Способ изготовления полупроводникового прибора

Номер патента: 1639335

Авторы: Баранов, Волкова

ZIP архив

Текст

му свидетельст г 2) 08.06.88 годныхи керамиамически оторых из- икоррози- подслоем кои об кислотыслоты 1,5 в тече резко скоиствия на ружающей не сре Ю Комитет Российской Федерации по патентам и товарным знакам(56) Доценко Н.С, и Соболев В. В.Долговечность элементов радиоэлектроннойаппаратуры (влияние влаги). Л.: Энергия,1973. Технический отчет по ОКР "Турель",1971, отр. рег. Х 1345708.(54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВОГО ПРИБОРА(57) Изобретение относится к полупроводниковой электронике, в частности к технологии изготовления полупроводниковыхприборов с металлокерамических корпусах,Целью изобретения является повышениеэлектрической прочности корпуса при по 19) ЯЭ (11) 1639335 (1 з) А 1 вышенной влажности и выходасчет снижения уровня тока утечкческого материала, Металлокеркорпуса, металлические части кготовлены из ковра, имеющие анонное покрытие из золота сникеля, подвергают электрохимичработке в растворе солянойНС 1:Н 20 = 1:15 (концентрация кМ), при плотности тока 0,1 А/дмние 0,5 ч, Способ обеспечиваснижение уровня тока утечки кего материала в условиях воздего повышенной влажности окды. 1 табл.1639335 ФОРМУЛА ИЗОБРЕТЕНИЯ Измерения до испытания на влагостойкость.Обратный ток,нА Измерения после испытания навлагостойкость,Обратный ток, нА 1 мин. макс. мин, макс. Диод 0,05 0,45Корпус 0,005 0,03 0,05 0,450,01 0,035 Заказ /. Подписное ВНИИПИ, Рег. ЛР040720 113834, ГСП, Москва, Раушская наб.,4/5Изобретение относится к полупроводниковой электронике, в частности к технологии изготовления полупроводниковых приборов в металлокерамических корпусах,Целью изобретения является повьппение электрической прочности корпуса при повышенной влажности и выхода годных за счет снижения уровня тока утечки керамического материала.Изготавливают металлокерамический корпус, наносят на его металлические части антикоррозионное покрытие, осуществляют электрохимическую очистку корпуса в слабом растворе кислоты при приложении к его металлическим частям положительного потенциала, при этом в качестве слабого раствора кислоты используют раствор кислоты из ряда соляная, серна, фосфорная, а концентрацию раствора выбирают равной 0,05 - 1,5 М.При концентрации менее 0,05 м не создаются условия для электрохимического процесса, а при концентрации более 1,5 М 1, Способ изготовления полупроводникового прибора, включающий изготовление металлокерамического корпуса, нанесение на его металлические части антикоррозионного покрытия, монтаж кристалла и выполнение межсоединений, отличающийся тем, что, с целью повышения электрической прочности корпуса при повышенной влажности и выхода годных, перед монтажом кристалла осуществляют электрохимическую очистку происходит ухудшение качества антикоррозионного покрытия.Пример конкретного выполнения, Металлокерамические корпуса, металлические части которых изготовлены из ковара и имеют антикоррозионное покрытие из золота с подслоем никеля, подвергают электрохимической обработке в растворе соляной кислоты, НС 1:Н 20 = 1:15 (концентрация кислоты 1,5 М), при плотности тика 0,1 А/дм в течение 0,5 ч. После обработки корпуса подвергали испытаниям на воздействие повышенной влажности (98 й 3%) и температуры окружающей среды +50 С в течение 10 сут. Одновременно с корпусами испытывали выпрямительные диоды, собранные в таких корпусах. После извлечения из камеры влаги в течение 0,5 ч для испытываемых образцов определяли уровень обратного тока. Данные сведены в таблицу.Способ обеспечивает резкое снижение уровня тока утечки керамического материала в условиях воздействия на него повьппенной влажности окружающей среды. корпуса в слабом растворе кислоты при приложении к его металлическим частям положительного потенциала.2. Способ по п,1, отличающийся тем, что в качестве слабого раствора кислоты используют раствор кислоты из ряда соляная, серная, фосфорная, при этом концентрацию раствора выбирают равной 0,05 - 1,5 М,

Смотреть

Заявка

4462246/21, 08.06.1988

Баранов Б. А, Волкова Н. Я

МПК / Метки

МПК: H01L 21/02

Метки: полупроводникового, прибора

Опубликовано: 20.03.1997

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-1639335-sposob-izgotovleniya-poluprovodnikovogo-pribora.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ изготовления полупроводникового прибора</a>

Похожие патенты