Интегральный преобразователь давления
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
(9 1 1 9/04 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТ АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ А,А.Кулие СССР83. ОБРАЗОВ контро ьноозволяет потройства, В ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯПРИ ГКНТ СССР(71) Институт физики АН КзСС(54) ИНТЕГРАЛЬНЫЙ ПРТЕЛЬ ДАВЛЕНИЯ(57) Изобретение относится кизмерительной технике и ивысить чувствительность у преобразователе кремниевая мембрана 3 выполнена в виде равностороннего треугольника. Вдоль высоты треугольника размещены два тензорезистора 1 соответственно на расстоянии 0,52 и 0,35 а от основания,Вторая пара тензорезисторов 1 расположена на линии, параллельной основанию треугольника и отстоящей от него на 0,1 а; Каждый резистор второй пары отстоит от вершины близлежащего угла треугольника на расстоянии 0,25 а, где а - длина стороны треугольника. Воздействие измеряемого сопротивления на мембрану 3 преобразователя вызывает изменение сопротивления тенэорезисторов 1 с контактными площадками 2 каждой пары с разным знаком. 1 ил,1673894 Составитель А.ЗражевскийТехред М,Моргентал Корректор А.Осауленко Редактор Ю.Середа Заказ 2911 Тираж 343 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж, Раушская наб., 4/5 Производственно-издательский комбинат"Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101 Изобретение относится к контрольноизмерительной технике и может быть использовано для измерения давления жидких и гаэообразНых сред.Целью изобретения является повышение чувствительности.На чертеже схематично изображен преобразователь. Интегральный преобразователь давления содержит четыре тензореэистора 1 с контактными площадками 2, Тензорезисторы размещены на мембране 3, выполненной в виде равностороннего треугольника, Одна пара тензорезисторов 1 размещена вдоль высоты треугольника так, что один тензореэистор иэ этой пэры расположен на расстоянии 0,52 а, а другой - на расстоянии 0,35 а от основания. Другая пара тензореэисторов 1 размещена на линии, параллельной основанию треугольника и отстоящей от него на расстояние 0,1 а, причем каждый тензорезистор этой пары расположен на расстоянии 0,25 а от вершины близлежащего угла треугольника. Величина а равна длине стороны %гГтреугольника.Интегральный преобразователь давления работает следующим образом.Измеряемое давление, воздействуя на мембрану, вызывает ее деформацию, а следовательно, и изменение сопротивления тензореэисторов 1. При этом изменение сопротивления тензорезисторов каждой пары происходит с разным знаком, что приводит к увеличению чувствительности. Выбранная геометрическая форма выполнения мембраны также приводит к 5 увеличению чувствительности эа счет увеличения значений деформаций.Интегральный преобразователь давления обеспечивает повышение чувствительности примерно в два раза по сравнению 10 с интегральным преобразователем, в котором мембрана имеет прямоугольную форму выполнения, при одинаковых значениях площадей мембран.Форма изобретения15 Интегральный преобразователь давления, содержащий кремневую мембрану, на которой размещены четыре тензорезистора, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения чувствительности, в нем мем брана выполнена в виде равностороннеготреугольника, причем одна пара тензореэисторов размещена вдоль высоты треугольника, один тензорезистор иэ этой пары расположен на расстоянии 0,52 а, другой на расстоянии 0,35 а от основания, при этомдругая пара тензорезисторов размещена на линии, параллельной основанию треугольника и отстоящей от него на расстояние 0,1 а, причем каждый тензореэистор 30 этой пары расположен на расстоянии 0,25 аот вершины близлежащего угла треугольника, гдеа-длина стороны треугольника.
СмотретьЗаявка
3965917, 04.07.1985
ИНСТИТУТ ФИЗИКИ АН АЗССР
ПАШАЕВ АРИФ МИРДЖАЛАЛ ОГЛЫ, АСЛАНОВ ТАХИР АСЛАН ОГЛЫ, КУЛИЕВ АКИФ АЛИМУХТАР ОГЛЫ
МПК / Метки
МПК: G01L 9/04
Метки: давления, интегральный
Опубликовано: 30.08.1991
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-1673894-integralnyjj-preobrazovatel-davleniya.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Интегральный преобразователь давления</a>
Предыдущий патент: Способ определения тягового сопротивления машин и орудий
Следующий патент: Мессдоза для измерения давления
Случайный патент: Устройство динамического приоритета электронной вычислительной машины