Устройство для изготовления ферритовых пленочных элементов памяти
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
ОП ИСА НИ Е ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУСоюз Советских Социалистических РеспубликКомитет по лелем чзабретений и открытий.1969. БОллстснь М и Совете Министров СССР та опубликования описания 10.Л 1.1969 Авторыизобрстсш 1 я ман ц Я. М. Беккер Е аявите. ГОТОВЛ ЕНИЯ ФЕРРИТОВЫХЭЛЕМЕНТОВ ПАМЯТИ СТРОЙСТВО ДЛЯ И ПЛЕНОЧНЫХ 15 ние скоростис улучшенныоднородноИзобретение относцтся к области запоминающих устройств и может найти применение для получения ферритовых пленочных элементов памяти, используемых в запохннающих устройствах ЗВ 51.Известцо устройство для изготовления ферритовых пленочных элементов памяти с помощью дугового разряда в вакууме. Оно содсркит катод из исходного материала-феррита, закрепленный в керамическом держателе, и молибденовый стержень, служащий анодом. Для создания дуги молибденовый электрод приводится в соприкосновение с катодом, напылясмь 1 м ферритом, а затем отодвигается на несколько сантиметров от поверхности феррита. Источник постоянного тока для дугового разряда должен обладать стабильностью це хуже 01%.Цель изобретения - повышеиспаренця и получение пленокми магнитными свойствамистью.Описываемое устройство отличается тем, что содержит систему нагревателей для предварительного нагрева феррита и последующего его испарения токами высокой частоты, а также для нагрева подложки, что обеспечивает равномерность осаждения, эпитаксиальный рост и снятие механических напряжений. Нагреватель подло:кки является ее же держятелс.1 и может перезсшяться по няпрявл 5110 ших 1 штянгях В Оолясть индукт 017 я.На чс 17 тсже из 0017 яжеця конст 17; к 11 я ройствя.УотрОЙство содержит з 1 е 1 Т 17 и ческийагрсватсль (печь) 1 для прсдварительцсго нагрева феррита, исходную фсрритову 10 пластину 27, высокочастотныи ицдуктор А подложку 4 для осаждения пленки, нагреватель 5 подлохкки (пс 1 ь Вяц с хный колпак 6 и Основя" И;1 С 7.На электрический нагреватель 1, например, плоской формы помещена исходная фсррито- В я 51 и 71 я с т и ц я 7. В э л е к т р и ч с с к О м и я Г р с В я т с л с я выполнен пяз, в котором помешеца подложка 1, например, из монокристаллического .ЧпО. Нагреватель з закреплс:1 ца штангах 8 на требуемом расстоянии от пластины 7. Штз 1 и 8, выполненные из токопроводя 1 цего матерала, одновременно выполняют функции подвода тока к нагревателю 7. Высокочастотный ицдуктор 5 имеет цилиндрическую форму. Пластина 2 помещена внутри ицдуктора 5.Вся система нагревателей вместе с исход- НОЙ пластиноЙ 2 и подлон,кОЙ 1 поме 1 цсца под вакуумный колпак 6, а через основание 7 пропущены выводы нагревателей, с 1 срсз отверстие в основании производится отсос воздуха.ехрсд Заказ 1323/17ЦНИИПИ Комитет Тира к 480 Подписноео делам изобретений и открытий при Совете Минис 11 ов СССРМосква, Центр, пр. Серова, д. 4 пографив, пр. Сапунова,Устройство работает следующим образом.Ферритовая пластина 2 нагревается нагревателем 1 до 300 в 4 С, а затем подвергается нагреву токами высокой частоты до 1000 С при разрежении под колпаком 0,5 тор. Подложки из монокристаллического МО нагреваются до =400 С. При этом были получены пленки толщиной = 50 икл в течение 1,8 - 2 мин. Характеристики пленок (коэрцитивная сила Н, =2 э, остаточная индукция В=1300 гс, прямоугольность К,р=0,9) обеспечивают создание миниатюрных элементов памяти. Предмет изобретения Устройство для изготовления ферритовыхпленочных элементов памяти, содержащее 5 вакуумный колпак с основанием, держатель иподложку для осаждения пленки, отличаюи 1 еесл тем, что, с целью повышения скорости испарения и получения пленок с улучшенными магнитными свойствами и однородностью, 10 оно содержит систему нагревателей, состоящую из печи для предварительного нагрева феррита, высокочастотного индуктора для испарения феррита токами высокой частоты и печи для нагрева подложки.
СмотретьЗаявка
1228755
Б. Е. Клейман, Я. М. Беккер
МПК / Метки
МПК: G11C 11/14
Метки: памяти, пленочных, ферритовых, элементов
Опубликовано: 01.01.1969
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-237288-ustrojjstvo-dlya-izgotovleniya-ferritovykh-plenochnykh-ehlementov-pamyati.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Устройство для изготовления ферритовых пленочных элементов памяти</a>
Предыдущий патент: Библиотека.
Следующий патент: Индукционный импульсный ускоритель прямого действия
Случайный патент: Способ извлечения хлорида калия из отработанного электролита магниевых электролизеров