Способ изготовления кварцевых резонаторов
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
(51)5 Н ГОСУДАРСТВЕ ННЫЙПО ИЗОБРЕТЕНИЯМПРИ ГКНТ СССР МИТЕТОТКР ЫТИ ПИСАНИЕ ИЗОБРЕТ енно учно уги 03 Н ЫХ ВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВ(54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ КВАРЦРЕЗОНАТОРОВ Изобретение относится к электроннойтехнике, в частности к производству кварцевых резонаторов.Целью изобретения является повышение выхода годных за счетснижения дисперсии температурно-частотных характеристикрезонаторовСпособ осуществляют следующим образом,Изготавливают диэлектрическую подложку с гнездами для пьезоэлементов и держатели. Закрепляют держатели пьезоэлементовна подложке путем двустороннего нанесения фотореэиста на заготовку держателей,двустороннего экспонирования и проявления фоторезиста, травления заготовки иудаления фоторезиста и устанавливают пьезоэлементы на держатели.П р и м е р. На пластину из никелевойфольги (НТ- Т - Н,05) толщиной 0,05 ммпо защитной маске из фоторезиста Ф 25,полученной методом двусторонней фотоли(57) Изобретение относится к электронной технике, в частности к производству кварцевых резонаторов. Целью изобретения является повышение производительности за счет уменьшения объемов функциональной подгонки путем снижения дисперсии температурно-частотных характеристик резонаторов. Цель достигается тем, что изготовление держателей осуществляют методом двусторонней фотолитографии с последующим травлением незащищенных участков материала держателя, причем нанесение фоторезиста, его экспонирование и проявление проводят до закрепления материала держателей на подложке, а травление незащищенных участков материала держателя - после закрепления. тографии, электрохимическим наращиванием наносили слой золота толщиной 8 - 10 мкм на места. будущих держателей на обе стороны пластины. Керамическую подложку со сформированными гнездами под пьезоэлементы методом сверления (или пробивки) О" совмещали с пластиной из никелевой фольги с помощью базовых штифтов на основа- Фь нии и соединяли с помощью клея. После д) склеивания основание удаляли и произво- ф, дили сквозное травление незащищенных участков фольги в водном растворе перекиси водорода, содержащем соляную кислоту, На изготовленные держатели с помощью токопроводящего клея монтировали пьезо- д, элементы,формула изобретенияСпособ изготовления кварцевых резонаторов, включающий изготовление диэлектрической подложки с гнездами для пьезоэлементов, изготовление держателей для пьезоэлементов из металлической1674347 Составитель В. ИовдальскийТехред М,Моргентал Корректор М. Максимишенец Редактор А. Лежнина Заказ 2934 Тираж 434 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж, Раушская наб 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101 заготовки, закрепление держателей пьезоэлементов на подложке и установку пьезоэ-,лементов на держатели, о т л и ч а ю щ и йс.я тем, что, с целью повышения выходагодных за счет снижения дисперсии температурно-частотных хара ктеристик резонаторов, для изготовления и закрепления держателей пьезоэлементов на подложке осуществляют двустороннее нанесение фоторезиста на заготовку держателей, двустороннее экспонирование и проявление фоторезиста, закрепление заготовки на подложке, травление заготовки и удаленИе фоторезиста,
СмотретьЗаявка
4480323, 18.07.1988
ЯРОСЛАВСКОЕ НАУЧНО-ПРОИЗВОДСТВЕННОЕ ОБЪЕДИНЕНИЕ "ЭЛЕКТРОНПРИБОР", НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ИНСТИТУТ "ФОНОН"
ВАСИЛЬЕВ АЛЕКСАНДР МИХАЙЛОВИЧ, ЛЕБЕДЕВ ИГОРЬ АНАТОЛЬЕВИЧ, ПУГИН ВАЛЕНТИН ФЕДОРОВИЧ, ДОРОГАНЬ ИВАН ПРОХОРОВИЧ, ЛИТВИНОВ ВАЛЕНТИН ПЕТРОВИЧ, ВОРОНЦОВ ПАВЕЛ ИВАНОВИЧ, ФАЙЛЕР ЯКОВ ЕФИМОВИЧ
МПК / Метки
МПК: H03H 3/02
Метки: кварцевых, резонаторов
Опубликовано: 30.08.1991
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-1674347-sposob-izgotovleniya-kvarcevykh-rezonatorov.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ изготовления кварцевых резонаторов</a>
Держатель для пьезоэлектрического резонатора
Номер патента: 571874
Опубликовано: 05.09.1977
Авторы: Гуляков, Марьяновский
МПК: H03H 9/06
Метки: держатель, пьезоэлектрического, резонатора
...стойка выполнена издвух частей, которые соединены междусобой металлическим проводником, закрепленным на изоляционном основании,На чертеже изображен Держатель Дляпьезоэлектрического резонатора,общий вид. Держатель для пьезоэлектрическогорезонатора содержит изоляционное основание 1 и укрепленные на нем мЮаллические стойки 2, каждая иэ которых 5 выполнена иэ двух частей 3 и 4, которые соединены между собой металлическим проводником 5, причем верхниеконцы металлических стоек соединеныс электродами б пьезоэлектрического 10 резонатора. Металлический проводник 5закреплен на изоляционном основании 1Металлический проводник 5 механи"ческой нагрузки не несет и может бытьвыполнен с минимально возможным се чением, например, вжиеанием...
