Способ измерения диэлектрической проницаемости листовых диэлектриков

СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИРЕСПУБЛИК 383 9) 01 В 27/26 Т 8 ЕННЫЙ КОМИТЕТЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМСССР ГОСУДА ПО ИЗО ПРИ ГКН мерения диэлектрической проницаемости листовых диэлектриков заключается в том, что контролируемый диэлектрик 4 облучают под углом линейно-поляризованной волной СВЧ, генерируемой генератором 1 и прошедшей через поляризатор 2. С помощью приемных антенн 5 и 6 принимают отраженную и прошедшую электромагнитные волны и измерительными блоками 7 и 8 измеряют эллипсометрические параметры отраженного и прошедшего излучений, В блоке 9 обработки, выполненном на основе вычислительного управляющего устройства, осуществляют расчет диэлектрической проницаемости. Способ обеспечивает высокую точность измерений за счет исключения погрешности, вносимой в результаты измерений вариациями толщины контролируемого материала и изменениями амплитудно-фазовых и поляризационных параметров зондирующего излучения, 1 ил. 31дной физик Н БС ра Н, Эллипсометрия вет. - М,: Мир, 1981,следование дих частотах -63, с. 303,лектри- осиздат ерительповы шелючения толщины особ изконтролир ыи ем изме ов о ния эллип женной и дующи о лектрик 4 облучаяризованной волгенератором 1 и атор 2. После взамым диэлектрикомприемных антенн дшую электромагИСАНИЕ ИЗОБРЕ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТ(56) Аээам РБашаполяриэационный с381,Брандт А.А, Исков на сверхвысокфиз-мат, лит-ры, 19 54) СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ДИЭЛЕКТРИЧСКОЙ ПРОНИЦАЕМОСТИ ЛИСТОВЫХ ДИЭЛЕКТРИКОВ(57) Изобретение относится к измной технике. Цель изобретения -ние точности измерений за счет исквлияния на результат измеренийконтролируемого диэлектрика. Сп Изобретение относится к измерительной технике и может использоваться для измерения относительной диэлектрической проницаемости диэлектриков в авиационной и радиотехнической промышленности,Цель изобретения - повышение точности измерений за счет исключения влияния на результат измерений толщины контролируемого диэлектрика.На чертеже приведена структурная электрическая схема устройства, реализующего способ измерения диэлектрической проницаемости листовых диэлектриков.Устройство содержит генератор 1 электромагнитного излучения, поляризатор 2,злучающую антенну 3,иелектрик 4, первую 5ые антенны, блоки 7 и 8ометрических параметррошедшей электромагнобработки,Способ реализуется Контролируемыи диэ ют под углом линейно-пол ной СВЧ, генерируемой прошедшей через поляри имодействия с контролируе 4 принимают с помощью 5 и 6 отраженную и проще 00 ныл волн н блов ( 11672383 нитные волны и с помощью измерительных блоков 7 и 8 измеряют эллипсометрические параметры отраженногоо и прошедшего излучений. Полученные значения эллипсометрических углов отраженной и прошедшей волн поступают на первый и второй входы блока 9 обработки соответственно, выполненного на основе вычислительного управляющего устройства, в котором в соответствии с алгоритмом осуществляется расчет диэлектрической проницаемости Формула изобретения Способ измерения диэлектрическойпроницаемости листовых диэлектриков,включающий облучение контролируемого где нотр,мэтр,фЪр,Л 1 р - эллипсометрические дЬ - угол падения электромагнитнойпараметры отраженной и прошедшей элек волны на контролируемый диэлектрик.тромагнитных волн; Составитель Р.КузнецоваТехред М.Моргентал Корректор А.Осауленко Редактор Т,Иванова Заказ 2837 Тираж 396 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, )К, Раушская наб 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г, Ужгород, ул.Гагарина, 101 где 9 ътр,Лотр,1 Ър,Ар- эллипсометрические параметры отраженной и прошедшей электромагнитных волн соответственно.Предлагаемый способ обеспечивает высокую точность измерений за счет исключения погрешности, вносимой в результаты измерений вариациями толщины контролируемого материала и изменениями амплитудно-фазовых и поляризационных параметров зондирующего излучения. диэлектрика линейно-поляризованной волной под углом к его поверхности, прием 15отраженной и прошедшей через контролируемый диэлектрик электромагнитных волн и измерение их параметров, по которым определяют диэлектрическую проницаемость, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью 20 повышения точности измерений за счет исключения влияния на результат измерения толщины контролируемого диэлектрика, измеряют эллипсометрические параметры отраженной и прошедшей электромагнитных волн, а диэлектрическую проницаемость определяют в соответствии со следующим выражением: