Сипачичюс

Номер патента: 1649498

Опубликовано: 15.05.1991

Авторы: Журавлев, Канапенас, Сипачичюс

МПК: G02B 27/48

Метки: лазерного, сканирования

...лапечения вертикального 4 окусирования зерного источника, Фокусирующую сислазерного излучения на исследуемую по- тему, последовательность отклоняющихверхность и повторного сканирования зеркал, закрепленных на приводах, свяпо точкам на движущейся исследуемой ванных с системой управления, о т л иповерхности, а также увеличение ско ч а ю щ е е с я тем, что, с целью порости сканирования и повышение на- , выщения точности контроля путем обесдежности эксплуатации. печения постоянства концентрации энерНа чертеже схематически изображе-, гии на сканируемой поверхности, Фокуно предлагаемое устройство. " аирующая система размещена перед средУстройство для "лазерного сканиро ством распределения лазерного пучка,вания содержит импульсный лазер 1 а...