Голографический способ определения рельефа поверхности

(55 0 01 В 11/04, 9/О САНИЕ ИЗОБРЕ Н сти мет при бес ерхности тепенью способа ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИПРИ ГКНТ СССР АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТ(71) Белорусский научно-исследовательскийинститут неврологии, нейрохирургии и физиотерапии и Институт физики АН БССР(54) ГОЛОГРАФИЧЕСКИЙ СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ РЕЛЪЕФА ПОВЕРХНОСТИ(57) Изобретение относится к контрольноизмерительной технике и может быть использовано при бесконтактном контроле Изобретение относится к об рологии и может найти применени контактном контроле рельефа по объектов с различной формой и шероховатости голографическим Известен голографический способ определения рельефа поверхности, заключающийся в том, что производят боковое освещение коллимированными пучками когерентного излучения, повернутыми друг относительно друга на угол Ьа, записывают голограмму в наклонных пучках, регистрируют интерференционную картину, по которой определяют рельеф поверхности,Наиболее близким по технической сущности к изобретению является голографический способ определения рельефа поверхности, заключающийся в том, что освещают объект через фотопластинку коллирельефа поверхности объектов с различной формой и степенью шероховатости голографическими методами. Целью изобретения является повышение точности определения рельефа поверхности за счет более точного определения центров интерференционных полос. Для этого освещают объект через фотопластину а коллимированными пучками когерентного излучения, равноотстоящими по углу на величину Ьа, удовлетворяющую соотношению Ьа 2 тд а/гп, Записывают на фотопластинке голограмму во встречных пучках, восстанавливают ее и регистрируют интерференционную картину, по которой определяют рельеф поверхности. мированными пучками когерентного излучения, ориентированными под малыми углами а к нормали к поверхности фотопластинки, записывают на фотопластинку голограмму во встречных пучках, регистрируют интерференционную картину, по которой определяют рельеф поверхности. 4 ьОднако известный способ обладает не- ВЫСОКОЙ ТОЧНОСТЬЮ,Целью изобретения является повыше- Я ние точности определения рельефа поверхности за счет более точного определения центров интерференционных полос.Указанная цель достигается тем, что согласно голографическому способу, определения рельефа поверхности, заключающемуся в том, что освещают объект через фотопластинку коллимированными пучками когерентного излучения, ориентированными подмалыми углами ак нормали к плоско1714352 Глубинный интервал между контурными полосами при угле наблюденияфопределяется выражением 1Способ реализуют следующими образо Составитель В.КлимоваРедактор В.Бугренкова Техред М.Моргентал Корректор М.Демчи аказ 682 Тираж Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж, Раушская наб., 4/5 ственно-издательский комбинат "Патент", г, Ужгород, ул.Гагарина, 10 Произ сти фотопластинки, записывают на фотопластинку голограмму. во встречных пучках и регистрируют интерференционную картину, по которой определяют рельеф поверхности, объект освещают а пучками, 5 равноотстоящими по углу на величину Ьа, удовлетворяющую условиюЬа 2 сцаПЗ Регистрация контурной карты объекта осуществляется по схеме во встречных пучках, Опорный пучок представляет собой 15 коллимированный лазерный свет, падающий на голографическую пластинку под малым углом а к нормали ее плоскости, Выполняется первая экспозиция. Перед второй и последующими экспозициями объ ект и пластинку поворачивают вместе на угол Ьа. После регистрации голографических изображений на одну пластинку ее проявляют. В результате многолучевой интерференции на восстановленном изобра жении образуются контурные полосы. Вместо поворота объекта и пластинки мож-, но поворачивать соответствующим образом освещающий пучок, либо освещать объект через пластинку одновременно гп коллими рованными пучками когерентного излучения, равноотстоящими по углу на величину Ьа, удовлетворяющую условию2 тцаП 35 Л 2Ьавп(а - ф)В проведенном эксперименте в качестве источника используют гелий-неоновый лазер (Л= 0,6328 мкм). Объектом служит воздушный клин между голографической пластинкой и металлической плоскостью, Угол падения пучка на пластинку составляет а = = 0,0863 рад, угол поворота Ь а = 2,5610 з рад, а угол наблюдения ф = 0,785 рад. При этом глубинный интервал составляет 228 мкм. Формула изобретения Голографический способ определения рельефа поверхности, заключающийся в том, что освещают объект через фотопластинку коллимированными пучками когерентного излучения, ориентированными под малыми углами а к нормали к плоскости фотопластинки, записывают на фотопластинку голограмму во встречных пучках и регистрируют интерференционную картину, по которой определяют рельеф поверхности, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения точности определения рельефа поверхности за счет более точного определения положения центров интерференционных полос, объект освещают п пучками, равноотстоящими по углу на величину Л а, удовлетворяющую соотношению 2 тдап 3