Способ изготовления поглотителя водорода в вакууме

СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИК 51)5 С 23 С 14/02, 14/06 ГОСУДАРСТВЕННОЕ ПАТЕНТНОЕВЕДОМСТВО СССР(ГОСПАТЕНТ СССР) АНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ О ВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТ ность изобретения: тана подвергается те ке,при температуре мин. Затем удаляют ионной очистки пове чего наносят слой па мкм. Процесс изго осуществляют в ваку рт.ст. Иэготовленны глотитель поглощает лородной среде, т кислорода.(54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПОТЕЛЯ ВОДОРОДА(57) Использованводорода из ге Колачев ГЛО Изобретение относится к средствам очистки газовой среды герметичных объектов, в которых размещены приборы, чувствительные к воздействию вредных летучих примесей, а более конкретно к способам изготовления поглотителей, необратимо удаляющих водород из герметичных объектемпературную обработку производят при температуре 1100 С в течение 10 мин, а удаление окисной пленки производят ионной очисткой поверхности титана, после чего наносят слой из палладия толщиной 25 мкм, причем все работы производят в вакууме 10 .5 10 мм рт.ст.Достижимость поставленной цели обусловлена тем, что, во-первых, все операции производятся в глубоком вакууме и поэтому под слоем из палладия отсутствует даже мономолекулярная окисная пленка на титане, которая препятствует поглощению водорода титаном; во-вторых, слой из палладия обладает высоким коэффициентом водородопроницаемости и поэтому он выполняет функцию мембраны, которая пропускает только водород, не пропуская другие газы; и в третьих, энтропия взаимодействия водотся расширеавливаемого ширение его д не только в присутствии эобретения являе применения изго водорода, т,е, ра поглощать водор ной среде, но и в ая цель достигается тем, что в пособе изготовления поглотитеиз пластины губчатого титана, ой температурной обработке с м удалением окисной пленки,тов.Целью иние областипоглотителяспособностибескислородкислорода,Укаэаннизвестномсля водородаподвергаемпоследующи ие: в качестве поглотителя рметичных объемов. Сущпластина губчатого тимпературной обработ С в течение 10 окисную пленку путем рхности титана, После лладия толщиной 25 товления поглотителя уме при 10 5 х 10 мм й таким способом по- водород как в бескисак и в присутствии. 1827398 Ф ор мул з и зоб рете н и я Составитель А.УшковТехред М,Моргентал Корректор О. Густи Редактор Заказ 2345 Тираж Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж, Раушская наб., 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент, г, Ужгород, ул.Гагарина, 101 рода с титаном приблизительно в двз раза выше энтропии системы Рб-Н, з согласно второму закону термодинамики: самопроизвольно могут протекать только процессы и реакции, в ходе которых энтропия возрастаетпоэтому палладий будет передавать свой растворенный водород титану с последующим его поглощением титаном.Таким образо 1 и, изготовленный данным способом поглотитель в среде с кислородом будет поглощать водород за счет каталитического окисления водорода слоем палладия, з в среде без кислорода будет диффундировзть через палладиевый слой и поглощаться титаном.Сравнение заявляемого решения с другими техническими решениями в данной области техники показывает, что в микроэлектронике используется ионнзя очистка поверхности металлов с нанесением покрытия из палладия для создания контактных площадок,Порядок конкретного способа изготовления поглотителя водорода следующий:.образцы иэ титановой губки марки ВТзакрепляют во вращательное устройство установки типа АИРи камерустановки вакуумируют до давления 10 .5 10 мм рт,страсфокусированным пучком электронного луча нагревают образцы до температуры 1100 С и выдерживают при этой температуре 10 минут; расфокусированными потоками металлической плазмы производят ионную очистку образцов;непосредственно после ионной очистки 5 наносят слой иэ палладия толщиной 25мкм сфокусированной металлической плазмой.Выполненный данным способом поглотитель поглощает водород как в кислород ной, так и бескислородной среде, При этомпо теоретическим расчетам при давлении водорода в одну атмосферу поглотитель в виде диска диаметром 2,5 см и толщиной 0,5 см в бескислородной среде может поглотить 15 около 40 л водорода со скоростью поглощения до 1 л водорода в минуту,20 Способ изготовления поглотителя водорода в вакууме из пластины губчатого титана, включающий температурную обработку пластины, удаление окисной пленки, о т л ич а ю щ и й с я тем, что, с целью расширения 25 технологических возможностей, температурную обработку проводят при 1100 ОС в течение 10 мин, удаление окисной пленки прОизводят путем ионной очистки поверхности титана, после чего наносят слой пзл ладия толщиной 2-5 мкм, причемтемпературную обработку, ионную очистку и нанесение слоя палладия осуществляют при давлении 1 10 - 5 10 мм рт.ст,