Способ определения шероховатости поверхности изделия
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 1619023
Автор: Сысоев
Текст
(56) АвторскоеМ 1421996, кл ЛЕНИЯ ШЕРОХОВАИ ИЗДЕЛИЯосится к измерительк бесконтактным опизмерения высоты хности, и может быть их отраслях народно(54) СПОСО ТОСТИ ПОВ (57) Изобре ной технике тическим шероховато использован Б ОПРЕДЕ ЕРХНОСТ тение отн а именно методам с поверо мног ти ов Изобретен ной технике, а тическим мет шероховатости использовано в хозяйства, в час боростроении. канирумент 3, м 3, линГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИПРИ ГКНТ СССР ВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬС юл. М 1олитехнический институ 088.8)свидетельство СССР 6 01 В 11/30, 31.03,88 е относится к измерительменно к бесконтактным оподам измерения высоты поверхности, и может быть о многих отраслях народного тности в прецизионном приЦель изобретения - обеспечение возможности определения шероховатости изделий любой формы за счет создания неизменного расстояния от поверхности измеряемого участка изделия до плоскости наблюдения.На чертеже изображена принципиальная схема устройства, реализующего способ определения шероховатости поверхности изделия,Устройство содержит лазер 1, с ющий интерферометр 2, пьеэозле блок 4 управления пьезозлементо 5 О 1619023 А 1 го хозяйства, в частности в прецизионном приборостроении, Цель изобретения - обеспечение возможности определения шероховатости изделий любой формы за счет создания неизменного расстояния от поверхности измеряемого участка изделия до плоскости наблюдения. Изделие оставляют неподвижным и производят сканирование оптической разности хода во времени с помощью сканирующего микроскопа, изменяющего вносимую оптическую разность хода между пучками на величину, равную или большую длине волны излучения, замеряют изменение интенсивности единичной интерференционной полосы и по ее контрасту судят о шероховатости изделия, 1 ил. зу 5, узел б наблюдения, пространственный фильтр 7 и фотоприемник 8,Предлагаемый способ осуществляется следующим образом,Луч лазера 1 направляют в сканирующий интерферометр 2, который разделяет его на две части и вносит между ними оптическую разность хода. Вышедшее иэ сканирующего интерферометра 2 излучение фокусируют на поверхности изделия 9 под углом а, В плоскости узла 6 наблюдения, перпендикулярной лучу, отраженному от исследуемой поверхности, наблюдают дифракционную картину, промодулированную интерференционными полосами. С помощью пространственного фильтра 7 выделяют на дифракционной картине в диффузной области единичную полосу, световой поток в которой измеряют с помощью фотоприемника 8, Изменяют с помощью сканирующего интерферометра 2 вносимую1619023 наблюдают в плоскости, перпендикулярной отраженному от исследуемой поверхности пучку, интерференционные полосы, выделяют с помощью пространственного фильтра 5 единичную интерференционную полосу,производят сканирование разности хода, фиксируют изменение интенсивности единичной полосы и по ее контрасту определяют шероховатость поверхности изделия, 10 о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с цельюобеспечения возможности определения шероховатости изделий любой формы за счет создания неизменного расстояния от поверхности измеряемого участка изделия 15 до плоскости наблюдения, оставляют изделие неподвижным, а сканирование разности хода производят во времени на величину, равную или большую длине волны излучения.1 макс мин( 1.макс + мин ) ставитель Л. Лобзовхред М,Моргентал Корректор Н, Корол бко Редакто аз Зб ТиражВНИИПИ Государственного комитета по из113035, Москва, Ж, Р роизводственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужго Гагарина,оптическую разность хода и измеряют сиг-.нал с фотоприемника 8, находят контрастединичной полосы по формуле гдемакс и 1 мин - сигналы с фотоприемника. По контрасту единичной полосы судят о шероховатости изделия 9, Формула изобретения Способ определения шероховатости поверхности изделия, заключающийся в там, что направляют пучок когерентного излучения на исследуемую поверхность, делят его на два пучка, создают между ними оптическую разность хода, фокусируют оба пучка на поверхность исследуемого объекта,Подписноеретениям и открытиям при ГКНТ СССРшская наб., 4/5
СмотретьЗаявка
4418851, 03.05.1988
КАМСКИЙ ПОЛИТЕХНИЧЕСКИЙ ИНСТИТУТ
СЫСОЕВ ВЛАДИМИР ВИКТОРОВИЧ
МПК / Метки
МПК: G01B 11/03
Метки: изделия, поверхности, шероховатости
Опубликовано: 07.01.1991
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-1619023-sposob-opredeleniya-sherokhovatosti-poverkhnosti-izdeliya.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ определения шероховатости поверхности изделия</a>
Способ измерения шероховатости поверхности изделия
Номер патента: 1421996
Опубликовано: 07.09.1988
Автор: Сысоев
МПК: G01B 11/30
Метки: изделия, поверхности, шероховатости
...оптическим методам измерения высоты шероховатости поверхности, и может быть использовано во многих отраслях народного хозяйства, в частности в прецизионном приборостроении.Цель изобретения - повышение чувствительности и точности измерения за счет увеличения соотношения сигнал/шум.На чертеже изображена принципиальная схема устройства, реализующего способ измерения шероховатости поверхности изделия.Устройство содержит лазер 1, оптический расщепитель 2, линзу 3, фотоприемник 4 и пространственный фильтр 5.Способ осуществляется следующим образом.Луч лазера 1 разделяют на два потока оптическим расщепителем 2, между которыми вносят оптическую разность хода, оба потока фокусируют линзой 3 и направляют на исследуемую поверхность объекта...
Способ измерения профиля шероховатой поверхности изделия
Номер патента: 1747885
Опубликовано: 15.07.1992
Авторы: Ангельский, Добровольский, Максимяк, Носов
МПК: G01B 11/30
Метки: изделия, поверхности, профиля, шероховатой
...волны с плоским фронтом, которая попадает надлительную. пластинку 3. С помощью пластинки 3, на одной стороне которой нанесено светоделительное покрытие, волнаамплитудно расщепляется на объектную иопорную. Первый пучок лучей, отраженныйот пластинки 3, фокусируется объективом 4на исследуемой поверхности 21, после отражения от нее снова проходит через объектив 4, пластинку 3, объектив 5 и отражаетсяот зеркала 6, Прошедший через поляроид 13пучок лучей с помощью объектива 14 формирует изображение поверхности 21 в плоскости полевой диафрагмы 15. эа которойрасположен фотоэлектрический блок 16 регистрации,Второй пучок лучей проходит через разделительную пластинку 3, попадает на компенсатор 7, проходит пластинку А /8 8 ифокусируется объективом 9...
Способ измерения шероховатости поверхности изделия
Номер патента: 1810751
Опубликовано: 23.04.1993
Авторы: Зимняков, Полькина, Рябухо, Ткаченко, Федулеев
МПК: G01B 11/30
Метки: изделия, поверхности, шероховатости
...5 интерференционных полос. Разность фазмежду когерентными пучками в интерферометре блока 3 можно изменять во времени, например, путем смещения одного из зеркал интерферометра или путем сдвига час тоты одного из пучков, например, спомощью движущейся дифракционной решетки или акустооптической ячейки.С фоторегистратора 6 сигнал направля.ют в блок 7, где проводят обработку этого 15 сигнала таким образом, что на выходе блока7 формируется сигнал, пропорциональный величине контраста интерференционных полосЮ20 огде Овых - сигнал на выходе блока 7,К - коэффициент пропорциональности,Ч - контраст интерференционных полос,Ж - амплитуда изменения средней интенсивности спекл-модулированного рассеянного поля,Ьо - среднее по времени значение...
Способ измерения параметров шероховатости сверхгладких поверхностей изделий
Номер патента: 1262280
Опубликовано: 07.10.1986
Авторы: Обрадович, Попов, Солодухо
МПК: G01B 11/30
Метки: параметров, поверхностей, сверхгладких, шероховатости
...а также ловушку 13 зеркально отраженного от изделия излучения.Способ измерения осуществляется следующим образом. Монохроматический параллельный пучок от источника 1 излучения, пройдя через модулятор 2, поляризатор 3, ослабители 4 интенсивности, диафрагму 5 и бленду 8, падает на поверхность измеряемого изделия 6, установленного на вращающемся столике 7. Поворотом столика 7 устанавливается угол ф падения излучения. Приемник 10 излучения имеет возможность поворачиваться в плоскости падения так, чтобы измерять отраженный поток излучения 1(0) под различными углами отражения Й, отличными от зеркального, так как при этом имеется возможность измерять индикатрису рассеяния в плоскости падения.При отражении от шероховатой поверхности изделия 6,...
Способ измерения шероховатости поверхности изделия
Номер патента: 1562692
Опубликовано: 07.05.1990
Авторы: Остафьев, Сахно, Тымчик
МПК: G01B 11/30
Метки: изделия, поверхности, шероховатости
...при помощи приемника 5 изображения, выходной видеосигнал которого подают нааналоговый вход аналого-цифрового преобразователя бр Цифровые коды со 50 ответствующие значенияминтенсивности на фотоэлементах приемника 5 изображения с цифрового выхода аналого-цифрового преобразователя 6, передают через блок 7 ввода цифровых сигналов 35 в оперативное запоминающее устройство микропроцессора 8, где формируют массив чисел и выполняют программнуюцифровую обработку этого массива. Обработка заключается в том, что значения массива нормируют на величину полной интенсивности, равную сумме всех значений элементов массива, и определяют дисперсию Б, углового распределения интенсивности дифракционного спектра освещающего пучка. Затем с,помощью источника 1...
Предыдущий патент: Устройство для измерения углов
Следующий патент: Устройство для контроля толщины листовых материалов
Случайный патент: Устройство фазирования