Стекло

3 087 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТПО ИЗОВРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМПРИ ГКНТ СССР(56) Авторское свидетельство СССРУ 1217804, кл. С,ОЗ С 3/093, 1984.Авторское свидетельство СССР11 151936; кл, С 03 С 3/085, 1987.(54) СТЕКЛО 57) Изобретение относится.к химичесИзобретение относится к химическиустойчивым стеклам; предназначеннымдля производства фотошаблонных пластин.Известно стекло К, применяемоев производстве фотошаблонных пластин,следующего .состава, масЛ: 8102, 68,9;ВО 11,5 ВаО 2,8; На 0. 10,4; Кф)6,5; А 10 э ОеЗОднако указанное стекло по своимфизико-химическим свойствам непригод-но для производства больших и сверхбольших интегральных схем.Наиболее близким к изобретению потехническойсущности и достигаемомурезультату является стекло состава,мас. Х: Яз,О;. 54,595-Ь 8,998; А 106,50-16,50; МдО 5,00-12,00; СаО1,00-11,30; 2 пО 5,00-15 ЭО; Г 1 ауОО, 10-3,00; Г 1 оО 0,0005-0,005,Недостатком прототипа являетсявысокая днхатометрическая температураначала деформации, которая осложняети удсронет производство отжига стеклопластн, т.е. требует сооружения неки устойчивым стеклам, предназначеннымдля производства фотошаблонных плас-тин. С целью снижения дилатометрической температуры начала деформациистекло содержит, мас.Х: 8102 52,99 ЬО; А 1 дО 14,5-20; МяО 4,6-12,1;СаО 64"15,9; 2 пО 2,0-8,8; Г 1 аф) 0,01 -3,1; Г 1 оО 0,01-0,02; 2 гО 0,1-0,5,Дилатометрическая температура началадеформации 680-7 ООЧ., температура варки 1400-1430 С, КЛТР (35-39)ф 10 1/ ;.1 табл,станДартной высокотемпературной отжиговой печи непрерывного действия.Целью изобретения является сниже-. ние дилатометрической температуры начала деформации стекла.Поставенная цель достигается тем, что стекло, включающее БдО, Л 10 З, М 80, СаО, 2 пО, Г 1 адО, Г 1 оО, дополнительно. содержит 2 гО при следующих соотношениях компонентов, мас.Х: 5 д 52,99-ЬО,ОО; СаО 8,40-15,90; 2 гОд О,0-0,50; 2 пО 2,00-8,80; Л 10 1 Ь,60- 18,00; Г 1 ааО 0,09-2, 10; МяО 4,оО . - 12, 10; МоОз О 01-0, 02В таблице приведены конкретные составы стекол, сваренных в шахтной печи (в кварцевых тиглях) и выдержанных в ней до похого осветления, Тем-пература варки предлагаемых стекоп. не превышает 1440 С, а температура ос" ветления достигает до 1560 дС, теипе" ратура выработки 1200-1260"С.Синтез стекол осуест.;яетсяс с пользованию с,уцхсыпь.:3 ых и с1708781 ния процента выхода годной продукции, обусловленного меньшим температурным интервалом кристаллизации.Формула изобретения валов: кварцевьй песок, оксид циркоия, глинозем, оксид магния, мел, ксид цинка, сода, оксид молибдена,Как следует из данных, приведенных таблице, вводом и изменением содержа.ия компонентов по сравнению с протоипом достигается не только поставленая цель, но также некоторое улучшеие физико-химических свойств, 10Применение предлагаемого стекла ;роме облегчения организации отжига :текла снижает себестоимость нродукии за счет экономии электроэнергии, обусловленной снижением как температуы осветления 1560 РС (против 1580 - 600 фС для прототипа), так и темпера- гуры отжига, а также за счет повыше Прототип Состав исвойствастекол 54,593-68,998Отсутствует6,50-16,50 .5,00-12 э 001,00-11,305,00-15,500,10-3,000,0005-0,00539-45 60,00 0,10 14,508180 6,40 708 3,10 0,02 52,99 0,50 20,00 7,39 10, 30 8,80 0,01 0,01 52,99 0,10 18,00 9,10 15,90Зб. 38 695 685 750-780680 720 680 700 Оэ 016 Оэ 013 Ов 012 Оэ 02 0101 0,01-0,017 0,01 930- 920- 940-920-900-11001070 1080 1050 1070 . 920- 1050 940- 1060 Температураварки,фС 1410 1430 1420 1390 1430 1410-1440 1400 Составитель К. ТатевосянТехред И.Дидык Корректор М, Самборская Редактор О. Спесивыхй Заказ 400 Тираж ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям н открытиям при ГКНТ СССР113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г.укгород, ул, 1. арина, 101 БьОоЕтоеА 1 аозНВОСаОЕлоЯааОНоОЗТ 1 ЙР к 1 0град "1Дилатометрическая т-раначала деФормации, еСХимическая устойчивость кН 2 р, потери,Х к иавескеТемпературнмй интервал кристаллизации,фС Стекло, включающее БдОг А 10МаО, СаО, ЕпО, На 20, Ио 20 е., о т Л и - ч а ю щ е е с я тем, что, с целью снижения дилатометрической температуры начала деформации, оно дополнительно содержит ЕгОо при следующем соотношении компонентов, мас.7: ЯО 52,99-60,0; Л 1 дОе, 14,5-20,0; ИО 4,6-12,1; СаО 6,4-15,9; 2 пО 2,0-8,В;. ИаоО 0,01-3,1; МооО 0,01-0,02; ЕгОе