Растровая решетка

Номер патента: 1416860

Опубликовано: 15.08.1988

Авторы: Ильин, Старков

МПК: G01B 9/02

Метки: интерферометр, объектов, перемещений

...диафрагмы 14 и 15 и детекторы 16 и 17.Интегратор работает следующим образом.Пучок излучения от лазера 1 расширяется телескопической системой 2 и попадает на светоделитель 3, где делится на измерительный и опорный. Измерительный пучок, отразившись от зеркала 4, падает на отражатель 6, отражается им обратно параллельно самому себе, проходит оборачивающую призму 13 и возвращается вновь на светоделитель 3.Опорный пучок проходит ромбическуюпризму 11, смещается ею перпендикулярно пучку на величину его диаметра аа и падает на первый неподвижный отражатель 8 и, отразившись от него, идет обратно параллельно самому себе через призму 13 на светоделитель 3.Оба пучка вторично делятся светоделителем 3, интерферируют и, создав две картины...

Номер патента: 441446

Опубликовано: 30.08.1974

Авторы: Делюнов, Забелин, Никитин

МПК: G01B 19/34

Метки: объекта, перемещений

...миллиметровой кодовой шкалы,При нажатии кнопки 14 включаются осветители 15 и 17, электродвигатель 11 (питание на электронные блоки может подаваться и по нажатию кнопки 14 и заранее). С некоторой задержкой, обеспечиваемой профилем кулачка 10, начинается поступательное движение подвижной каретки 4. В начальный момент движения каретки 4 размыкаются электроконтакты 12 и 13 и формируется команда начала отсчета импульсов с фотоприемника 16, на который проецируются муаровые полосы от пары дифракционных решеток, причем при смещении дифракционной решетки 5 относительно решетки 6 муаровые полосы в плоскости фотоприемника 16 перемещаются, и с фотоприемника 16 поступают импульсы тока при перемещении каретки 4 на каждую дробную долю миллиметра, При...

Номер патента: 887929

Опубликовано: 07.12.1981

Авторы: Габидулин, Рязанцев, Чентемиров

МПК: G01B 21/00

Метки: объектов, перемещений

...положении растро-. вых решеток 4,7, причем точность формирования этого сигнала определяется в основном. точностью фазовой интерполяции электрических сигналов, снимаемых с фотоприемников 15, 16, 17, 18 блоком 19 фазовой внутришаговой интерполяции.При пространственном совмещении реперных штрихов 5,8 на выходе фотоприем-: ника 14 формируется сигнал, поступающий на вход логического элемента 26 И, на второй вход которого поступает сигнал с выхода блока 20 формирования стробируюшего сигнала, осуществляющий временное стробирование.Сигнал начала отсчета, формируемый логическим элементом 26 И, при совпадении фаэ информационного и опорного сигнала поступает на выход устройства.Устройство работает следующим обра- щзом,Коллимированный...

Номер патента: 1603189

Опубликовано: 30.10.1990

Автор: Ильин

МПК: G01B 11/02

Метки: объекта, перемещений

...на корректирующий элемент 11. Корректирующий элемент 11 направляет оба пучка в заданную точку, где они пересекаются. Элемент 11 состоит из одной неподвижной и двух подвижных частей. Это обеспечивает возможность изменения элементом 11 углов, под 10 которыми пучки направляются в точку пересеченяя. Изменяя углы, можно менять чувствительность устройства к перемещениям. Диапазон изменения угФ лов - от нескольких градусов до 40 Соответственно, чувствительность может меняться в диапазоне 100-1 мкм, В точке пересечения дифрагированные пучки попадают на измерительную решетку 3, связанную с перемещающимся объектом. Решетка 3 выполнена из приставленных друг к другу беэ зазора ОЖС без защитной оболочки и представляет собой наборный оптический...

Номер патента: 1716315

Опубликовано: 28.02.1992

Автор: Ильин

МПК: G01B 11/02

Метки: объекта, перемещений

...совпадения; Я/Я - импульсы "Старт/Стоп"; т 1 и т 2 - длительности, иллюстрирующие варианты взаимного временного состояния интерференционных картин и импульсов Я/Я,Устройство (фиг. 1) содержит следующие элементы, связанные оптической связью; лазер 1, коллиматор 2 и светоделитель 3, за которым в первой ветви установлены первая призма 4, первый пьезокорректор 5 и первое зеркало 6, Во второй ветви в отраженном от светоделителя пучке размещены вторая призма 7, второй пьезокорректор 8 и второе зеркало 9, а третье зеркало 10 установлено в третьей ветви устройства. Вторая и третья ветви образованы эа счет фронтального деления отраженного от светоделителя пучка 5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 на два равных вторичных пучка, В точке...