Оптико-электронное устройство для контроля прямолинейности направляющих

198689 Сааэ Соеетскнв Социалистичвсниэ РесеуелииПриоритетОпубликовано 28 Х 1.1967. Бюллетень14Дата опубликования описания 18.Л 1.1967 Комитет пс делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР.С.,:, т.Ю. Н. Шестопаловч зъ И 1 1 1.ЕНТР 0.Всесоюзный научно-исследовательский институт метролсии "ЕС",Уим. Д. И. Менделеева БИБ.т 007,Авторизобретения Заявитель ОПТИКО-ЭЛЕКТРОННОЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ ПРЯМОЛИНЕЙНОСТИ НАПРАВЛЯЮЩИХИзвестно оптическое устройство для контроля прямолинейности направляющих, работающее по фазоизмерптельпому способу, Такое устройство содержит пптерферомстр, один цз отражателей которого изменяет прп повороте ширину ицтерферспциошп лх полос, стекляннуюю пластину, два фотоэлектрических преобразователя, фазоизмерительное устройство с регистрирующими отсчетпыми приборами, счетчик ицтерферецциоцпых полос с регулируемым коэффициентом пересчета,Предложенное устройство снабжено датчиком линейных перемещений, к которому прикреплен один из отражателей ицтерферометра, фазовым нуль-органом, входы которого соединены с фотоэлектрическими преобразователями, усилителем, электрически связанным с фазовым нуль-органом, источником компенсационного воздействия, например управляемым выпрямителем напряжения, соединенным с усилителем и выдающим сигнал на датчик линейных перемещений и на регистрирующий и отсчетный приборы.Благодаря такому выполнению устройстга повышается точность контроля.На чертеже приведена блок-схема описываемого устройства.Оптико-электронное устройство представляет собой интерферометр, состоящий из осветителя 1, разделительной пластины 2, с неподвпжпого призмепцого отражателя 3, подвиж.ного прпзменного отражателя 4, который установлен па каретке 5, перемещающейся по контролируемым направляющим 6. Устройство содержит разделительную пластину 7, две щелевые диафрагмы 8, два фотоэлектрических преобразователя 9 и счетчик 10 ицтерференццоцных полос с регулируемым коэффициентом пересчета10 К датчику 11 линейных перемещений прикреплен отражатель 3 интерферометра. Входы фазового нуль-органа 12 соединены с фотоэлектрическими преобразователями 9. Усилитель 13 электрически связан с фазовым нуль.15 органом. Источник 14 компенсационного воздействия соединен с усилителем 13 и выдает сигнал на датчик 11 и далее на регистрирующий 16 и отсчетпый 16 приборы.Выходной пучок интерферометра пластиной 20 7 разделяется па два пучка, падающие на щелевые диафрагмы 8, вырезающие из одной пространсгвенцо разделенной полосы (илп разных полос) участки, сдвинутые на некоторый постоянный по фазе угол, и имеющие шприцу, 25 немного меньшую ширины ицтерференционпойполосы. За диафрагмами установлены фотоэлектрические преобразователи 9, сигналы которых подаются на вход фазового нуль-органа 12, регистрирующего отклонение от заданного 30 по фазе угла вследствие изменения ширичыЗаказ 2709/7 Тираж 535 ПодписноеЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССРМосква, Центр, пр. Серова, д. 4 Типографии, пр, Сапунова, 2 интерференционной полосы. Сигнал, пропорциональный величине и знаку изменения ши. рины интерференционной полосы, усиливается усилителем И и поступает на вход управляемого источника 14, выход которого подключен к датчику 11. Под действием сигнала датчик наклоняет призменный отражатель до тех пор, пока ширина интерференционной полосы пс станет равной первочачальной ширине полосы. Сигнал компенсационного воздействия поступает на вход отсчетного прибора 16 и регистрационного прибора 15. Счетчик 10 с регулируемым коэффициентом пересчета подает импульсы на прибор 15 для получения масштабных отметок на кривой погрешности. Предмет изобретенияОптико-электронное устройство для контроля прямолинейности направляющих, содержащее интерферометр, один из отражателей которого установлен на каретке, перемещающеися по контролируемым направляющим, стсклянную пластину, разделяющую выходгюй пу чок интерферометра на два пучка, две щелепые диафрагмы, перекрывающие эти пучки, два фотоэлектрических преобразователя, уста новленных за диафрагмами, счетчик интерференционных полос с регулируемым коэффициентом пересчета, обеспечивающим получение отметок линейного масштаба на графике погрешностей, регистрирующий и отсчетный при боры, отличающееся тем, что, с целью повышения точности контроля, оно снабжено датчиком линейных перемещений, к которому прикреплен второй отражатель интерферометра, фазовым нуль-органом, входы которого соеди иены с фотоэлектрическими преобразователями, усилителем, электрически связанным с фазовым нуль-органом, источником компенсационного воздействия, например, управляемым выпрямителем напряжения, соединенным с 20 усилителем и выдающим сигнал на датчик линейных перемещений и на регистрирующий и отсчетный приборы.