Способ очистки хлористого водорода

Номер патента: 1726368

Авторы: Звуков, Зонтов, Попенко

ZIP архив

Текст

(5)5 ПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН К АВТОРСКОМУ СВИ ЕЛЬСТВ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИПРИ ГКНТ СССР(54) СПОСОБ ОЧИСТКИ ХЛОРИСТОГО ВОДОРОДА(57) Изобретение позволяет проводить очистку хлористого водорода одновременно отводы и кислорода при увеличении глубины Изобретение относится к технологии очистки газов и может быть использовано для финишной очистки хлористого водорода, применяемого в электронной промышленности для травления кремниевых подложек.Цель изобретения - одновременная очистка оГкислорода без снижения глубины очистки от паров воды.Подготовка поглотителя,230 г активированного угля марки СКТ зернением 2,0 - 2,7 мм помещают в колонку из нержавеющей стали емкостью 500 л и пропитывают водным раствором хлорида железа (И). После этого колонку с поглотителем высушивают в токе особо чистого азота при 300 С в течение 3 ч, вакуумируют до остаточного давления 110 мм рт,стохочистки от кислорода и упростить процесс очистки, Для этого хлористый водород пропускают через слой хлорида железа (1 1), нанесенного на активированный уголь, с расходом не более 500 ч . Температура поглотителя при очистке может находиться в интервале -70,+ 200 С. Хлорид железа (11) наносят. на активированный уголь путем пропитки угля водным раствором хлорида железа (11) с содержанием хлорида железа (1 1) 25 - 40,6 мас,%. Количество хлорида железа (И) составляет 22-35 мас.% от массы поглотителя, 1 табл. лаждают до комнатной температуры и герметизируют,Экспериментально установлено, что для получения поглотителя с содержанием РеС 12 22-35% концентрация РеС 12 в водном растворе. применяемом для пропитки, должна быть не ниже 25%. Верхний предел концентрации ЕеС 2 определяется концентрацией насыщенного раствора, равной 40,6%.П р и м е р 1. Колонку с подготовленным поглотителем подсоединяют к баллону с хлористым водородом и пропускают хлористый водород при комнатной температуре с расходом 300 ч (150 л/ч). После очистки хлористый водород подается в установку травления кремниевых пластин. Содержание воды в исходном хлористом водороде 1.10об.%, кислорода - 6 10 об.%, Содер1726368 Формула изобретения Способ очистки хлористого водорода отпаров воды, включающий пропускание его через слой поглотителя, представляющий 5 собой хлорид металла, нанесенный на твердый носитель, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью одновременной очистки от кислорода без снижения глубины очистки от паров воды, в качестве поглотителя используют 10 хлорид железа (1 1), нанесенный на активированный уголь в количестве 22 - 357 О от общей массы, и пропускание ведут с расходом не более 500 ч . 15, Расход хлористого водорода,Ц Концентрация примесей в исходном газе,об,о ПримерСодержание ГеС 12 Концентрация примесей в очищенном газе,06,3 в поглотителе, мас.о Кислород Вода Кислород Вода 81 О 8 1 О 300 400 30 30 30 8.10 8 10 8 10 30 30 25 8 .1 0-5 8 10 8 1 О 35 22 8 101,0 1 О ЗО 500 А 1203 16020 10 6.10 з 11 (прототип) Вс 1 на 45 50 Составитель Д,ЗвуковТехред М.Моргентал Редактор А.Лежнина Корректор О .Кундрик Заказ 1242 Тираж ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР113035, Москва, Ж, Раушская наб., 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул,Гагарина, 101 жание воды после очистки 2 10 об.о, кислорода - 8 10 об.ф.Содержание воды в хлористом водороде определяли методом "точки росы", содержание кислорода - хроматографически,Другие примеры реализации предлагаемого способа очистки хлористого водорода приведены в таблице.Использование предлагаемого способа очистки хлористого водорода по сравнению с прототипом позволяет проводить одновременную очистку от кислорода и воды, а также избежать использования агрессивных и легко воспламеняющихся реагентов при подготовке поглотителя. 440 470 500 500 500 500 520 6 110-Э бф 10 з 6 1 О з б1 О з 610 з бф 10 з б1 О э 610 з 610 з 610 з 610 з 11 О з 1 10 з 1 10 з 110 з 1 10 з 1 1 О з 110 з 110 З 11 О з 1 10 з 3,7 10 з 2 1 О3 104 1 О71 О1,0 101,0,10-41,0 101,0102,2 101041 10

Смотреть

Заявка

4811204, 06.04.1990

НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ИНСТИТУТ МАТЕРИАЛОВЕДЕНИЯ

ЗВУКОВ ДМИТРИЙ НИКОЛАЕВИЧ, ЗОНТОВ ВЛАДИМИР СТЕПАНОВИЧ, ПОПЕНКО ВИТАЛИЙ ФЕДОРОВИЧ

МПК / Метки

МПК: C01B 7/07

Метки: водорода, хлористого

Опубликовано: 15.04.1992

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-1726368-sposob-ochistki-khloristogo-vodoroda.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ очистки хлористого водорода</a>

Похожие патенты