Способ обнаружения течи в вакууме

)5 6 01 М 302 ТЕНИ АВТОРС СВИДЕТЕЛЬСТВУ Иэоб ники, свя куума и пррверки ГОСУДАРСТВЕННОЕ ПАТЕНТНОВЕДОМСТВО СССР(71 Новосибирский государственный уни ве ситет им. Ленинского комсомола (72 А,И.Сапрыкин(54) СПОСОБ ОБНАРУЖЕНИЯ ТЕЧИ В ВА- КУУМЕ тение относится к областям технным с получением высокого ваожет быть использовано для акуумных систем и устройств на герметичность.Известны способы обнаружения течи вакуумных систем, основанные на использовании пробного газа или летучей жидкостилля обнаружения течи отдельные элементы вакуумной системы помещают в пластиковый чехол, заполняемый пробным газом, или производят обдув уплотнений и элементов системы тонкой струей пробного газа, В качестве пробного используют газ, который при замещении воздуха обеспечи- ваЕТ максимальное изменение сигнала, региСтрируемого вакуумметром. Прошедший сквозь течь газ регистрируется либо имеющИмся внутри системы датчиком, чувствительность которого зависит от рода газа, либо с использованием специальных устройств - течеискателей.(57) Изобретение относится к способам проверки вакуумных систем и устрой в на герметичность и позволяет повысить точность локализации течи и снизить энергозатраты. Создают вакуум в высоковакуумной системе. Осуществляют подогрев газа (воздуха) вблизи элементов вакуумной системы, либо их обдув нагретым газом, что вызывает увеличение проводимости канала течи и изменение вакуума в системе. По изменению показаний вакуумметра делают вывод о наличии течи,Необходимость выбора и использование пробного газа является основным нед статком известных методов обнаружения течи, Выбор газа зависит от проницаемости, относительной чувствительности датчика по отношению к воздуху и пробному газу, и быстроты их удаления из системы, что, в своа очередь, определяется типом используемого в системе насоса,Наиболее близким к предлагаемому является способ обнаружения течи в вакуумных системах, заключающийся в том, что в камере с испытуемой системой создают вакуум, подают пробный газ, производят нагрев участков изделия и по изменению давления пробного газа судят о наличии течи в системе,Недостатком данного способа являются сложность, большие временные и энергетические затраты, требуемые для прогрева отдельных участков иэделия, и низкая точность локализации течи,1795321 Следовательно коэффициент проводимости равен; О =- С 3 ЛР,0 =(КТ/2 л в) 3 ЬР,25 где К - постоянная Больцмана, Т - температура, а - масса молекулы газа. 30 Формула изобретенияСпособ обнаружения течи в вакууме, заключающийся в том, что по одну сторону стенки изделия создают вакуум, по другую подают гаэ, осуществляют нагрев и по изменению давления газа в вакууме судят о наличиитечи, отл ич а ю щи й с я тем, что, с целью повышения точности локализации течи и снижения энергозатрат при обнаружении течи в высоковакуумных системах, нагреву подвергают гаэ, подаваемый к иэделию. Составитель А.СапрыкинТехред М.Моргентал Корректор С.10 екмар Редактор В,Фельдман Заказ 424 Тираж ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР113035, Москва, Ж, Раушская наб., 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101 Цель изобретения - повышение точности локализации течи, упрощение и снижение энергозатрат при обнаружении течи в вакуумных системах.Поставленная цель достигается тем, что 5 в известном способе обнаружения течи в вакуумных системах вместо нагрева отдельных узлов (участков) системы осуществляют подогрев газа воздуха) вблизи элементов вакуумной системы, либо их обдув нагретым 10 газом (воздухом). Действительно, в условиях молекулярного течения поток газа через канал, диаметр которого много меньше длины свободного пробега, прямо пропорционален площади канала и разницы давлений ЬР 15 где С - коэффициент проводимости канала.Исходя из уравнения состояния и кине тической теории газов, определяющей среднюю скорость и частотуударов молекул газа о поверхность единичной площади:(дл)1/2 )1/2П 1и при прочих равных условиях проводимость канала пропорциональна ТТаким образом, повышение температуры атмосферного воздуха вблизи отверстия или обдув нагретым газом вызовет увеличение проводимости канала, что приведет к изменению вакуума в системе и показаний вакуумметра,Локализацию течи проводят обдувом узла тонкой струей горячего газа, либо локальным разогревом воздуха вблизи тестируемой поверхности или уплотнения, например, с помощью электропаяльника,Использование способа наиболее эффективно для высоковакуумных установок с остаточным давлением не более 10 Па, имеющих, по крайней мере, один вакуум- метр и собственные нагревательные элементы.Использование предлагаемого способа позволяет исключить нагрев отдельных узлов системы, существенно упростить процедуру . обнаружения течи, снизить энергозатраты и повысить точность локализации течи,