Способ определения распределения крутизны неровностей плоского шероховатого объекта

(51)5 ( 01 В 11/30 ПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН Н АВТОРСКОМ ЕТЕЛЬСТВУ деляющих величинунтакте трущихся поизобретения - повыределения и расшимерения сил ьношеро- регистгеи за си зон ко рреляцииэлементамиоецируютплоскость турными собе пр ранспарант- поляризаиз совосывают ску ионнопностиВл ека взаимнонный аналеляции,мация овностейа, 1 ил. рреляцио зон корр ся инфор з кот аспределе лоского ш нии крутизны не роховатого объе бретение относится к и очник 1ю пластинкопическую технике и может бытьля измерения крутизньопределяющих величинуи контакте трущихся и ель н ол ов неров- напря- оверхку 2, поляризатсистему 4, объектор 7, фотографимаску 8 и фотоэлПредлагаемый еле 3, вы сте анализа 5 ий трнный жени чес спарантриемник 9 остен,нии, машто актуально в пр ек сп ностроении, бесконтакт состояния поверхностей ругих отраслях науки и об ествляется онтрол дующи делии ники.Цел е овышение т зобретен ности определе лов измерения верхностей за я расширение предешероховатых поегистрации совоции образованной ильи пности зон коррел труктурными эл На чертеже и ементами поверхности. риведена схема устройего предлагаемый спор еал зую соб ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИПРИ ГКНТ СССР(54) СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ РАСПРЕДЕЛЕНИЯ КРУТИЗНЫ НЕРОВНОСТЕЙ ПЛОСКОГОШЕРОХОВАТОГО ОБЪЕКТА(57) Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения крутизны неровностей, опр напряжения при ко верхностей, Цель шение точности оп рение пределов из ховатых поверхнос рации совокупност образованной стру поверхности. В сп когерентное изобр регистрации, зап ма проводят Устройство содержит иизлучения, четвертьволно На вход устройства поступает излучение от источника 1 - одномодового лазера, Пластинка 2 формирует циркулярную поляризацию лазерного пучка, Поляризатор 3 пропускает лазерную волну, плоскость поляризацииокоторои составляет угол 45 относительно плоскости падения, Телескопическая система 4, состоящая иэ двух объективов и диафраглм междуРедакт ираж 4 1 одписное 0 Зак ытиям при ГКНТ СССР 4/5 Государственного комитета по изобретениям и от 113035, Москва, Ж, Раушская наб эдательский комбинат "Патент", г. Уж 11 роизводствен ул. Гагарина, 101 ннми, расширяет пучок и формирует плоский волновой фронт, Эта волна оТражается от поверхности объекта 10, Объектив 5 проецирует когерен 5 ное иэображение шероховатой поверхности в плоскость фоточувствительного слоя транспаранта-маски 8, на котором. регистрируется распределение ИИтенсивностей в когерентном иэобра 10 женин. С помощью вращающегося анализатора 7 формируют различные проекцИИ плоскости световых колебаний в зОнах корреляции когерентного иэобра. жения поверхности.и пропускают их через транспарант-маску 8. Объектив 6 проецирует пропущенный световои поток на вход фотоэлектронного приемника 9, который измеряет уровень интенсивности ь, по которой однозначно определяют распределениекрутизны неровностей плоской шерохоцатой поверхности. Формула изобретения р 5Способ определения распределения Крутизны неровностей плоского шероховатого объекта, заключающийся в том, что облучают исследуемую поверхность объекта пучком лазерного 30 Излучения, формируют когерентное изображение поверхности,регистрируют нафоточувствительном слое его интенсивность, измеряют интенсивность изл учения, прошедщего через фотографический транспарант, и определяютраспределение крутизны неровностейплоского шероховатого объекта, о т -л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения точности определенияи расширения пределов измерения сильношероховатых поверхностей, задаютплоскость колебаний вектора электрической напряженности пучка лазерногоизлучения под углом 45 относительноего плоскости падения, формируютплоский волновой фронт, устанавливают перед фоточувствительным слоеманализатор, ориентируют ось пропускания плоскости поляризации под углом 458 к оси пучка лазерного излучения, регистрируют распределение интенсивностей в когерентном иэображении, прошедшем через анализатор, измеряют интенсивности излучения, прошедшего через фотографический транспарант при различных поворотах осипропускания анализатора от 45 до 135и по полученным величинам определяютраспределение крутизны неровностейплоского шероховатого объекта,