Устройство для бесконтактного контроля температуры в вакуумных установках

Номер патента: 477317

Опубликовано: 15.07.1975

Автор: Жаравин

МПК: G01K 17/06

Метки: вакуумного, напыления, пленок, поверхности, подложки, процессе, температуры, тонких

...измерения по предлагаемому способу один конец подложки нагревают до температуры испарения напыляемого вещества, а другой ее конец - до температуры в два раза меньшей, затем производят три последовательных напыления с заданной плотностью парообразного теплового носителя с определением после каждого напыления положения границы пленки и чистой поверхности подложки.Измерение температуры подложки производят следующим образом.На исследуемую подложку напыляют в виде тонкой пленки парообразный теплоноситель, зависимость скорости С осаждения атомов которого от температуры поверхностного слоя подложки имеет вид ется конденсация атомов тепло- поверхности подложки вследстя напыляемого вещества. Поревания одного из концов подпературы Тр, а другого...

Номер патента: 402324

Опубликовано: 07.10.1980

Авторы: Панасюк, Прилепов

МПК: H01L 7/68

Метки: вакуумного, напыления

...24 фполняет ее. При дальнейшем решении вала дозетора ограничитель бункера выравнивает поверхность вещества в лунке, которое затем через подвижный желоб равномерно рассыпается по поверхности соответствующего испарителя. Скорость вращения вала дозатора и скорость испарения вещества подбираются такими, чтобы к моменту поступления новой дозы вещества в испаритель в последнем практическиФ все вещество испарилось. За счет последовательности и цикличности работы системы дозатор - испарители уменьшение испаряемой поверхности вещества в одном из испарителей компенсируется добавкой вещества в другой испаритель, так что суммарная поверхность испарения остается постоянной. Установка для вакуумного напьщечия состоит из бункера 1 с испаряемым...

Номер патента: 1242906

Опубликовано: 07.07.1986

Авторы: Браницкий, Голубинцев, Каралюнец, Котов, Попов, Тазенков, Шнейдман

МПК: G03G 15/00

Метки: вакуумным, металлическую, напылением, носителя, паров, подложку, селена, электрофотографического

...при термообработке слоя 80-90 фС парам селена перед их конденсацией дополнительно сообщают кинетическую энергию разогрева струнным нагревателем, расположенным между испарителем и подложкой,. с одновременным облучением паров ее конденсата светом, имеющим длины волн меньше б 20 нм с энергией больше, чем 2,2 В, а затем после соз-дания сплошного кристаллического нодслоя высокой адгезионной прочности толщиной до 1 мкм дополнительный разогрев пара и облучение конденсата прекращают,Температурное поле струнного нагревателя, имеющего температуру 1500- 2000 С, дробит длинноцепочные молеку- лы пара селена на короткоцепочные молекулы вплоть до атомарного селена и увеличивает их кинетическую энергию в 3-4 раза. Увеличение кинетической энергии...

Номер патента: 1283545

Опубликовано: 15.01.1987

Автор: Алейников

МПК: G01J 5/20, G01K 7/00, G01L 1/00

Метки: излучения, температуры, электромагнитного, энергии

...проходит через, 45 открытый затвор и разогревает термопреобразователь 4. Баланс измерительного преобразователя 7 нарушается, этот сигнал с выхода измерительного преобразователя 7 через второй коммутатор 9 поступает на вход дифференцирующего усилителя 13 блока 12, Максимальное значение производной этого сигнала фиксируется на диодно-емкостном запоминающем устройстве 14. 55 Этот сигнал пропорционален мощности воздействующего сигнала.Уравнение теплового баланса для термопреобразователя в случае, еслитермопреобразователь и поглотительизлучения имеют одинаковую температу-ру по объему чувствительного элемента, можно представить следующим образом. йТС - +Т =И с 11 где С - теплоемкость;Т - температура;Ъ - полная теплопередача;И -...

Номер патента: 117752

Опубликовано: 01.01.1958

Автор: Свет

МПК: G01J 5/02

Метки: излучению, истинной, тел, температуры

...диска 3 со светофильтрами, фотоэлемента 4, усилителя 5, измерителя отношения б и регистрирующих приборов 7 и 8. лтодуляце 1 онный рефлектометр посылает на исследуемуЕо позерхность 9 поток модулированного излучения от источника излученич 10 через обтЕораторы П и 12. При этом на выходе усилителя 13 с помощью элементов частотной селекции выделяются напряжения, пропорциональные отражаемым исследуемой поверхностью 9 потокам излучения В различных Област 11 х спектра. Эти напряжения подаются на вход измерителя отношения 14, который гыделяет и фиксирует с помощью прибора 15 отпошснЕЕИ спектральных коэффициентов отражения, соответствующие разли 1 еым светофильтрам, установленным на диске 3. Для определения поправки на излучеЕП;е пгпменено...