Зондовая головка
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
(5 Ц 5 Н Е гиче технолскогои Е,Я.В С 88 ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯПРИ ГКНТ СССР ОПИСАНИЕ И ВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВ(71) Московский авиационныйский институт им. К,Э.Циолко(56) Авторское свидетельствоМ 699684, кл, Н 05 К 1/18, 197Авторское свидетельствоЬЬ 1631761, кл. Н 05 К 1/18, 19 Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано в устройствах для контроля качества вскрытия защитного окисла перед приваркой золотых выводов к контактным площадкам из алюминия,Цель изобретения - повышение надежности контактирования при контроле качества вскрытия контактных площадок.На фиг. 1, 2 представлена конструкция зондовой головки в двух проекциях,Зондовая головка состоит из основания 1, плоского зондодержателя 2 с проволочным зондом 3 с загибом на конце, соединенных между собой упругим гофрированным элементом 4 из двух пружин, образующих пружинный параллелограмм, Основание 1 выполнено в виде конусообразной (вид сверху) рамы, зондодержатель 2 выполнен в виде трапеции с углом 45. Основание и зондодержатель соединены упругими гофрированными элементами 4Ы, 1723680 А 1(57) Использование контроль качества вскрытия окисла перед приваркой выводов к контактному площадкам микроэлектронных изделий, Сущность изобретения: устройство содержит. основание и плоский зондодержатель с проволочным зондом, подвешенным на пружинном параллелограмме размещенными в одной базовой плоскости. На упругих элементах пружинного параллелограмма выполнены гофры в направлении, перпендикулярном базовой плоскости, а на конце зонда выполнен загиб в базовой плоскости. 1 з,п, ф-лы, 2 ил. Зондовдя голмобразом.Пластина со вскрытыми контактнымиплощадками или неудаленным Я 02 помещается на столик автомата зондового "ЗондА 5" или другого типа. Измерение пробивного напряжения производится на измерителехарактеристик полупроводниковых приборов Л 2 - 56(ПХНТ 1,2) или с помощью любойавтоматизированной системы (например,"Вахта" ), Контроль качества вскрытия защитного окисла производйтся между контактами предметный столик (" 3 емл я" -зонд. Отсчет пробивного напряжения остаточного диэлектрического слоя ведется поразвертке луча на экране характериографаили автоматически измеряется измерительной системой. Защитное покрытие считается вскрытым, если пробивное напряжениене превышает 5 В,Преимуществом устройства являетсявозможность достижения надежного контакта вскрытой контактной площадкой миковка работает следующи1723680 Состав Техред ев ль Н. Шм Моргента Лошкаое ректор О. Кундрик акто аэ 1070 ВНИИПИ Го Тираж Подписноевенного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ ССС 113035, Москва, Ж, Раушская наб.,4/5 роизводственно-издательский комбинат "Патент", г. ужгород, ул.Гагарина, 101 росхем без повреждения при этом тонких пленок невытравленного диэлектрика. При этом зонд с загибом имеет свойство само- настраиваться на контактную площадку, находящуюся в углублении вытравленного диэлектрика, а упругий элемент не позволяет иметь зонду горизонтальное нежелательное перемещение,Формула изобретения1, Зондовая головка, содержащая основание и плоский зондодержатель с проволочным зондом, подвешенный к основанию на пружинном параллелограмме, выполненном иэ плоских ленточных пружин, причем зондодержатель, зонд и пружинныйпараллелограмм размещены в одной базовой плоскости, о т л и ч а ю щ а я с я тем,5 что, с целью повышения надежности контактирования при контроле качествавскрытия контактных площадок, на упругих элементах выполнены гофры в направлении, перпендикулярном базовой10 плоскости, а на конце зонда выполнен загибв базовой плоскости.2, Зондовая головка по и. 1, о т л и ч ею щ а я с я тем, что зонд изготовлен изсплава на основе вольфрама,15
СмотретьЗаявка
4659628, 06.03.1989
МОСКОВСКИЙ АВИАЦИОННЫЙ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЙ ИНСТИТУТ ИМ. К. Э. ЦИОЛКОВСКОГО
РОМАНОВ ВЛАДИМИР МИХАЙЛОВИЧ, МАРКОВ ВЛАДИМИР МИХАЙЛОВИЧ, ВОЛКОВА ЕЛЕНА ЯКОВЛЕВНА
МПК / Метки
МПК: H05K 1/18
Опубликовано: 30.03.1992
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-1723680-zondovaya-golovka.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Зондовая головка</a>
Предыдущий патент: Способ неразрушающего контроля соединений электрических цепей печатных плат
Следующий патент: Способ контроля качества металлизации отверстий печатных плат
Случайный патент: Устройство для обработки телединамограмм глубиннонасосных скважин