ZIP архив

Текст

ОП ИСА НИ ЕИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз СоветскихСоциалистическихРеспублик Кл, 421, 4 д 6 Зависимое от авт. свидетельстваЗаявлено 17.1.1963 ( 814056/23-4) Государственный комитет по делам изобретений и открытий СССР01 присоединением заявкриоритет Опубликовано 11,111,1965, Бюллетень М ДК 620.1.087 А: 621,384.8 (088,8)ия 28 Л 1.19 опубликования опис Авторыизобретения М.. Меньшиков, Г. ф. Ивановский, А, С, Назар В И К В В П Е, Левина 2 одписная группа17 Известны масс-спектрометрические течеискатели, состоящие из азотной ловушки и подключенных к ней посредством вентилей массспектрометрической камеры, калиброванной гелиевой течи, механических насосов, иониза. ционного и термопарного манометров и силь- фона.Чувствительность известных масс-спектрометрических течеискателей, например типа ПТИ-б, МХ, не удовлетворяет повышенным требованиям производства, Используемый в течеискателе ПТИнасос НВОпозволяет достигнуть дискриминации в скорости откачки гелия по сравнению с воздухом в от. ношении 1: 6. Для увеличения чувствительности необходимо уменьшить величину этого отношения,Предлагаемый течеискатель снабжен гетер- но-ионным насосом, который позволяет достигнуть дискриминации в скорости откачки гелия по сравнению с воздухом в отношении 1: 100 и тем самым увеличить чувствительность течеискателя.На чертеже показана схема предлагаемого течеискателя.Он содержит масс-опектрометрическую камеру 1, вентиль ДУ2, ионизационный манометр 3, азотную ловушку 4, калиброванную гелиевую течь б, вентиль ДУб, сильфон 7, вентиль ДУ8, насос ДВН-2 9, термопарный маномер 10, насос МГВН11, вентиль ДУ12, дросселнрующнй вентиль 13, испытуемый объект 14, гетерно-ионный насос 15 и прогреваемый высоковакуумный вентиль 5 ДУ1 б.Испытания проводят следующим образом.Испытуемый объект 14 присоединяют к дросселирующему вентилю 13. Гелий откачивают механическими насосами 9 и 11 через вентили 10 13, 8 и 12, Вентили 2 и 1 б при этом закрыты,По достижении рабочего давления, измеряемого с помощью ионизационного манометра 3, открывают вентиль 2 н проводят испытания объекта по обычной методике. Поток гелия 15 Я, проникающий через течь в объекте, вызывает повышение парциального давления гелия в масс-спектрометрической камере 1, что регистрируется течеискателем. 20 После устранения всех течей, доступных обнаружению обычным методом, течеискатель перестраивают на повышенную чувствительность. Вентиль 8 закрывают, а вентиль 1 б открывают. После установления равновесного 25 сигнала течеискателя продолжают испытанияобъекта.Дискриминация в откачке гелия приводит ктому, что наименьшее регистрируемое парци.альное давление гелия создается меньшим 30 потоком гелия, чем без дискриминации.аказ 1547/18 Тираж 1100 Формат бум. 60)(901/, Объем 0,13 изд. л. Цена 5 коп. ЦНИИПИ Государственного комитета по делам изобретений и открытий СССР Москва, Центр, пр. Серова, д. 4ипографин апунова,Масс-спектрометрический течеискатель, со. стоящий из азотной ловушки и подключенных к ней посредством вентилей масс-спектромет. рической камеры, калиброванной гелиевой течи, механических насосов, ионизационного и термопарного манометров и сильфона, отли.чаюиийся тем, что, с целью увеличения чувствительности, к азотной ловушке через высо.5 ковакуумный вентиль подключен гетерно-,ионный насос.

Смотреть

Заявка

814056

М. И. Меньшиков, Г. Ф. Ивановский, А. С. Назаров, Л. Е. Левина, В. И. Карпов, В. В. Пименов

МПК / Метки

МПК: G01N 27/70, H01J 49/26

Метки: 169285

Опубликовано: 01.01.1965

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-169285-169285.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">169285</a>

Похожие патенты