Устройство для лазерного сканирования

9498 А 0901 СОЮЗ СОВЕТСНИХСОЦИАЛИСТИЧЕСНИХРЕСПУБЛИК у) С 02 В 27/48 ОСУДАРСТБЕННЫЙ КОМИТЕТО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОЧНРЫТИЯРИ ГКНТ СССР 4 к" 1 Э РР 1 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ АВТОРСКОМ,К СВИДЕТЕЛЬСТВУ(57) Изобретение электронным:сис ния является по оптико- зобрете носитс ель ем сти контянстваедуемойлазерного шение точи ечения пос ргии на ис ройство дл роля путем оьес концентрации эн поверхности, Ус сканирования со в оит из лазе 21) 4696882/102) 10.02.896) 15,05,91. Вюп.(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯВАИИЯ средства распределения лазерного пучка, содержащего дифлекторы 2 и 5, связанные с приводами 3 и 6 и с блоками 4,7, 14, фокусирующую систему 8, отклоняющие зеркала 11, связанные с приводами 12 и системой 13 управления.Отличием системы является то, что отклоняющие зеркала расположены так, что длина оптического пути от фокусирующей системы до исследуемой поверхности постоянна, а ось лазерного пучка после отражения от отклоняющего зеркала перпендикулярна исследуемой поверх- . ности, что позволяет повысить качество контроля. Кроме того, система распределения лазерного пучка выполненавиде двух дифлекторов, что повышает ф скорость и надежность работы. 3 з,п, ф лы 1 ил,С:1649498Изобретение относится к оптическим торых снабжена приводом и управляюи электронно-оптическим приборам для щим блоком, что обеспечивает изменениесканирования светового луча. и может угла сканирования с большой скоростью,быть использовано в лазерных систе кроме того, наличие нескольких рабомах контроля качества материалов, , чих плоскостей создают условия разпреимущественно, в металлургии для грузки теплового воздействия на однубесконтактного контроля однородности плоскость, что улучшает надежностьстального движущегося слитка путем эксплуатации.. генерирования акустического сигнала в 10определенных точках исследуемого ма- Ф о р м у л а .и з о б р е т е н и ятериала с помощью лазерного излуче. Устройство для лазерного сканиния. рования, преимущественно для системЦель изобретения - расширение экс- контроля качества материалов, содержаплуатационных возможностей путем обесщее средство распределения пучка лапечения вертикального 4 окусирования зерного источника, Фокусирующую сислазерного излучения на исследуемую по- тему, последовательность отклоняющихверхность и повторного сканирования зеркал, закрепленных на приводах, свяпо точкам на движущейся исследуемой ванных с системой управления, о т л иповерхности, а также увеличение ско ч а ю щ е е с я тем, что, с целью порости сканирования и повышение на- , выщения точности контроля путем обесдежности эксплуатации. печения постоянства концентрации энерНа чертеже схематически изображе-, гии на сканируемой поверхности, Фокуно предлагаемое устройство. " аирующая система размещена перед средУстройство для "лазерного сканиро ством распределения лазерного пучка,вания содержит импульсный лазер 1 а последовательность отклоняющих зерна оптической оси которого расноло" кал такая, что длина оптического путижено средство распределения пучка ла- от Фокусирующей системы до сканируезера, состоящее из направляющей призмы мой яоверхности постоянна, при этом2 с шаговым приводом 3 и управляющим р ось лазерного пучка, отраженная отклоблоком 4 в виде ойтоэлектройиого дат- няющими зеркалами, перпендикулярначика и второй иаправлянщей пРизмы 5 , к сканируемой поверхностис шаговым приводом 6 и таким же уиРав. Устройство но и, 1, о т л и -ляющим блоком 7, Перед призмаьщ 2 и 5 ч а ю щ е е с я тем, что, с цельюрасположена Фокусирующая систе 4 а 8, повышения плотности энергии на сканиФокусирующая пучок 9 лазерного излуче- чуемой поверхности, средство распредения на исследуемую поверхность 0. Над ения лазерного пучка выполнено в видеисследуемой поверхностью 10 поочеред- деФдектора, связанного с приводом ино располбжены плоские отклоняющие системой управления,зеркала 11 так, что дпина оптического 4 О 3, Устройство по пп, 1 и 2, о т. -пути от фокусирующей системы до иссле- л и ч а ю щ е е с я тем, что, с цедуемой поверхности постоянна. Плоские . лью повышения надежности и быстродей-,отклоняещие зеркала снабжены привода- ствия, за первым де 4 щектором введенми 12, обеспечивающими перемещения по второй деФлектор., связанный с привокоординатам Х и У согласованно, через 45 дом н системой управления.блок 13 сопряжения и блок 14 согласо- . 4. Устройство по п, 1, о т л ивания с поворотом направляющей приз- ч а ю щ е е с я тем, что, с цельюмы 5. расширения Функциональных возможносСредство распределения лазерного тей, приводы отклоняющих зеркал выпучка выполнено в виде двух поворот О полнены в виде двухстепенных поворотных направляющйх призм, каждая из ко- ; ных устройств,составитель И. ФорманюкРедактор Л. Псщлинская Техред Л.Сердюкова Корректор А. ОбручарЗаказ 1521 Тираж 341 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР113035, Москва, Ж, Раушская наб д. 4/5Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул, Гагарина, 101