Интерферометр для контроля качества плоских оптических поверхностей

Сойе Сое".,т(ххСоииеч;:еп чоиихИЗОБРТЙЙЯ Зависимое от агт, свидетельства18037 л, 421 т, 34/1 аявлепо 21 Л,1966 ( 1 О 77716/26 с присоединением заявкиПриоритет МПК Ст 02(1 УДК 535.853.4(088,8 Комитат оо делам зооретеиий и отирь:ти ври Совета Миииотров СССРовапо 29.т 111.1967. Бюллетеньбликования описания 25.1 Х.1967 блик ата о Авторыизобретения тиевский Клочкова аявитель ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ КОНТРОЛЯ КАЧЕС ПЛОСКИХ ОПТИЧЕСКИХ ПОВЕРХНОСТЕ По основному авт. св.180376 известен интерфсрометр для контроля качества плоских оптических поверхностей, в котором между объективом наблюдательной системы и контролируемой поверхностью, наложенной 5 на эталонную поверхность, введена призма Дове. Главное сечение и отражающая грань призмы параллельны оптической оси объектива наблюдательной системы.Предложенный интерферометр отличается 10 от интсрферометра по основному авт. св.180376 тем, что между объективом наблюдательпоп сиссмы и эталоппои поьсрхностью, наложсппой па (онтролируемую поверхность, введен бл 01(, состоящий пз нсскольких призм 15 Дове, отражаюцис грани которых лежат в одной плоскости и параллельны опеской Оси Ооъсктива наблОдательнйй системы. Это позволяет повысить точность измерения и ускорить процесс контроля, 2На фпг. 1 Изображена схема предложенного интерфсрометра; на фиг, 2 - поле зрения интерферометра.Световой поток от источника 1 проходит диафрагму 2, находящуюся в фокальной пло 25 скости объектива 3, Параллельный пучок лучей, выйдя из объектива, нормально падает на эталонную поверхность 4 пробного стекла 5. Отраженные от поверхности 4 и от поверхности 6 контролируемой детали 7 лучи, 3 иптерферируя между собой, образуют интерференционную картину, локализованную в промежутке между поверхностями 4 и б. Интерференцпонная картина, представляющая собой полосы равной толщины, наблюдается визуально за диафрагмой 8, находящейся в фокальной плоскости объектива 3. Лучи направляются в наблюдательную систему с помощью светоделительной пластины 9.Между объективом 3 и пробным стеклом 5 введен блок, состоящий из нескольких призм Дове 10. Отражающие грани и главные сечения призм параллельны выходящему из объектива пучку лучей, причем отражаюгцие грани всех призм Дове лежат в одной плоскости, что достигастся установкой призм на плоско- параллельную стеклянную пластину 11.Если в наблюдаемой интерференционной картине полосы равной толщины направлены параллельно плоскости, в котороп лежат отражающие грани призм Дове, а изображения полосы, наблюдаемые в крайних призмах Дове, совмещены с самой полосой, то изображения, наблюдаемые в средних призмах Дове, оказываются смещенными по отношению к по:ясам на величину, вдвое большую стрелки искривления полосы в данной точке. Высокая точность контроля достигается за счет повышения чувствительност совмсщспию, а также(.оставитель И. И. Иеоосклоновамов Техред Т. П. Курилко Корректоры И, В, черетаеви С. А. Башлыков Редактор И. О Заказ 3068/16 Тираж 535 ПодписноеЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открьтий при Совете Министров СССРМосква, Центр, пр. Серова, д. 4 Типография, пр. Сапунова, 2 изображения, наблюдаемого через призму Дове, на двойную величину.Введение блока из нескольких призм Дове позволяет производить оценку стрелок искривления полосы равной толщины одновременно во многих ее точках (число точек, в которых оцениваются стрелки искривления, равно удвоенному числу призм Дове).Благодаря одновременности оценки стрелок искривления отпадает необходимость в прижиме контролируемой детали к пробному стеклу, тем самым устраняются причины, которые могут вызвать повреждение поверхности и искажение ее формы, Контролируемую деталь можно помещать на подъемный столик, снабженный механизмами для регулировки его наклона, сохраняя воздушный зазор между пробным стеклом 5 и контролируемой деталью /. Интерферометр для контроля качества плоских оптических поверхностей по авт. св.180376, отличающийся тем, что, с целью повышения точности измерения, между объективом наблюдательной системы и эталонной поверхностью, наложенной на контролируемую деталь, введено еще несколько подобных призм Дове, отражающие грани которых лежат в одной плоскости и параллельны оптической оси объектива наблюдательной системы.