируемыми гидравлическими сопротивлениями, образованными канавками переменного сечения на золотнике.Для увеличения жесткости привода и повышения его быстродействия в предлагаемом приводе использован двухкаскадный мембранный усилитель, в котором установлены две мембраны, образующие с одной стороны в сочетании с соплами второго каскада два управляемых гидравлических сопротивления, связанных на входе с источником давления и на выходе - соответственно с двумя противоположньми несущими карманами, а с другой стороны - две полости управления первого каскада усилителя.Кроме того, полости управления первого каскада усилителя связаны на входе с источником давления через постоянные гидравлические сопротивления, а на выходе - с устройством типа сопло-заслонка, заслонка которого связана с якорем электромеханического преобразователя.На чертеже представлен описываемый приОн содержит гидравлическую опору, имеющую движущийся узел 1 и два кармана 2 и 3 асло в карманы подается через зазоры меж 2ду соплами 4 и мембранами 5, Через разделитель 6 и два постоянных гидравлических сопротивления 7 масло подводится для управления первым каскадом регулятора. Из обеих полостей разделителя масло вытекает через сопла 8 устройства типа сопло-заслонка, гидравлическое сопротивление которых регулируется заслонкой 9, приводимой в движение электромеханическим преобразовате лем О,Привод для микроперемешений работаетследующим образом. Для смещения узлана величину, не превьпцающую зазора в гид ростатичсской опоре, на электромеханическийпреобразователь подается электрический сигнал соответствующей величины и полярности.Заслонка 9 смещается под действием электромеханнческого преобразователя, увеличивая 20 сопротивление одного сопла 8 и уменьцениясопротивления другого. Давления Р, и Р1У 2управления изменяются пропорционально изменению сопротивлений соответствующих сопел 8, Условие равновесия мембран наруша ется, и они деформируются так, чтобы восстановить равновесие за счет сил упругости. Величина зазоров между соплами 4 и мембранами и их гидравлическое сопротивление изменяются. Это нарушает равновесие гидравличе ского моста, содержащего два кармана гидроф Р 7 бЫп иа:оса Составитель Н. СаковаРедакгор Н. С. Старостина Техред А. А, Камьгшникова Корректор Т. А. Уманец Изд.135 Заказ 243/4 Тираж 480 Подписное ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5 Типография, пр. Сапунова, 2 статической опоры и два дросселя на входе в них, Подвижный узел 1 смещается до тех пор, пока равновесие моста не восстановится за счет изменения гидравлического сопротивления карманов,Независимо от положения заслонки 9 привод обеспечивает обратную связь по нагрузке, что увеличивает его жесткость. При изменении нагрузки на величину Р давления Р, и Р изменяются так, чтобы под действием появившегося перепада давлений воспринималась эта нагрузка. Равновесие гидравлического моста второго каскада нарушается и восстановление его происходит автоматически за счет изменения гидравлического сопротивления дросселей при деформации мембран под действием давлений Р и Р 2. Узел 1 при этом не смещается или смещается на величину, значительно меньшую, чем в случае привода без обратной связи,Постоянные гидравлические сопротивления встроены в разделитель для уменьшения расхода масла на управление,Заслонка 9 и мембраны при перемещении не имеют непосредственного контакта с соплами 8 и 4, а только изменяют величину зазоров. Зто исключает зону нечувствительности и износ рабочих поверхностей деталей регулятора, что повышает точность привода и егобыстродействие,Предмет изобретения1. Привод для микроперемещений, выполненный в виде замкнутой гидростатической опоры, на входе в противоположные несущие карманы которой установлены управляемые гидравлические сопротивления, отличающийся 10 тем, что, с целью увеличения жесткости привода и повышения его быстродействия, в приводе использован двухкаскадный мембранный усилитель, в котором установлены две мембраны, образующие с одной стороны в сочета нии с соплами второго каскада два управляемых гидравлических сопротивления, связанных на входе с источником давления и на выходе - соответственно с двумя противоположными несущими карманами, а с другой 20 стороны - две полости управления первогокаскада усилителя.2. Привод по п. 1, отличающийся тем, чтополости управления первого каскада усилителя связаны на входе с источником давления через постоянные гидравлические сопротивления, а на выходе - с устройством типа сопло-заслонка, заслонка которого связана с якорем электромеханического преобразователя.