Способ препарирования образцов

(54) СПОСОБ ПРЕПАРИРОВАНИЯ ОБРА ЦОВ(57) Изобретение одовательской деятиспользовано при идля просвечивающскопии их утонениеэлектролитическойировки. Целью иэобшение качествапрепарирования обние образцов путемхимической полироминарной струей твым в предлагаемочто полировку проламинарной струей. 2 ил. го раствора 7 и магистраль 8 для его подачи к образцу, перегородку с отверстием в центре 9 и магнитный активатор 10.Иллюминаторы 2 выполнены соосно с соплом 6, источником света 1 и фотодатчиком 3, причем сопло расположено нэ стенке ванны напротив образца и соединено с емкостью для травящего раствора через отверстие 11 в ее боковой стенке посредством магистрали 8, а активатор расположен нэ дне емкости для травящего раствора,Устройство функционирует следующим образом.Емкость 7 заполняют травящим раствором и посредством магнитной мешалки 12 приводят во вращение активатор 10, который, в свою очередь, вовлекает во вращение часть травящего раствора, находящегося под перегородкой 9, который под действием центробежной силы и волн от активатора ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМПРИ ГКНТ СССР ВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬ(71) Научно-исследовательский институт прикладных физических проблем им. А.Н.Севченко(56) Авторское свидетельство СССР М 763763, кл, 6 01 й 1/28, 1980.Авторское свидетельство СССР 1 Ф 953493, кл, 6 01 М 1/28, 1982.Авторское свидетельство СССР М 754249, кл. б О, й 1/28, 1980.Хирш П., Хови А., Николсон Р., Пэшли ДУзлан М. Электронная микроскопия тонких кристаллов, М,: Мир, 1968, с, 574. Изобретение относится к научно-исследовательской деятельности и может быть использовано при приготовлении образцов для просвечивающей электронной микроскопии путем их утонения посредством струйной электролитической или химической полировки.Целью изобретения является повышение качества образца,На фиг. 1 изображено устройство струйного травления, схема; на фиг. 2 - схема устройства струйного химического травления стационарной ламинарной струей.Устройство, реализующее предлагаемый способ препаривания образцов. содержит оптическую систему контроля толщины образца, состоящую из источника света 1, иллюминаторов 2 и фотодатчикэ 3, ванну 4, содержащую объектодержатель с образцом 5 и сопло 6. емкость для травящетносится к научно-исслеельности и может бытьриготовлении образцов ей электронной микром посредством струйнойили химической полретения является повыобраэца Способ раэцов включает утонеэлектролитической или вки их поверхности ларэвящего раствора. Ном способе является то. изводят пульсирующей1666941 Составитель Л.Горянковаедактор К.Крупкина Техред М.Моргентал Корректор И,Муска Заказ 2518 Тираж 391 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ ССС 113035, Москва, Ж, Раушская наб 4/5й комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 1 О Производстве ате выбрасывается через отверстие 11 в магистраль 8 и через сопло 6 поступает к образцу в виде пульсирующей (с частотой вращения активатора) ламинарной струи, При электролитической полировке на образец при этом подают положительный относительно сопла потенциал. Контроль за толщиной образца осуществляют по нарастанию светового потока от источника света 1 на фотодатчик 3 по мере утонения образца и появления на нем просвечивающих участков и сквозных отверстий.П р и м е р. Качество поверхности образцов, полученных утонением пластин кремния марки КЭФ,0 толщиной 400 мкм путем химической полировки пульсирующей ламинарной струей химического травителя, представляющего собой смесь плавиковой и азотной кислот в соотношении 1:3, оценивали визуально по электронным микрофотографиям в сравнении с микрофотографиями аналогичных образцов, препарированных по прототипу на устройстве, изображенном на фиг, 2, Из микрофотографий видно, что образцы, пре парированные по предлагаемому способуимеют более гладкую поверхность, чем образцы, препарированные по прототипу,Использование предлагаемого способапрепарирования образцов повышает досто верность электронно-микроскопических исследований за счет уменьшения количества артефактов, вызываемых препарированием.Формула изобретения 15 Способ препарирования образцов,включающий утонения образцов путем электролитической или химической полировки их поверхности ламинарной струей травящего раствора, о т л и ч а ю щ и й с я 20 тем, что, с целью повышения качества образца, используют пульсирующую струю,