Способ получения изображения в отражательном электронном микроскопе

2109.9 ОП ИСАН И Е ИЗОБРЕТЕН ИЯ Сома СоветскияСоциалистически Республик Р СКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ К висимое от авт. свидетель;. присоединением заявки Ю Комитет по делам Н 01 приоритетОпубликовано аобретеиий и сткрытипри Совете МинистровСССР 621.385,833 (088.8) летень7,11.1968. Б та опубликования описания 18.1 Ъ.1968 Авторыизобретен М. Куш Л. Б, Розенфель Заявитель СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ИЗОБРАЖЕНИЯ В ОТРАЖАТЕЛЪНОМ ЭЛЕКТРОННОМ МИКРОСКОПЕВ известных способах п ния в отражательных эле пах для освещения объект ронные пучки круглого сеч При этом вследствие н отношению к пучку на по высвечивается эллипс, м равна диаметру освещаюолучения изображектронных микроскоа используют электения,аклона объекта по верхности объекга алая ось которого щего пучка до, а пучком на объекте, электронный пучок ориентируют его таки ция освещенного уча 5 скость, перпендикулобъектива, имела фо ертеже схематично изображен ход лутражательном электронном микроскочеи в ольшая равна, где ат - угол скольВ 1 П л 1 пе, гд 1 -объект, освещаю объектив угол око угол на стью об тивной л диаметр щии пучок электронов, ная линза,льжения освещающего пучка блюдения (угол между плоско ъекта и оптической осью объек инзы),освещающего пучка. щающего пучка.юдения на конечноьимеющего ширинуикулярной плоскосдимо в плоскостиектронами участокэллипса, больша 2 -3 -а -15 ая -экране участ (в плоскоти падения пучпадения пучка объекта, имеюя ось которого людения Где 02 угол 2 ть предлагаемого способа состоит в формируют освещающий электронок эллиптического, прямоугольного ежуточного между этими профилями го сечения, ориентированный таким что размер поперечного сечения пучкости его падения на объект являетньшим, а отношение наибольшего поперечного сечения к наименьшему ошению синуса угла наблюдения к ла скольжения освещающего пучка,При обычно используемых зн лов а 1=1 и ив=20 протякенн ного участка оказывается в 20 чем это необходимо для наблюде водит к бесполезному нагреву оПредлагаемый способ получен ния в отражательном электронн пе отличается от известных тем, снижения мощности, выделяемой жения осве Для набл ка объекта сти, перпенд ка), необхо облучать эл щий форму 4 р наачениях угсть освещенраз больше, ния, что приразца.ия изображеом микроскочто, с целью электронным О Сущностом, чтоный пучили промлоперечно5 образом,ка в плосся наимеразмераравно отнО синусу уг формируют освещающиинекруглого сечения и и образом, чтобы проектка объекта на плорную оптической оси му, близкую к кругу,Заказ 590/5 Тираж о,О ПодписноеЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССРМосква, Центр, пр. Серова, д, 4 ипография, пр. Сапунова, д Практически предлагаемый способ может быть реализован с помощью различных усгройств.Например, если в осветительную систему с осевой симметрией, состоящую из электронной пушки и одной или двух конденсорных линз, ввести дополнительно квадрупольную или цилиндрическую линзу, то, изменяя возбуждение этой линзы, можно с ее помощью преобразовать пучок электронов с поперечным сечением в виде круга в пучок с эллиптическим сечением с необходимым соотношением осей. Путем поворота квадрупольной линзы пучок можно легко сориентировать необходимым образом.Возможно также для создания необходимой формы, сечения пучка применить в аксиальносимметричной фокусирующей системе электронную пушку, создающую пучок прямоугольного сечения с необходимым соотношением сторон или же использовать в фокусирующей системе вместо аксиально-симметричных линз группу квадрупольных линз при сохранении аксиально-симметричной пушки.Предлагаемый способ позволяет примерно 5 на порядок увеличить яркость изображенияна экране отражательного электронного микроскопа без увеличения тока пучка. Предмет изобретения10Способ получения изображения в отражательном электронном микроскопе путем освещения объекта пучком электронов, отличаюиийся тем, что, с целью снижения мощности, 15 выделяемой электронным пучком на объекте,формируют освещающий электронный пучок некруглого сечения и ориентируют его таким образом, чтобы проекция освещенного участка объекта на плоскость, перпендикулярную 20 оптической оси объектива, имела форму, близкую к,кругу.