Датчик температуры

СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКРЕСПУБЛИК 19) (11 7 1 С 5 ГОСУД АРСТВЕНН ПО ИЗОБРЕТЕНИЯ ПРИ ГКНТ СССР ОПИСА И ДВТОРСН Й КОМИТЕТ И ОТНРЬПИЯМ НИЕ ч1 Ъ ию темпеФ.ЛинеО, с,62. водниковые(54) ДАТЧИ (57) Изоб тельной т зовано дл щающегося полупрово мер ол враки ик 3 в ен Для увелрева неподвся разрывысрезов, при ичения ра ижной обо омериости и МУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ(56) Справочник по измерератур в технике. / Под редвега. М,: Металлургия, 19Кривоносов А.И, Полупрдатчики температуры, М,:1974, с.149-150,К ТЕМПЕРАТУРЫ етение относится к и хинке и может быть и измерения температу тела, например:подло никовой пластины, в Изобретение относится к измерительной технике, в частности к датчикам температуры, и может быть использовано для измерения температуры вращающегося тела (например, подложки полупроводниковой пластины в про. цессе термообработки).Цель изобретения - повышение точности измерения в широком диапазоне .температур.На чертеже изображена схема ко струкции датчика температуры.Датчик. температуры включает термочувствительный элемент 1, источи 2 питания и регистрирующий прибор Термочувствительный элемент выполи ,в виде шарикового (роликового) подшипника, внешняя обойма 4 или внут цессе тормообработки. Цель - повыше ние точности измерения в широком диа. пазоне температур, Датчик температуры включает термочувствительный элемент, источник питания и регистрирующий прибор, Термочувствительный элемент выполнен в виде шарикового подшипника. Внешняя обойма (или внутренняя) подшипника имеет как минимум два разрыва и является неподвижной, Обойма заключена в оболочку из диэлектрического материала, Сепаратор подшипника выполнен также из диэлектрического материала, Шарики (ролики) . выполнены из полупроводникового материала. Источник питания и регистрирующий прибор подсоединены к обойме, имеющей разрывы, 1 з,п.ф-лы, 1 ил. ренняя ооойма 5 которого имеет какминимум два разрыва 6 и 7 (на чертеже показана внешняя (наружная) обоймаявляющаяся неподвижной), Обойма4 заключена в оболочку 8 из диэлектрического материала ( керамика 1. Сепаратор 9 подшипника выполнен также издиэлектрического материала. Шарики(ролики) 10 выполнены из электропроводного или полупроводниковогоматериала. Источник 2 питания и регистрирующий прибор 3 подсоединенык обойме,иж рекоменду вопиять в виде косых том исключается дефоэ 78515 Формула из обретения Составитель В,Гусевактор А,Ревин Техред Л,Олийнык Корректор Н,Ревск Тираж 508ственного комитета по изо 113035, Москва, Ж, Р Подписи аказ 19 ВНИИПИ Госуд тениям и открытиям приская наб., д, 4/5 роизводственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул. Гагарина, 101 мация обоймы при высоких температурах,Может быть выполнена неподвижнойи внутренняя обойма, при этом онаимеет два разрыва и к ней подсоединены регистрирующий прибор и источникпитания.Датчик температуры работает следующим образом, 10Датчик температуры может быть размещен, например, на валу каруселиподложкодержателя пластин или накорпусе реактора, При этом необходимоосуществить контакт вращающейся подложки с вращающейся частью датчика.Датчик может быть расположен как ввертикальном, так и в горизонтальномположении.При нагревании пластин, расположенных на вращающейся подложке, одновременно нагревается и термочувствительный элемент, Изменяется величина электрического тока в цепи, причемрегистрируюЩий прибор может быть вт" 25градуирован в единицах температуры,Предлагаемая конструкция датчикатемпературы может быть использована помимо полупроводниковой техники,например, в двигателях внутреннего 30сгорания,в электротехнике в качестве генератора прямоугольных импульсов,если разрывы и на внутренней обоймевыполнены с соответствующей изоляцией, Датчик расчитан на многоразовоеиспользование и позволяет измерятьтемпературу с точностью 0,1-0,33,1, Датчик температуры, включающий соединенные последовательно источник питания, термочувствительный элемент и регистрирующий прибор, о т л и- чающий с я тем, что, с целью повышения точности измерения в широком диапазоне температур, термочувствительный элемент выполнен в виде шарикового подшипника, одна из обойм которого выполнена с двумя разрывами и установлена неподвижно в оболочке из диэлектрического материала,а шари" ки выполнены из полупроводникового материала или металла, источник питания и регистрирующий прибор присоеди" невы к обойме, имеющей разрывы,2. Датчик температуры по п, 1, о т-. л и ч а ю щ и й с я тем, что непод-вижная обойма выполнена с количест" вом разрывов, равным количеству термочувствительных элементов.