Устройство для определения концентрации микрочастиц в жидкости

СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИРЕСГУБЛИК А 1 1- г 01 И 1 ОЕ ИЗОБРЬ С Д ,Ц Я 1" ДТ ЦАВТОРСКОМ жидких средах пения, 1973, вып.троль реда х. дополеаэ- азов, ти, 1 3,иьают световой поток, Рассеянный с регистрируется фотоприемником и обр тывается электроннои схемой, которая ведет подсчет микрочастиц.В условиях современного производства изделий микроэлектроники необходима непрерывная и оперативная информация с соответствии среды нормам содер.кания микрочастиц, Непрерывный контроль можно обеспечить, подключив прибор непосредственно к магистрали подачи жидкости в помещении, где она используется. По ОСТ 11 00.067-82 температура в чистых помеь;ениях должна составлять 20-25 с, Коммуникации по которым поступают технологические жидкости проходят за и ределами чистых помещений, где те.лерату. а преобладающую часть гсда ниже. В реэу,- тате, при прохождении жидкости по гидравлическому тракту устройства, происходит повышение температуры исследуемой жидкости, Поскольку жидкие технологические среды представляют собой, в основном, воду и водные оаствооы, нагрев их приводит к выделение растворенного воздуха и обравет аба ГОСУДАРСТВЕ ЕЯ КО/ИТЕТ ГО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЬТИ ПРИ ГКНТ СССР(71) Львовский государственный унивеоситет им. И, Франко и Завод "Позитрон" (72) Д, И. Билый, В, Б. Гетьман, Б. -Г, И. Кучер, Г. А. Печенков, В. М, Лукьянец., В. Г. Саваневский и А, К. Школьный(56) Авторское свидетельство СССР К. 265537, кл. О 01 й 15/02., 1968,Акопов 3. А. и др. Автомати вский проточно-ультрамикроскопический анализатор количества и размера взвешенных частиц в Изобретение относится к измерительной технике, в частности к устройствам для измерения концентрации твердых примесей в высокочистых жидких средах, и может быть использовано в электронной и химической промышленности для определения степени очистки веществ,Известны устройства для определения концентрации и размерного распределения частиц в жидкости по интенсивности света, рассеянного частицами, которые, перемещаясь в потоке исследуемого жидкости, пересекают освещенную рабочую зону в проточной кювете,Наиболее близкими по технической сущности к предполагаемому изобретению является автоматический проточно-ультра- микроскопический анализатор количества и размеров микрочастиц в жидких средах ОПУ, Анализатор содержит канал подачи исследуемой жидкости, проточную кювету, оптико-электронную систему регистрации, Частицы, взвешенные в жидкой среде, протекающей по каналу подачи жидкости через кювету, пересекая освещенную зону, рассеПриборы и систем ь. Уп рз в 5, с. 42-43,О, ДЛЯ ОПРЕДЕЛЕНИЯ МИКРОЧАСТИЦ В ЖИД(57) Использование: непрерывный ко содержания микрочастиц а рабочих Сущность изобретения: устройство нительно содержи; нагреватель и д тор д "я исклю Гения влияния растворенных в исследуемой жидкос и. ф-лы, ". Ил,Составитель В Гетьманедактор Л.Пчолинская Техред М;Моргентал Корректор С. Юско Заказ 2994 Тираж Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СС 113035, москва, Ж, Раушская наб., 4/5 роизводственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул,Гагарина, 101 зования микропузырьков, Пересекая вместе с потоком жидкости рабочую зону, они регистрируются как микрочастицы, "о вно:ит погрешности в результаты измерения, Часть пузырей оседает на прозрачных 5 стенках кюветы, что приводит к повышению светорассеяния, а значит, и уровня шумов.Цель изобретения - повышение точности измерений в высокочистых жидкостях,Поставленная цель достигается тем, что 10 в устройство для определения концентрации микрочастиц в жидкости, содержащее канал транспортировки исследуемой среды, проточную кювету, осветитель, формирующий рабочую зону, оптико-электронную 15 схему регистрации микрочастиц, дополнительно введены последовательно соединенные нагреватель и деаэратор, причем выход деаэратора соединен со входом канала транспортировки среды. 20На чертеже изображена схема предлагаемого устройства.Устройство состоит из нагревателя 1, деаэратора 2, канала транспортировки исследуемой среды 3, проточкой кюветы 4, ос ветителя 5, оптико-электронной схемы освещения и регистрации микрочастиц 6. Устройство работает следующим образом. Исследуемая высокочистая жидкость проходит нагреватель, где ее температура повышается до уровня окружающей среды, т.е, до температуры элементов устройства. Растворенный воздух выделяется в деаэраторе, В результате, при прохождении жидкости по тракту устройства, не происходит образования микропузырьков воздуха.Таким образом, в предлагаемом устройстве устраняется погрешность в определении концентрации микрочастиц, вызванная регистрацией микропузырьков воздуха. Формула изобретения Устройство для определения концентрации микрочастиц в жидкости, содержащее канал транспортировки исследуемой среды, проточную кювету, оптико-электронную схему освещения и регистрации микро- частиц,отл ича ющеес ятем, что, с целью повышения точности измерений, в устройство дополнительно введены последовательно соединенные нагреватель и деаэратор, причем выходдеаэратора соединен с входом канала транспортировки сре- ды