Устройство для наблюдения и измерения высот неровностей поверхности по искривлению муаровых полос

Союз Соаетских Социалистических Республик,1965 ( 1033427/26-10 Зависим л, 426, 35/О аявле ением заявкиприсо Комитет ло делам аобретеииЯ и открытиЯ ри Сосете Министров СССРМПК 6 02 риорит 822.1 (088.8) Опубликовано ЗО.Х.1966. БюллетеньДата опубликования описания 7,1,1967 Авторыизобретеци. И. Карташев и А. А, Куч Заявите Ленинградское оптико-механическое объ СТРОЙСТВО ДЛЯ НАБЛЮДЕНИЯ И НЕРОВНОСТЕЙ ПОВЕРХНОСТИ ПО МУАРОВЫХ ПОЛОМЕРЕНИЯ ВЫСИСКРИВЛЕНИЮ ненаправй в микро- ограниче, чтобы на штрихи, а микроскопа линзы 10, картину от Известны устройства для наблюдения и измерения высот неровностей поверхности по искривлению муаровых полос, содержащие систему проекции растра на исследуемую поверхность и регистрирующую систему с эталонным растром.Описываемое устройство отличается от известных тем, что для устранения штрихов растров, наложенных ца изображение картины муаровых полос, его система проекции растра и регистрирующая система установлены с возможностью синфазцого возвратцо-поступательного перемещения в направлении, перпендикулярном штрихам эталонного растра, с помощью, например, рычажно-кулачкового механизма с электродвигателем,На чертеже представлена принципиальная схема описываемого устройства.Лампа 1 накаливания освещает коллектором 2 неравномерный растр 3, который проектируется проекццоцпым объективом 4 на исследуемую поверхность 5 под углом 45. Благодаря наклону растра 3 к оптической оси ца исследуемой поверхности пол,чается равномерное распределение штрихов (расстояние между двумя соседними штрихами равно ширине штриха растра). Объектив 6 проектирует исследуемую поверхность вместе со спроектированными ца нее штрихами в плоскость равномерного растра 7, причем линейное увеличение объектива б подобрано таким образом, чтобы в плоскости растра 7 5 шаги обоих растров были одинаковы. Растр 7можно разворачивать в плоскости, перпендикулярной оптической осц на угол в , 5, что позволяет менять количество муаровых полос в поле зрения микроскопа от 1 до 15.10 Муаровые полосы, локализованные в плоскости растра 7, перепроектцруются системой 8 переноса изображения в плоскость сетки окулярного микрометра 9.Для измерения высот неровностей от 40 15 до 0,1 лкл в приборе предусмотрено две парысменных растров с расстояниями между штрихами в плоскости предмета соответственно 20 и 4 ккм. 20 Прц исследовании поверхностей с ленным расположением неровцосте скопе предусмотрена возможность ния длины штрихов растра 3 с те поверхность проектировалцсь пе25 точки. В наблюдательный тубус ь при этом вводятся цилиндрические позволяющие наблюдать муаровую узкого сечения по всему полю эрен189605 Предмет изобретения Составитель В, Ванторинллер Техред Л. Бриккер Корректоры: Е. Д. Курдюмоваи С М Белугина Редакт Заказ 4207/11 Тираж 900 Формат бум. 60 Х 90/з Объем 0,21 изд. л. ПодписноеЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССРМосква, Центр, пр. Серова, д. 4 ипография, пр. Сапунова Для измерения волнистости поверхностей столик микроскопа имеет возвратно-поступательное перемещение от электродвигателя в диапазоне 0 - 100 лл со скоростью 100 лчл в секунду, а также может поворачиваться на 360 и наклоняться относительно оси, перпендикулярной оси симметрии микроскопа на угол +3.Исключение из поля зрения изображения самих растров производится синфазным колебательным движением неравномерного растра 8 вместе с проекционным объективом 4 и равномерного эталонного растра 7 в горизонтальной плоскости с частотой 50 гц и амплитудой 0,02 и 0,14 им соответственно. Колебания растров можно осуществлять как механическим, так и электромагнитным способом,Устройство для наблюдения и измерениявысот неровностей поверхности по искривле нию муаровых полос, содержащее системупроекции растра на исследуемую поверхность и регистрирующую систему с эталонным растром, отлссчающееся тем, что, с целью устранения изображений штрихов растров, наложенных на изображение картины муаровых полос, система проекции растра и регистрирующая система установлены с возможностью синфазного возвратно-поступательного перемещения в направлении, перпендикулярном 15 штрихам эталонного растра, с помощью, например, рычажно-кулачкового механизма с электродвигателем.