Турбомолекулярный вакуумный насос

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ 235900 Союз СоветсКИх Социалистических РеспубликК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Зависимое от авт, свидетельств влено 25.Х.1967 ( 1207467(24-6 л, 27 с,м заявкиисоединен Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССРПриоритет ПК Г 04 сЛК 621,527.8(0 бликовано 241.1969. Бюлл нь6 ния описания ЗО.И.196 Лата опублик Автор изобретешц. Беляев Заявит УРБОМОЛ ЕКУЛЯ Р Н Ы И УУМНЪЙ НАСО куумные щенный в абочими ленными направ т известым с рами и обсечения, руяиненом пазу рника ми австречу ок в отс клапаотсеку, иатмосфеовлен неащения втным чисяном наатмо предлавальной еречное и изображе 2 - насос с барабана, п Известны турбомолекулярные внасосы, содержащие корпус и разменем на валу роторный барабан с,чопатками, чередующимися с укрена внутренней поверхности корпусаляющими лопатками.Предлагаемый насос отличается оных тем, что барабан выполнен полдиальными внутренними перегородкаразует с валом отсеки серповидногоВ каждом отсеке располояена подпиая пластина, перемещаемая в косвала.С рцов барабан снабжен забазной формы, открытымицо, для подачи газов с лопа чашеобрвращенсеки.Вал имеет радиальные отверстиянами, подключенные к выхлопномвыполнен полым для отвода газовру. При этом вал может быть устаподвижно или с возможностью врнаправлении вращения барабана слом оборотов или в противополоправлении.Зтс обеспечивает откачку объемсферного давления.На фиг.схематическгаемый насос; на фиг.внутренней полостьюсечение. Насос имеет корпус 1, подключенныи припомощи патрубка 2 к откачиваемому объему.При этом насос может быть как двухпоточного, так и однопоточного исполнения.В корпусе размещен роторный барабан 3 срабочими лопатками 4, чередующимися с направляющими лопатками 5. Барабан установлен на валу 6 и вращается в подшипниках 7ст приводной передачи 8. Барабан выполнен10 полым. Полость барабана может иметь форму цилиндра, эксцентрично размещенного относительно оси вала и барабана или формуовала с центральной осью, совпадающей сосью вала. В последнем варианте обеспечи 15 вается лучшая балансировка барабана. Барабан с помощью радиальных перегородок образует с валом отсеки 9 серповидного сечения. В каждом отсеке расположена продольная подпружиненная пластина 10, перемещае.20 мая в косом пазу вала. Пластина делит серповидное пространство отсека на две части,одна из которых периодически увеличивающегося, а другая периодически уменьшающегося объема.25 Откачиваемые газы с лопаток подаются вотсеки с помощью заборников 11 чашеобразной формы, открытых навстречу вращению ирасположенных по торцам барабана,Вал также выполнен полым и имеет радиЗО альные отверстия 12 с клапанами 13, соединенные с выхлопным отсеком, Через полостьВ дк гор 1 дк 1 1 ппогрдфиь пр. Сдптиовд залг 1 сжатьс газы ВьорасьВа 10 тс 51 В атмОсферу. Газы из одного отсска В другой перепусаются через отверстия И в барабане и каналы 15. Отсеки отделены один от другого унлотиени 51 ки 16. Для оптимального подбора и регулирования скорости скольжения пластин ио зеркалу внутренней поверхности оараоана вал также установлен в подшишгиках г 7 и приводится во вращение в ту или шгую сторону в зависимости ог иотребцости увеличения или уменьшения скорости сколь;ения пластин при помощи передачи И Движение отКгггпВЗЕХ 1 ЫХ Г 1130 В ПОааапо Ца 1 ЕРТЕЖс 1 Х стрелками. Предмет изобретения 1. Турбомолекулярныгг вакуумный насос, содежагциЙ кори;с и раззгещенныЙ в нем на залу роториый барабан с рабочими лопатками, чередукицимися с укреплеингями на внутренней иове)хиости 01)п са 11 ап 1 завля 10 щими лопатами, от.гицагогггггйсгг тем, что, с целью обеспечения откачки объема от атмосферного давления, оарабан выполнен полым с радиальными внутренними перегородками и образует с Валом отсеки серповидного сечения, вкаждом из которых расположена продольна5подиружицецпая пластина, перемещаемая гкосом пазу вала,2. Насос по и. 1, от.гицагогггийся тем, что барабан с торцов снабжен заборцикагги чаше.образной формы, открытыми навстречу врашеццо, для подачи газов с лопаток в отсеки.3. Насос по п. 1, отгги гагоигийся тем, чтовал имеет радиальные отверстия с клапанами,подключенные к выхлопному отсеку, и выполнен полым дл 51 отвода газов в атмосферу.4. Насос по п. 1, от,гичагогггиггся тем, что15вал установлен неподвижно.5. Насос по п, 1, от,гичаюгиийся тем, чтоВал установлен с возможностью вращения внаправлении, обратном направлению вращения барабана.б. Насос по п. 1, от.гигагогцггйся тем, что валустановлен с возможностью вращения в напраьлеции вращения барабана с иным шеломоборотов. Состиггсгп, Т. Рдбчукбди 1 скреп А. А, Кдмышииковд Е:1 рскпр С. М, Сигал З 15,14 1 ирдк 480 Подписиос1111 Ком 1 сд по дслдгп пдобрссппб открг;пй при Совете Мипетро СССР Москвд, Цеитр. пр Ссропд, то 4