Устройство для измерения удельного сопротивления полупроводниковых материалов
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
О П И С А Н И Е 164068ИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз СоветскихСоциалистическихРеспублик Кл, 21 е, 28,Заявлено 22 Х.1963 (Мо 837873/26-10) МПК б 01 г Государственный комитет по делам изобретений и открытий СССРОпубликовано 30.Ч 11.1964 г. Бюллетень Мо 14УДК Дата опубликования описания 25.И 11.1964. Авторизобретения: В. С. Соболев и П, Ф. Калинин УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ УДЕЛЬНОГО СОПРОТИВЛЕНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ МАТЕРИАЛОВПодписная группа М 79 Известны устройства для измерения удельного сопротивления полупроводниковых материалов. В этих устройствах датчик выполнен на тороидальном сердечнике с зазором, в который помещается измеряемый образец.В предложенном устройстве датчик, питаемый высокочастотным напряжением, модулированным низкой частотой, выполнен на Х-образном ферритовом сердечнике с симметрично размещенными на его концах двумя измерительными и двумя компенсационными обмотками, каждая пара которых через детектор включена в электронную схему сравнения. Это дает возможность повысить точность и расширить диапазон измерения.На чертеже представлена схема, иллюстрирующая предложенное устройство.Сердечник 1 выполнен из феррита и, как видно из чертежа, имеет форму двух неполных колец, сложенных в виде Х. Общая обмотка 2 датчика 8 питается от отдельного высокочастотного генератора 4, напряжение которого модулируется модулятором 5 низкой частоты. Э. д. с., наведенная в измерительных 6 и компенсационных 7 обмотках, подается через детекторы 8 на электронную схему сравнения 9. Индикатор 10, подключенный через усилитель 11 к схеме сравнения, будет фикси ровать ноль. При внесении в один из зазоровдатчика 3 измеряемого образца 12 баланс схемы нарушается и индикатор 10 зафиксирует сигнал, служащий мерой этого сопротивления. 10Предмет изобретенияУстройство для измерения удельного сопротивления полупроводниковых материалов, основанное на использовании наведенных в 15 образце вихревых токов, о т л и ч а ю щ е е с ятем, что, с целью повышения точности и расширения диапазона измерения, в нем датчик, питаемый высокочастотным напряжением, модулированным низкой частотой, выполнен на 20 Х-образном сердечнике с симметрично размещенными на его концах двумя измерительны;ш и двумя компенсационными обмотками, каждая пара которых через детектор включена в электронную схему сравнения.. Коган Техред А. А. Камышникова Корректор В, П. фом ктор ипография, пр, Сапунова, д. 2 аказ 19315 Тира ЦНИИПИ Госуд 1175 Формат бум. 60 Х 901/16 Объем 0,1 изд. л. Цена 5 ког.твенного комитета по делам изобретений и открытии СССРМосква, Центр, пр. Серова д, 4
СмотретьЗаявка
837873
Соболев, П. Ф. Калинин
МПК / Метки
МПК: G01R 31/26, H01L 21/66
Метки: полупроводниковых, сопротивления, удельного
Опубликовано: 01.01.1964
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-164068-ustrojjstvo-dlya-izmereniya-udelnogo-soprotivleniya-poluprovodnikovykh-materialov.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Устройство для измерения удельного сопротивления полупроводниковых материалов</a>
Способ бесконтактного измерения удельного электросопротивления полупроводниковых пленок
Номер патента: 1774283
Опубликовано: 07.11.1992
Авторы: Ануфриев, Гасанов, Титов, Филимонов
МПК: G01R 27/02
Метки: бесконтактного, пленок, полупроводниковых, удельного, электросопротивления
...в том,что при погружении в диэлектрическуюинертную жидкость полупроводниковаяпленка термостатируется при заданной 30температуре, кроме того, поверхностныесостояния ряда последовательно измеряемь 1 х полупроводниковых пленок идентичны,так как определяются не свойствами измея ю щейся воздуш ной среды, а свой".таам и 35диэлектрической инертной жидкости, которые при измерениях постоянны.На фиг,1 и 2 приведено устройство, реализующее способ, где 1 - измерительнаякювета, 2 - измеритель добротности, Измерительная диэлектрическая кювета 1 состоит из корпуса 3, крышки 4 с прорезью дляобразца и градусником 8, В кювете находится неиагнитная диэлектрическая жидкость5, в которую помещены катушки Гельмгольца б и измеряемый образец 7. Выводы...
