Способ определения неоднородных перемещений

ОЮЗ СОВЕТСКИ ОЦИАЛИСТИЧЕС ЕСПУБЛИ РЕТЕН ИДЕТЕЛЬС К АВТОРСКОМ пч.(54) СПОСОБ О РОДНЫХ ПЕРЕМ (57) Изобретение ной технике и мож исследовании пл Изобретен ционным изме графической и может найти пр плоских неодн ектов,Цель изобр ие относитрениям, аспектр-инименение ся к интерференконкретно к голотерферометрии, и при исследовании еремещений обьдных траиде ают анеГОСУДАРСТВЕННЫИ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМПРИ ГКНТ СССР ПИСАНИЕ И(71) Челябинский политехнический институт им, Ленинского комсомола(56) Розт О. ет а, - Ехр. Тес 21,1981 ПРЕДЕЛЕНИЯ НЕОДНОЕЩЕНИЙ относится к измерительет быть использовано при ских неоднородных переетения - повышение точноза счет снижения влияния на ви инте е ен ионной сти измер ивеличины ех д Рф Р ц картины,Способ осуществляется следующим образом.На исследуемый объект наносят о жающее дифракционное покрытие в в высококачественного растра и подверг обьект деформации. При этом растр, н сенный на объект, тоже деформируется и несет информацию об измененном состоянии объекта. Далее выполняют копию деформированного растра, например, в виде отражающей металлизировакной рельеф(51)5 6 01 В 9/021, 11/ мещений объектов. Целью изобретения является повышение точности и чувствительности измерений. На поверхность объекта наносят высокочастотный растр и после деформации объекта выполняют копию деформированного растра, Затем копию освещают двумя коллимированными пучками когерентного излучения, симметричными относительно нормали к поверхности и направленными так, что дифрагированные волны распространяются нормально к поверхности, регистрируют интерференционную картину и определяют по ней перемещение. Копия может быть выполнена голографическим путем. 1 з,п.ф-лы. нои реплики из полимерного материала. Полученная копия имеет тот же вид и несет ту же информацию, что И деформированный растр на исследуемом обьекте. Однако в отличие от реального объекта, который может иметь очень большие габариты, либо находиться в недоступном для проведения оптических исследований месте, копию можно исследовать в лабораторных условиях, устранив влияние помех в виде вибраций, рефракции и т.д. Поместив выполненую копию на виброзащищенную оптическую скамью, ее подобно реальному объекту освещают двумя плоскими волнами когерентного излучения, которые падают на копию симметрично относительно нормали к ее поверхности и направлены таким образом, чтобы дифрагированные копией растра волны были направлены по нормали к ее поверхности, В направлении распространения дифрагированных копий волн регистрируют1606851 Формула изобретения15 Составитель В. БахтинТехред М,Моргентал Корректор В, Гирняк Редактор М. Келемеш Заказ 3544 Тираж 500 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж, Раушская наб., 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г, Ужгород, ул.Гагарина, 101 интерференционную картину, По полученной таким образом интерференционной,картине измеряют величину перемещений исследуемого объекта,Копию растра можно получить голографическим способом, Для этого на поверхность объекта с нанесенным растром-покрытием крепят, например, с помощью прозрачной промежуточной среды прозрачный фотоноситель. Объект освещают нормально падающей к его поверхности плоской волной когерентного излучения и записывают голограмму деформированного растра, причем делается только одна экспозиция. Дифрагированные растром волны, например плюс и минус первого порядков дифракции. образуют между собой угол 2 а, где а - угол между волнами, используемыми при записи растра, т,е, на фотоносителе записывается деформированый растр удвоенной частоты по отношению к нанесенному на объект растру-покрытию,Затем записанную одноэкспоэиционную голограмму-копию освещают двумя плоскими волнами когерентного излучения, направленными под углом 2 а к нормали к поверхности фотоносителя. В направлении нормали, по которому ведут наблюдение, распространяются две волны плюс и минус первого порядков дифракции соответственно от верхнего и нижнего освещающих пучков. Возмущения фаэ световых волн приводят к интерференционной картине, в которой темные и светлые полосы являются изолиниями разностей фаз сопряженных порядков. Следовательно, сдвиги полос на интерферограмме вчетверо выше, чем на интерферограмме, полученной традиционным голографическим способом.Запись на фотоноситель при копировании картины интерференции более высоких симметричных дифракционных порядков позволяет повысить чувствительность измерений в соответствующее число раз. Таким образом, выполнение копии деформированного растра-покрытия и освещение его наклонными плоскими волнами позволяет повысить точность измерений за 5 счет снижения уровня помех при исследовании копии в лабораторных условиях. Выполнение же копии растра голографическим способом также повышает чувствительность измерений, поскольку в образовании 10 интерференционной картины дважды участвуют пучки сопряженных порядков дифракции,1, Способ определения неоднородныхперемещений, заключающийся в том, что наповерхность исследуемого объекта наносятотражающий высокочастотный растр, после20 деформирования объекта освещают растровую структуру двумя коллимированнымипучками когерентного излучения, симметричными относительно нормали к деформированному растру и направленными так,25 что дифрагированные волны распространяются по нормали к поверхности, и регистрируют в направлении распространениядифрагирова нных волн интерференционную картину, по которой определяют пе 30 ремещения, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что,с целью повышения точности, растровуюструктуру получают путем снятия копии снанесенного на поверхность объекта растрапосле деформации объекта,35 2. Способ по и, 1, о т л и ч а ю щ и й с ятем, что, с целью повышения чуствительности измерений, копию выполняют на прозрачной, регистрирующей среде, за крепленной на поверхности объекта со стороны нанесенного на объект растра, путем ее освещения коллимированным пучком когерентного излучения, направленным по нормали к поверхности объекта.45