Высоковакуумная установка

. М 6329. НОВКА вакуумной ышение наии и сокравакуумная ую камеру уумный 2 и оковакуумГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИПРИ ГКНТ СССР НИЕ ИЗО У СВИДЕТЕЛЬСТ(54) ВЫСОКОВАКУУМНАЯ УСТА (57) Изобретение относится к технике. Цель изобретения - пов дежности, упрощение конструкц щение энергозатрат, Высоко установка содержит откачиваем 1, подключенные к ней форвак высоковакуумный 3 насосы, выс ный затвор 4 с запорным ооганом 5 и приводом, размещенные между камерой 1 и высоковакуумным насосом 3. Причем привод затвора 4 выполнен в виде вакуумного цилиндра 6 с поршнем 7, соединенным с запорным органом 5 затвора 4 и разделяющим цилиндр 6 на две герметичные полости 8 и 9, Цилиндр 6 снабжен нормально открытыми клапанами 10 и 11, сообщающими полость 8 со стороны затвора 4 с объемом камеры 1, а полость 9 - с атмосферой, и нормально закрытыми клапанами 12 и 13, сообщающими полость 8 со стороны затвора 4 с атмосферой, а полость 9 - с обьемом камеры 1. Использование изобретения исключает необходимость применения дополнительного оборудования для обеспечения привода запорного органа 4. 1 ил.Заказ 30 Тираж ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР113035, Москва, Ж, Раушская наб 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г, Ужгород, ул,Гагарина, 101 Изобретение относится к вакуумной технике и может быть использовано в высоковакуумных установках, оснащенных паромасляными вакуумными насосами,Цель изобретения - повышение надежности, упрощение конструкции и сокращение энергозатрат.На чертеже схематично изображена высоковакуумная установка.Высоковакуумная установка содержит откачиваемую камеру 1, подключенные к ней форвакуумный 2 и высоковакуумный 3 насосы, высоковакуумный затвор 4 с запорнь.м органом 5 и приводом, размещенные между камерой 1 и высоковакуумным насосом 3, причем привод затвора 4 выполнен в виде вакуумного цилиндра 6 с поршнем 7, соединенным с за рным органом 5 затвора 4 и разделяющим цилиндр 6 на две герметичные полости 8 и 9, а цилиндр 6 снабжен нормально открытьи 1 и клапанами 10 и 11, сообщающими полость 8 со стороны затвора 4 с объемом камеры 1, а вторую полость 9 - с атмосферой, и нормально закрытыми клапанами 12 и 13, сообщающими полость 8 со стороны затвора 4 с атмосферой, а вторую полость 9 - с объемом камеры 1.Установка содержит также клапаны 14 и 15, сообщающие форвакуумный насос 2 соответственно с камерой 1 и с выходом высоковакуумного насоса 3.Установка работает следующим образом,Камера 1 предварительно откачивается форвакуумным насосом 2 при открытых клапанах 14, 10 и 11, закрытых клапанах 15, 12 и 13 и затворе 4 и подготовленном к работе высоковакуумном насосе 3, Затем клапаны 14, 10 и 11 последовательно закрываются, а клапаны 15, 12 и 13 открь 1 ваются и дальнейшая откачка ведется последовательно высоковакуумным насосом 3 и форгакуумным насосом 2. Полость 9 сообщается с полостью камеры 1, а полость 8 - с атмосферой. Поршень7 и связанный с ним запорный орган 5 затвора 4 под разностью давлений в полостях5 8 и 9 перемещаются, и открывается впускное отверстие насоса 2,При выданном отключении электроэнергии клапаны 12 и 13 открываются, аклапаны 10 и 11 открываются и под воздей 10 ствием разности давлений в полостях 8 и9 запорный орган 5 затвора 4 перемещаетсяи закрывает впускное отверстие насоса2, исключая тем самым выброс рабочей жидкости из высоковакуумного насоса 2 в каме 15 ру 1,Использование уже затраченной энергии, обусловленной технологическим процессом для создания вакуума в камере 1,исключает необходимость применения до 20 полнительных единиц оборудования дляобеспечения привода запорного органа 4. Формула изобретения Высоковакуумная установка, содержа щая откачиваемую камеру, подключенные кней форвакуумный и высоковакуумный насосы, высоковакуумный затвор с запорным органом и приводом, размещенные между камерой и высоковакуумным насосом, о т л и ч а ю щ а я с я тем, что, с цельюповышения надежности установки, упрощения конструкции и сокращения энергозатрат, привод затвора выполнен в виде вакуумного цилиндра с поршнем, соединен ным с запорным органом и разделяющимцилиндр на две герметичные полости, а цилиндр снабжен нормально открытыми клапанами, сообщающими полость со стороны затвора с объемом камеры, а вторую по лость - с атмосферой, и нормально закрытыми клапанами, сообщающими полость со стороны затвора с атмосферой, а вторую полость - с объемом камеры,