Способ бесконтактного измерения удельного электросопротивления полупроводниковых пленок
Номер патента: 1835522
Опубликовано: 23.08.1993
Авторы: Ануфриев, Гасанов, Титов, Филимонов, Ходос, Чурин
МПК: G01R 27/02
Метки: бесконтактного, пленок, полупроводниковых, удельного, электросопротивления
...колебательного контура к вносимым потерям и повысить точность измерения удельного электросопротивления полупроводниковых пленок. Полупроводниковая пленка, расположенная на обкладках измерительного конденсатора, представляет собой дополнительную обкладку, обладающую своим удельным сопротивлением,Существенными признаками данного способа являются помещение измеряемой пленки на дополнительный измерительный конденсатор, выполненный в виде двух обкладок, расположенных в одной плоскости с небольшим зазором; измерение добротности колебательного контура с образцомнастроенного в резонанс; сравнение добротностей колебательных контуров с образцом и без, настроечных в резонанс; выбор частоты измерения в области максимальной чувствительности...
Способ бесконтактного измерения удельного электросопротивления полупроводниковых пленок
Номер патента: 1758589
Опубликовано: 30.08.1992
Авторы: Ануфриев, Гасанов, Титов, Филимонов, Чурин
МПК: G01R 27/02
Метки: бесконтактного, пленок, полупроводниковых, удельного, электросопротивления
...света, интенсивность и спектральная характеристика которого обеспечивают насыщение ловушек захвата в полупроводниковой пленке, формирующих глубокие уровни,Полученные значения усредняют.Сущность способа заключается в том, что при облучении светом полупроводниковой пленки происходит насыщение ловушек захвата, формирующих глубокие уровни в полупроводнике и искажающих истинное значение величины удельного электросопротивления. Применение ВЧ-контура специальной формы вместо СВЧ-резонатора значительно облегчит процесс измерения,позволит снизить требования к размерам иориентации образцов и применять недорогое оборудование,На фиг. 1 показано устройство, реалирующего способ; где 1 - осветитель, 2 -ВЧ-контур, 3 - измеряемый образец, 4 -...
Способ бесконтактного измерения удельного электросопротивления полупроводниковых пленок
Номер патента: 1642410
Опубликовано: 15.04.1991
Авторы: Ануфриев, Кожухарь, Костишин, Летюк, Титов
МПК: G01R 27/02
Метки: бесконтактного, пленок, полупроводниковых, удельного, электросопротивления
...при площадях образца, меньшихплощади контура); на фиг. 6 - график зависимости точности измерения Т (Оь) удельного электросопротивления четырех образцовКНС с различными р и толщиной П от частоты измерения (в качестве контрольного использовали четырехзондовый метод), изграфика видно, что наибольшая точность измерения достигается в диапазоне частот135 - 155 мГц,1642410 05 1 ОО 110 1 га 1 ЗО ЮО 15 а 1 бп 170 И 71.р Им см; бмкм; Р-рф 160 и.см 1 Кбмки3-р 11 юм сн;Ь ЗОвм;4-Р" 1 Я 10 м см;Ь=40 юм Способ осуществляют следующим образом,Колебательный контур измерительного устройства с помощью переменного конденсатора (не показан) настраивают в диапазоне частот 135-155 мГц в резонанс при настройке переменного конденсатора на...
Система ввода информации от пневматических датчиков в электронную управляющую вычислительную машину
Номер патента: 900307
Опубликовано: 23.01.1982
Метки: ввода, вычислительную, датчиков, информации, машину, пневматических, управляющую, электронную
...101, соединены с замыкающим и раэмыкаюшим контактами соответствующегоэлектропневматического переключателя 11 выход которого подключенк замыкающему контакту последующегоэлектропневматического переключателя 111+1, причем выход последнегоэлектропневматического переключателя 111 через усилитель мощностисоединен с аналоговым выходоммодуля управления,1 О Система работает следующим образом.В режиме нормального фукнционирования выходные сигналы блока 7имеют нулевые значения, электричес 15 кие цепи блока управления 8 обесточены, энергопотребление из линиипитания задатчиков и повторителейотсутствует, а пневматические сигналы от датчиков 1 через пневматичес 2 О кий коммутатор 2, аналоговые ПЭП 3,коммутатор 4 электрических сигналови АЦП 5...
Предыдущий патент: 164067
Следующий патент: Способ измерения индуктивностей
Случайный патент: Рабочая валковая клеть