Двухлучевой интерферометр длясмещений

Номер патента: 188064

Авторы: Всесоюзный, Трофимова

ZIP архив

Текст

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ Сооа Ссветскик Социалистическиа Республикельства хо ависимое отКомитет по делам зобретеиий и открытипри Совете МииистровСССР публиковано 20.Х.1966. Бюллетень21 та опубликования описания 23.Х 1,19 бб АвторизобретенияЗаявитель Н. В. Трофимо сесоюзный научно-исследовательский институт метрологии имени Д. И, МенделееваХЛУЧЕВОЙ ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯСМЕЩЕНИЙ ЕРЕНИЯ МАЛЪХ повышает ения смения пучка Известны двухлучевые интерферометры для измерения длин и перемещений, построенные по схеме Майкельсона с использованием фотоэлектронного устройства для счета интерференционных полос.Описываемый интерферометр отличается от известных тем, что в одну из его ветвей введена система зеркал, состоящая из подвижных зеркал, связанных с объектом измерешя, и неподвижных зеркал.Предложенный интерферометрчувствительность и точность измерщений путем многократного отражелучей.На чертеже изображена принципиальная схема предлагаемого интерферометра и ход лучей,Пучок лучей от источника 1 монохроматического света проектируется кондесором 2 на щель 3, расположенную в фокальной плоскости объектива 4. Параллельный пучок разделяется светоделительной пластиной 5 на две ветви У и УУ.В ветвирасположено эталонное зеркало 6, г ветви У - система зеркал, состоящая из подвижных зеркал 7 и 8 и неподвижного зеркала 9. Пучок лучей, отражаясь от зеркала 7, связанного с подвижной системой, испытывает многократные отражения между зеркалами 7 и 9 и после отражения от опорного зеркала 8,возвращается в светоделительпую пластину 5, интерферируя с пучком лучей первой ветви.Зеркала 7 и 8 могут быть параллельные илиустановлены под некоторым углом один к дру гому и к ходу лучей, ооеспсчивающим требуемое число отражений.Интерференционная картина может наблюдаться визуально через объектив 10 и щель 1 У или с помощью полупрозрачной пластины 12 о и поворотного зеркала 13 проектироваться надве щели 14 и 15, Для фотоэлектрического преобразования световых потоков в электрические сигналы используются фотоэлектронные умножители 16 и 17. Для преобразования 5 информации в дискретно-цифровую формуслу)кит электронная схеха, состоящая из усилителей 18 и 19, схемы формирования импульсов 20 и реверсивного счетчика импульсов 21,Малые разности хода лучей в интерферо метре измеряются следующим образом.При перемещешьи зеркал 7 и 8, связанныхс объектом измерения, на величину ( разность хода лучей в интерферометре изменяется навеличину Л Л=2 А(,де (г - коэффициент, зависящий от числа отажений и расположения зеркал.При перемещении зеркала 7 происходит пеемещение интерференционных полос в на;1 (кн(1)ЭО ) Тиран, )т(П1 Ц)И 11 П 11 Кс(н(сг; но 0; нс( и. о ь;,;, л. 11 о,1;н(с,(ос Со.(с(с .1(н("сгрон (,ССР ол юла гол ш(ой систс(3 е относительно пеподьчжпых щелей И и 15, вызыва)о)псе модуляцию светового потока па фотокатодах г 1 ЗУ."1 псло иптерфере щиопных полос, прошелппх (срез иель в каждом аправлсии. ОпреПС ЯС С 51,(О П(сакс;1(П,ЛЬСО 3 П: 13 ЫХОЛС С 1 С. ого устройст 3 а.При персмсцепии зеркала 7 па .2 получи; - С 5 .(5 П 3(ПМЛ(СО 3. тоЬ =- ,:ЕС 35=1Бели(ип;( К От которой зависит цена делеиия и,)(с ппсгп пого устройства, должа оьгп,опрс;Сг(спа рас(сто Плп спсциальпои гр(д 5 провкой Т 5 и( огразом, чувствительность схе 3(ы дл 51 измере 1 П 51 пере)ещегия по сравнепи 10 с Ооы 1 ПОЙ схемой двухлче 30 ГО 55 терфероъетпо:)ышается в К раз,11 рс;мст изобретения, 1)ухлу (с(3 ой иптерферометр для измере(шя м;(лых смсщс ий(, построеппый по схеме Майкг ььс Оп а с испол ьзова вием фотоэлектроП устроиства для чета иптсрферепциопных по,:ос, гт.гпыцоирйст тем, что, с целью повыше ия 1, вств)Сльпости и точности измерепий смсиСпия путем многократного отракения , (па лучси, одна из ветвей иптерферометра гн) С)КИТ СИСТЕЪ(М Зерк(Л, СОСТОЯЩу(О ПЗ Под- 5(.П(х Зеркал, с(35 заппых с гг)ьск Ом из)с)с(:.(5(, и испо;Ппжпых зеркал,

Смотреть

Заявка

1024917

Н. В. Трофимова, Всесоюзный научно исследовательский институт метрологии имени Д. И. Менделеева

МПК / Метки

МПК: G01B 9/02, G01D 5/36

Метки: двухлучевой, длясмещений, интерферометр

Опубликовано: 01.01.1966

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-188064-dvukhluchevojj-interferometr-dlyasmeshhenijj.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Двухлучевой интерферометр длясмещений</a>

Похожие патенты