Микроскоп

СОЮЗ СОВЕТСНИХСОЦИАЛИСТИЧЕСНИХРЕСПУБЛИК 02 В 21/2 О ОП НИЕ ИЗОБРЕТЕН ч 293593/2 ч03. 08.8715. 02.90.В,Н.Иванов535.822,7Скворцов ГостроениеМИКРОСКОПИзобретени мам для конт дефектов пов ия - повышен ции, Для это одвижной диа в плоскости ива. Диаметр зависимости изобретения оля плоских и рхности, Цель е удобства вго микроскопрагмой, уста- входного зрацдиафрагмы выб приведенной им систебъемныхзобретен(53) (56) Маши (5 ) (57) ется и Формул тносится к оптичесг и 6, тубусную линзунасадку 8 с окулярработает следующим обМикроскоп ом.Источник 1 с тора 2 изобрть. Параллел ичи вается ко ра ета с помощью колжается в бесконечный пучок лучей огьцевой диафрагмой ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИПО ИЗОБ ЕТЕНИЯМ И ОТНРЬПРИ ГННТ СССР СИОМУ СВИДЕТЕЛЬОТ Бюл. й би Н.А.Чернобай,Б, Микроскопы, Л.:1969, с. 3 М,Изобретение относится к оптическимсистемам для контроля дефектов поверхности и может быть использованов микроэлектронике для визуальногоконтроля кристаллов и оснований микросхем в процессе производства, атакже в других областях науки и техники, где необходим контроль плоскихи объемных дефектов поверхности,Целью изобретения является повышение удобства в эксплуатации путемобеспечения возможности наблюденияобъекта в разных ракурсах, не меняяпри этом его положения,На чертеже изображена принципиальная оптическая схема предлагаемогомикроскопа.Микроскоп содержит источник 1 света, коллектор 2, кольцевую диафра му3, кольцевое зеркало 4, эпиобъект в5, диафрагму 7 ибинокулярную ами отражается от кольцевого зеркала Ьи собирается параболицеским зеркалом эпиобъектива 5 на поверхностиконтролируемого изделия, совмещеннойс передней Фокальной плоскостью эпиобъектива 5, Последний собирает оассеянный поверхностью изделия свети направляет на ограничивающую диафрагму 6, установленную в плоскостивходного зрачка эпиобъектива 5. Одновременно эпиобъектив 5 строит изображение поверхности изделия в бесконецность. Часть пучка лучей, прошедшая через отверстие диафрагмы б, попадает на тубусную линзу 7, котораяпереносит изображение поверхности изделия из бесконечности в переднююфокальную плоскость окуляров 9 бинокулярной насадки 8. Когда центр отверстия диафрагмы 6 совмещен с оптической осью эпиобъектива 5, диафрагма пропускает пучок лучей, ось которого перпендикулярна поверхности контролируемого изделия. При таком положении диафрагмы угол наблюдения И=0т.е, микроскоп дает изображение поверхности изделия в плане, При радиальном смещении центра отверстия диафрагмы относительно оптической оси в153311 Составитель Г.ВоробьеваТехред л,еердокоча орректор Л.Патаи актор А.Л 9осударствен11 Тираж М 7го комитета по изобретен 5 Иосква, Н, Раущска Зака ВНИИ одпис и открытиям при ГКНТ СССаб., д. Ф/5 льский комбинат Патент", г. Ужгород, ул. Гагарина,1 оиэводственно направлении наблюдателя диафрагмапропускает пучок лучей, ось которогосоставляет некоторый угол с с контро"лируемой поверхностью и лежит вплоскости наблюдения. При таком положении отверстия диафрагмы микроскопдает иэображение контролируемой поверхности под углом в направлении,аз мут которого в 0 . При поворотеотверстия диафрагмы вокруг оптическрй оси на угол р=90 ф относительноплоскости наблюдения микроскоп даетизображение поверхности контролируемго изделия под тем же углом (, нон 1 направлении, азимут которого в=90При полном обороте диафрагмы азимутнаблюдения меняется в пределах 0360 о 20Формула изобретения Микроскоп, содержащий последоватфльно расположенные по оптической ои источник света, коллектор, кольцевую диафрагму, кольцевое зеркало,эпиобъектив, тубусную линзу и бинокулярную насадку с окулярами, о тл и ч а ю щ и й с я, тем, что, с целью повышения удобства в эксплуатации за счет обеспечения наблюдения объекта в разных ракурсах, не меняя при этом его положения, в микроскоп дополнительно введена диафрагма, установленная между объективом и тубусной линзой в плоскости входного зрачка эпиобъектива с возмож" ностью радиального перемещения и вращения относительно оптической оси эпиобъектива, причем диаметр й диафрагмы определяется из условияР Геб---1о осанФгде Л - длина волны света;Г - Фокусное расстояние эпио 6объектива микРоскопа;1- разрешающая способностьмикроскопа;А - цисловая апертура объектиовва микроскопа.