Устройство для передачи движения в камеру с высоким давлением

.дО П И С- АН - И Е 2336 О ИЗОБРЕТЕНИЯ Союз Советских Социалистических РеспубликК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Зависимое от авт. свидетельства-Кл, 12 аявлено ЗО.Х 1,1965 ( 1040572/2присоединением заявки-ЧПК В 01 й порит Комитет по делам зобретений и открытий ори Совете Министров СССРУДК 66,061.002 (088.8) публиковано 24.Х 1.1968, Бюллетень3за 1969 г.ата опубликования описания 24.1.1969 вторызобретения Ю. Жвирблянский и Ю езин аявител СТРОЙСТВО ДЛЯ ПЕРЕДАЧИ ДВИЖЕНИЯ В КАМЕР С ВЫСОКИМ ДАВЛЕНИЕМ1При получении монокристаллов ряда соединений в камере вытягивания необходимо создавать значительные давления газа.В этих случаях при давлениях свыше 100 - 150 ати значительные трудности представляет передача движений к штокам тигля и затравки. В существующих устройствах для вытяги. вания монокристаллов движение к штокам тигля и затравки передается двумя методами.Первый метод закгпочается в том, что штоки тигля и затравки вводятся в камеру через обычные сальниковые уплотнения. Этот метод прост, но приводит к возрастанию в уплотнении момента сопротивления вращению штока и сил, выталкивающих шток, Это ведет к повышенному износу уплотнений.Второй метод заключается в том, что шток крепится к магнитному ротору, который может вращаться и перемещаться. Это достигается с помощью электромагнитной муфты. Достоинством этого метода является отсутствие уплотнений. Однако здесь отсутствует стабильность скорости вытягивания, требуется применение мощных электромагнитов, а при случайном отключении электропитания шток и ротор падают, разбивая тигель. Предложенное устройство, сочетая достоинства обоих методов, повышает надежность работы сальникового устройства. Это достигается тем, что ротор магнитноймуфты закреплен на втулке, хтеханичеси связанной со штоком н перемещаемой по направляющей.5 Поскольку скорость перемещенпя штоказатравки в 500 - 800 раз меньше окружнойскорости вращения, то целесообразно разделить эти два движения, применив для вращения штока магнитную муфту, а для его пере 10 мещения уплотнение,На фиг. 1 изображена установка вытягивания монокристаллов, общий вид; на фиг. 2 -устройство для передачи движения штоку затравки.15 Установка имеет камеру 1, шток 2 затравки,нагреватель 8 и тигель 4. Камера закрепленана станине 5, в верхней части которой расположена каретка б перемещения затравки, а внижнеп - каретка перемещения тигля 7, Верх.20 няя часть корпуса камеры представляет собойгильзу 8 из немагнитного материала. В центрегильзы расположена полая направляющая 9,которую обхватывает втулка 10. Втулка связана со штоком 11 штифтом 12, проходящим25 в пазах направляющей. Шток проходит черезуплотненне 13. На втулке 1 О закреплены дваподшипника 14, на внешние кольца которыхнадет ротор 15 с закрепленными на его периферии постоянными магнитами 1 б, Ротор 1530 связан со штоком затравки 2.Гильза 8 обхвачена магнитопроводом 17, на котором закреплены постоянныс магниты 18. Магннтопровод связан с червячным колесом 19 и крепится на каретке 6, которая жестко связана со штоком 11.Конструкция передачи движения к тиглю аналогична.Передача движений затравке осуществляется следующим образом (см, фиг. 2).Электродвигатель, вращая червяк, передаст движенис червячному колесу 19, вращающему магнитопровод 17. Магниты 18, перемещаясь по окружности за счет магнитного поля, приводят в двнжсние магниты 16, ротор 16, в результате чего шток 2 начинает вращаться. Перемещение штока в вертикальном направлении осуществляется электроприводом, перемещающим каретку 6. При движении каретки 6 перемещается шток 11, который дгигает втулку 10, связанную со штоком штифтом 12. При этом штифт 12 перемещается в прорезях направляющей 9. Через подшшшнкн 14 в движение приходит ротор 16 и шток 2. Одновременно перемещается и магннтопровод 17, который связан с кареткой 6.5 При этом взаимное расположение магнитов16 и 18 по высоте сохраняется неизменным, что обеспечивает стабильную работу магнитнои муфты.10Предмет изобретенияУстройство для передачи движения в камеру с высоким давлением, состоящее пз магнитной муфты и механизма вертикального 15 перемещения штока, проходящего через сальниковое уплотнение камеры, от,гичающеес:г тем, что, с целью повышения надежности работы сальникового уплотнения, ротор магнитной муфты закреплен на втулке, механически 20 связанной со штоком и перемещаемой по направля ющсй.