ZIP архив

Текст

СОЮЗ СОВЕТСКИХ СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ РЕСПУБЛИКОПИСАНИЕ ИЗОБ РЕТЕН ИЛ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Ко 157439Класс 21 о 11.,МПК Н 01/ Заявлено 22,111,1962 ( 770099/26-9) ГОВУЬАРСТ ВЕН Н Ъ иКОМИТЕТ ПО МЛАМИЗОБРЕТЕНИИ И ОТКРЫТИЙСССР Опубликовано ОЗ,Х.1963. Бюллетень18 чДК Подписная группа Л 97%к.ЕЗНВМ1 р 1 тт. А, И. Курносов и В. В. Юдин СПЛАВНОЙ ОМИЧЕСКИЙ КОНТАКТ В производстве полупроводниковых приборов омические контакты к кремнию р-типа изготавливаются обычно в виде сложных систем свинец в индий в ни, свинец в сереоро в индий в ни и других. Известные спла вы для омических контактов недостаточно полно смачивают поверхность кремния, что не обеспечивает вплавления сплава по всей площади контакта.Предлагаемый сплавной омический контакт, например, к кремнию р-типа отличается от известных тем, что он выполнен в виде системы кремний - алюминий - свинец, переходящей в чистый свинец. Описываемый омический контакт обладает хорошими электриче. скими и механическими свойствами, свободен от механических напряжений и трещин.На фиг. 1 изображен омический контакт до сплавления; на фиг, 2 - структура омического контакта после сплавления.Предлагаемый омический контакт выполнен следующим образом. Кристалл 1 кремния с р-и-переходом 2 помещен на таблетку 3 алюминиевой фольги толщиной 30 - 40 я с,под которой находится таблетка 4 свинца толщиной 75 - 100 .ин. Структуру помещают в вакуумную печь н нагревают до температуры 700=С. Сплавление ведут в течение 5 чин прн вакууме 10 - 1 - 510 -и,и рт. ст. Прн охлаждении, ведущемся со скоростью 10 - 15 С,.Иин, образуется легированная алюминием об ласть 5 кремния (Р ), и омнческнй сплав 6 состава А 1 - Я - РЬ постепенно переходит в чистый свинец 7.В результате получается омнческий контакт с хорошитми электрическими свойствами, свободный от механических напряжений н трещин,Предмет изобретения Сплавной омическнй контакт, например, и кремнию р-типа, создаваемый путем сплавления накладываемых один на другой слоев фольги компонентов сплава, о т л и ч а ю щ и йся тем, что, с целью уменьшения механических напряжений, он выполнен в виде сплава алюминия и свинца.Лв 157439 фиг l б 7 Составитель Зенииа Техред Т. П, Курилко Редактор КутафинаКорректор Т В Муллина Подп. к печ. 26/1 Х - 63 г, Формат бум. 60 Х 90/в Объем 0,23 изд. л. Заказ 2490/15 Тираж 1275 Цена 4 коп. ЦНИИПИ Государственного комитета по делам изобретений и открытцй СССР Москва, Центр, пр. Серова, д. 4Типография, пр. Сапунова, 2

Смотреть

Заявка

770099

МПК / Метки

МПК: H01L 21/40

Метки: 157439

Опубликовано: 01.01.1963

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-157439-157439.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">157439</a>

Похожие патенты