Способ определения толщины тонких пленок
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
ОП ИСАНИЕИЗОБРЕТЕН ИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советское Социалистическик Республикависимое от аявлено 04,Х т. свидетельства Х..ЧПК б 01 Ь 11/О УДК 531.(17.1 ( риорптет 26.1(111,1970. Бюллетень М 2вания описания 16.ХП.1970 пиетров пуоликовано ата опублик Авторыизобретения. Долгов и Ю. Н, Дьяков аявитель СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ТОЛЩИНЫ ТОНКИХ ПЛЕ к - постоянныиот величины угла пплоскости большей дПредлагаемый споИндентор вдавливподложку 2 и измеряпечатка 3 на одном пмикроскопом с предочивающимся относина 180, Затем вычипо уравнению, приведВо избежание дефсти большей диагонаалмазной пирамидывершине равны 134тельные деформациивозникают только вли. тод может быть использоя толщин многослойных ок без применения прц авления. Разраоотанныи ме ван и для измерен металлических плен этом поочередного т ет изоор ения Способ опре нок, нанесеннь нием индентор ся в том, что в вдавливают ин делениях на пои микро подложк ентор с о пнь тонких пле- использова- ключающийоны пленки ымсилием,толщ дложг скоп ределе Известен способ определения толщины тонких пленок, нанесенных на подложку, с использованием индентора и микроскопа, заключающийся в том, что в подложку со стороны пленки вдавливают индентор с определенным 5 усилием, необходимым для проникновения через пленку в поверхность подложки, и после снятия усилия измеряют геометрические размеры отпечатка, по которым судят о толщине пленки. 10Предлагаемый способ предназначен для ускорения процесса измерения толщины тонкой пленки в любом заранее выбранном месте по пластине.Сущность описываемого способа состоит в 15 том, что в качестве индентора используют алмазный наконечник в виде пирамиды с ромбическим основанием и углами при вершине от 120 до 180 в плоскости большой диагонали и от 110 до 160 в плоскости малой диагонали, 20 с помощью микроскопа определяют разность длин больших диагоналей отпечатка на переходе пленка - подложка и на поверхности пленки, а затем вычисляют толщину пленки по известному уравнению 25/г = (Д 2 Д 1)где Дг - длина большей диагонали ромба на переходе пленка - подложка;Дс - длина большей диагонали ромба на поверхности пленки; 30 коэффициент, зависящий ри вершине пирамиды в иагонали.соб поясняется чертежом, ают со стороны пленки 1 в ют диагонали Д 1 и Дз отриборе, который снабжен тетным столиком, поворательно неподвижной осн сляют толщину /г пленки енному выше.ормаций пленки в плосколи выбрана такая формапри которой углы при и 172. Прн этом незначипленки в месте отпечатка плоскости малой дпагона279975 Составитель Л. КенигРедактор Т. Юрчикова Техред А. А. Камышникова Коррсктор В. И. Жолуд Заказ 6811 Тираж 480ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открывий при Совете МиняМосква, Ж, Раутпская наб д, 4/5 Подписно в СССРОбластная типография Костроьмского,управления по печат необходимым для проникновения его через пленку в поверхность подложки, и после снятия усилия измеряют геометрические размеры отпечатка, по которым судят о толщине пленки, отличающийся тем, что, с целью сокраще нпя времени процесса измерений, в .качестве индентора используют алмазный наконечник в виде пирамиды с ромоическим основанием и углами привершине от 120 до 180 - в плоскости большой диагонали, от 110 до 160 - в 1 о плоскости малой диагонали, и с помощью микроскопа определяют разность длин больших диагоналей отпечатка на переходе пленка - подложка и на поверхности пленки, а затем вычисляют толщину пленки по известному уравнению Ь= (Дв - Д,) к,где Д 1 - длина большей диагонали ромба напереходе пленка - подложка;Д - длина большей диагонали ромба наповерхности пленки;к - постоянный коэффициент, зависящийот величины угла при вершине пирамиды вплоскости большей диагонали.
СмотретьЗаявка
1287100
В. В. Долгов, Ю. Н. ков
МПК / Метки
МПК: G01B 11/06
Метки: пленок, толщины, тонких
Опубликовано: 01.01.1970
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-279975-sposob-opredeleniya-tolshhiny-tonkikh-plenok.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ определения толщины тонких пленок</a>
Предыдущий патент: Устройство для измерения прямолинейности
Следующий патент: Прибор для измерения наружных диаметров
Случайный патент: Способ возведения грунтовой плотины