Способ соединения держателей тела накала ламп накаливания с заготовкой из изоляционной массы
Номер патента: 783887
Опубликовано: 30.11.1980
МПК: H01K 3/08
Метки: держателей, заготовкой, изоляционной, ламп, массы, накала, накаливания, соединения, тела
...детали (кассете-расколотке).783887 Время на изгото-; вление 1 единицы,норма/ч Расход инертного газа 1 тыс шт, м"м"Выход иэделий, В Расход кварца на 1 тыс.шт,кг Способ изготовления Известный. Предложенный0,25 0,13 60 80 6,2 4,0 0,3 Формула изобретения П р и м е р. Металлические держа=тели 1 для крепления тела накала,предварительно сформованные, размещают в кассете-расколотке 2. Верхний конец изоляционной заготовки 3(кварцевого штабика или трубки) закрепляют в держателе механизма заштамповки, а нижний - в упоре холодильника. После разогрева нижнегоконца заготовки до размягчения держатели вдавливают в нее в направлении, перпендикулярном к оси держателей.,Вдавливание держателей в изоляционную массу до определенной глубины (до...
Устройство для двухстороннего нанесения фоторезиста на подложки
Номер патента: 439947
Опубликовано: 15.08.1974
Авторы: Варшал, Лейзгольд, Рыхлицкий
МПК: H05K 3/10
Метки: двухстороннего, нанесения, подложки, фоторезиста
...устройстве держатель выполнен в виде ножей, лезвия которых служат опорой для подложки.Иа чертеже приведена конструкция предлагаемого устройства. Оно состоит из корпуса 1, закрепленного на шпинделе центрифуги 2. В четырех пазах корпуса установлены две нары ползунов 3, несущих четыре опорных ножа 1. В центре корпуса установлена чашка 5 для сбора фоторезиста при центрифуги. ровании,2Опорные ножи имеют грани, которые ограничивают перемещение подложки во время покрытия и заточены под острыми углами.Грани ножей, контакгирующие с подлож кой 6, имеют форму лезвий, за счет чего осуществляется точечное контактирование с гранями подложки.Благодаря тому, что устройство выдерживает значительныс скорости вращения (10 ш тыс. обмин) и за счет...
Устройство для нанесения слоя фоторезиста на подложки
Номер патента: 1385932
Опубликовано: 15.12.1991
Автор: Мягконосов
МПК: B05C 5/00, G03C 1/74, H01L 21/312
Метки: нанесения, подложки, слоя, фоторезиста
...в сосуд 1, Держатель .6 с подложками 7 закрепляют посредством кронштейна 8 на крьппке 2, которую уста иавливают на сосуд 1. Затем открывагот клапан 5 в трубопроводе 14; клапан 17 в трубопроводе 16 подачи сжатого газа и, создавая давление в реВерсивном баке(1,5-2,0) х 10 Па, подают в сосуд 1 жидкость 4,контролируя ее уровень по указателю 19 уровня. При подъеме уровня жидкости 4 в сосуде 1 нанна 9 с Фаторезистом 1 О также поднимается и при достижении заданного уровня жидкости 4 подложки 7 полностью погружаются в Фоторезист 10, После этого закрывагот клапаны 15 и 17, открывагот клапан 18, устаиавлггвая в реверсивном. баке 11 давление, равное атмосферному, и герметизируют сосуд 1 прижатием крьппки 2 к.уплотнению 3, Затеи открывают клапан...
Устройство для нанесения фоторезиста на подложки
Номер патента: 441686
Опубликовано: 30.08.1974
Авторы: Городилов, Клепиков, Старожилова
МПК: H05K 3/00
Метки: нанесения, подложки, фоторезиста
...5 со стороны распылителя снабженанагревателем, выполненным в видетонкой пленкй,а внутренняя горизонтальная стенка со стороны размещения подложек выполнена с возможно стью охлаждения ее,например,проточной водой. Это позволяет увеличитьэффективность работы устройства.На чертеже изображенопредлагаемое устройство. Ь устройство состоит из распылителя 1,стенки которого герметично соедйнены с нагревателем 2камеры;тонкой металлической лентытранспортирующего механизма 3, накоторую помещают полупроводниковыепластины 4, и охлаждаемой подложки5.0 хлажденйе осуществляется с помощью воды, циркулирующей по каналэм подложки (на чертеже не покаЭлектрический ток пропус. кают до токопроводящему слою нагревателя 2 и охлаждают додложку 5, создавая...
Предыдущий патент: Измерительный усилитель
Следующий патент: Линия задержки на приборах с зарядовой связью
Случайный патент: Способ определения теплофизических характеристик термоэлектрического термостата