Способ изготовления комплекта операционных шаблонов и установочной сетки для них

О П И С А Н И Е 185202ИЗОБВЕТЕН ИЯ Союз Советских Социалистических Республикс присоединением заявкикомитет по делахт касбретеикй и открытий при Совете Мииистров СССРриорите публиковано ЗО.Ч 11.1966. Бюллетень16ата опубликования описания 26,1 Х.1966 Д 1 Автооызобретения Ю. Г, Веннер дур аявитель СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ КОМПЛЕКТА ОПЕРАЦИОННЫХ ШАБЛОНОВ И УСТАНОВОЧНОЙ СЕТКИ ДЛЯ НИХИзвестны различные способы изготовления комплекта фотошаблонов для последующего использования их, например, в производстве полупроводниковых приборов, Существует способ получения фотошаблонов путем вычерчивания всего комплекта фигур и последующего масштабного фотографирования,Известные способы не обеспечивают точности совпадения координат положения совмещаемых фигур разных шаблонов и дают разброс размеров фигур в пределах одного шаблона, а также достаточно сложны и трудоемки,Предложенный способ изготовления комплекта операционных шаблонов и установочной сетки для них отличается от известных способов тем, что комплект шаблонов получают копированием только одной, специальной для каждого шаблона и установочной сетки образцовой фигуры при одновременном общем перемещении всех заготовок шаблонов и сетки относительно всех образцовых фигур, При этом установочную сетку изготавливают в виде дополнительного шаблона в выставляемом по пей комплекте шаблонов одновременно с изготовлением комплекта.Г 1 редложепный способ позволяет повысить точность изготовления комплекта шаблонов и ттоследующего их совмещения.Способ заключается в следующем. Один образец фигуры каждого операционного шаблона выполняют любым известным способом в необходимом масштабе, затем репродуцируют образцы фигур на фотопластинку или фотопленку и получают комплект образцовых негативов.Для получения множества фигур или множества групп фигур на каждом из операционных шаблонов производят последовательное многократное копирование, например контактное, фигур образцовых негативов в необходимых местах заготовок шаблонов на фото- штампе. Образцовые негативы выставляют в негативной рамке фотоштампа таким образом, чтобы оси симметрии фигур располагались на одной линии или на параллельных линиях, Расстояние между фигурами должны соответствовать размерам заготовок будущих операционных шаблонов. Выставление образцовых негативов производят, например, на измерительных микроскопах.Образцовые фигуры копируют на светочувствительпую поверхность заготовок шаблонов прп соответствующем экспонировании, Копирование производят одновременно па всех заготовках столько раз, сколько фигур илп групп фигур должно быть получено на каждом шаблоне. При этом фигурами или группами фигур заполняют последовательно все 30 вертикальные или все горизонтальные строч185202 Составитель Т, 14. ПетриковаРедактор И. Г, Карпас Текред Т. П. Курилко Корректор Г. Е. Опарина Заказ 2727 у 8 Тираж 970 формат бум. бОК 90 Ча Объем 0,13 изд. л. ПодписноеЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССРМосква, Центр, пр, Серова, д, 4 Типография, пр. Сапунова, д. 2 ки на заготовке шаблона, при последовательном плоскопараллельном перемещении всего приспособления для крепления заготовок шаблонов относительно неподвижных образцовых негативов (или наоборот) на требуемый шаг, равный расстоянию между соседними фигурами или группами фигур операционного шаблона.Полученные скрытые изображения фигур на заготовках шаблонов подвергают химической обработке известными способами обработки негативных изображений.Использование комплекта шаблонов для последовательного наложения на заготовку изделия требует предварительного выставления всех шаблонов комплекга относительно определенного зафиксированного положения заготовки в приспособлении, в котором производят наложение. Выставление шаблонов осуществляют по общей установочной сетке, которая представляет собой прозрачную плоско- параллельную стеклянную пластину с нанесенными рисками, по которым выставляют фигуры шаблонов. Установочную сетку изготавливают одновременно с комплектом шаблонов, который по пей будет выставляться, тем же фотографическим способом на фотоштампе, что и комплект шаблонов. Предмет изо бр ете н и яСпособ изготовления комплекта операционных шаблонов и установочной сетки для них, 10 основанный на фотографическом копированиимногократно повторяющихся через определен ные интервалы образцовых фигур, отличаю и(ийся тем, что, с целью повышения точности изготовления шаблонов и точности их после дующего совмещения, комплект шаблонов по лучают копированием только одной, специальной для каждого шаблона и установочной сетки образцовой фигуры при одновременном оощем перемещении всех заготовок шаблонов и сетки относительно всех образцовых фигур, при этом установочную сетку изготавливают в виде дополнительного шаблона в выставляемом по ней комплекте шаблонов одновременно с изготовлением этого комплекта.