Способ контроля упругих характеристик материалов

СОЮЗ СОВЕТСНИХСОЦИАЛИСТИЧЕСНРЕСПУБЛИН 016015 5 601 МЗЗ ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН ДЕТЕЛЬСТВ А ВТОРСКОМ колебаний для одинаковых длин свободной части консольного образца и по отношению частот судят о изменении упругих характеристик исследуемого материала. Возбуждение резонансных колебаний осуществляют многократно при различных длинах свободной части консольного образца, регистрируют зависимость резонансной частоты о от длинысвободной части консольного образца, а частоты резонансных колебаний для одинаковых длин свободной части консольного образца определяют с помощью функций а=о(1/2), найденных статистическими методами по зарегистрированным зависимостям. Многократное возбуждение колебаний образца при различных его длинах, нахождение зависимости частоты резонансных колебаний от длины консольного образца и определение частот с помощью функций, найденных по зарегистрированным зависимостям, повышает точность контроля упругих характеристик, поскольку отношение так оп. ределенных резонансных частоты до и после технологического воздействия не зависит от случайных неконтролируемых факторов, вызывающих отклонение зарегистрированной зависимости от функции о=в(1/Р). ско-технологироизводствомнститутанин арап, 1984 ие измерения роение, 1976,ПРУГИ вляются многок свободной час результата м и мость частоты буждаемой фор консольного об состоянии. По действия (обл лазерная и терм риал образца зависимость ча от длины своб разца. Найден вляется следующим обГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИПРИ ГКНТ СССР(71) Специальное конструкторческое бюро с опытнымМинского радиотехнического и(54) СПОСОБ КОНТРОЛЯ У Х ХАРАКТЕРИСТИК МАТЕРИАЛОВ (57) Изобретение относится к исследованию влияния технологических обработок на свойства материалов. Целью изобретения является повышение точности. Для этого в способе контроля упругих характеристик материалов, по которому возбуждают резонансные колебания консольного образца из исследуемого материала до и после технологического воздействия на исследуемый материал, определяют частоты резонансных Изобретение относится к исследованию влияния технологических обработок на свойства материалов, а именно к способам контроля упругих характеристик материалов.Целью изобретения является повышение точности.Способ осущестразом.В консольно закрепленном образце исследуемого материала в исходном состоянии возбуждаются колебания какой-либо резонансной формы и измеряется частота резонансных колебаний. Испытания осущестратно при различных дли на х ти консольного образца. По спытаний находится зависирезонансных колебаний возмы от длины свободной части разца материала в исходном сле технологического возучение, ионное легирование, ическая обработка) на мате- определяется аналогичная стоты резонансных колебаний одной части консольного обные экспериментальные за1601553 10 Формула изобретения Составитель Н. ЯмщиковРедактор И. Шулла Техред А. Кравчук Корректор М. ШарошиЗаказ 3268 Тираж 500 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР13035, Москва, Ж - 35, Раушская наб., д. 4/5Производственно-издательский комбинат Патент, г. Ужгород, ул. Гагарина, 101 висимости частоты и резонансных колебаний от длины г, свободной части образца Обрабатываются статистическим методом, например методом наименьших квадратов, для определения функций со=оз (1/Г) соОтветствующих зарегистрированным зависимостям оз=оз (г) . Об изменении упругих характеристик при технологическом воздействии судят по отношению найденных с помощью функций со=оз(1/Р) частот резонансных колебаний, соответствующих одНой длине свободной части образцаЕ ( Ш )2 Ец) / где Е, Е - модуль Юнга исследуемого материала до и после технологического воздействия соответственно.Колебания реального консольно закрепенного образца из-за неидеальности образЙа и условий закрепления с помощью извест 11 ых соотношений описываются с неконтролируемой погрешностью. Статистическая обработка результатов многократно осуществляемых испытаний в виде зарегистрированных вависимостей оз=со(ь), учитывающих различ йые, а чаще всего случайные факторы, обусловливающие погрешность измеряемых резонансных частот, позволяет описать экс;периментальные результаты функций со= =со(1/1), выражающих теоретическую зависимость резонансной частоты от длины 30 свободной части консольного образца. Поэтому отношение резонансных частот до и 1 после технологического воздействия, опреде;ляемых по найденным функциям, не зависит от случайных неконтролируемых факторов,вызывающих отклонение экспериментальной зависимости оз=оз (1) от теоретической оз=оз(1/Р), что повышает точность контроля упругих характеристик материалов. Пример. Контролируют модуль упругости в кремниевой пластине толщиной 0,38 мм при имплантации на ее поверхность ионов бора. После описания экспериментальной зависимости со=со(1) функцией а=в(1/1) определенное изменение модуля Юнга составляет Е=0,878 Е. Способ контроля упругих характеристик материалов, по которому возбуждают резонансные колебания консольного образца из исследуемого материала до и после технологического воздействия на исследуемый материал, определяют частоты резонансных колебаний для одинаковых длин свободной части консольного образца и по отношению частот судят об изменении упругих характеристик исследуемого материала при технологическом воздействии, отличающийся тем, что, с целью повышения точности, возбуждение резонансных колебаний осуществляют многократно при различных длинах свободной части консольного образца, регист рируют зависимость резонансной частоты со от длинысвободной части консольного образца, а частоты резонансных колебаний для одинаковых длин свободной части консольного образца определяют с помощью функций оз=оз(1/2), найденных статистическими методами по зарегистрированным зависимостям,