Способ травления поверхности изделий из диэлектрических материалов
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
(51)4 С 23/00 Н 01 . 21/3 АНИЕ И ЕТ тике и оптоовышения ско ости сса травления иове ости прзделий ериаловмирох ма ди эл ек три чем воздействи лли ведут ванны У ввеоздей де тн ведут нного съ начения велич дер кои межд действия тся в 10 раз осится к областиких деталей, аионно-лучевой об кривая 2 на фиг,2 Изобрхи олог тение ному спос редлож Иона оптич способамалей, и ная схема, реа ся следующим о именно к ботки де обуществляет изующая Способ готовленных из ди элект ских ма ериалов, и может в оптике и опто -ом,В процессе о ыть использова оверхносатериала работк у съем ктроник в спичи изм иью изобретени ся повыше л значения онный пучодостижении пост чины съема выкл е скорости Травление равления,онерхност аю издели фиксируют вности, Затеют действиедо достижени диэлектрическитем воэдейств иалов ведут и я сколлимированным оторый введен пото м ионо лектронон, тупенчато д чем во ствие ведут съема,Измере верхности позволяетоцессе обработки и о до жени остоянного териала на начения веп аждой ступ чи ем с материал нт време ели ни с реме ыдержко воэдей и между ни-,ствиязависимость еделить м соответствующийного заряда накоторый приводив возникшем полцесс ионного тр ми, равной вНа фиг.величины удобработки повая 1 - трав акоплению положите верхности изделия, к торможению ионов тавлен ен бедствие чего про ве ения замедляется ни ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИЯМПРИ ГКНТ СССР А 8 ТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТ(54) СПОСОБ ТРАВЛЕНИЯ ПОВЕРХНОСТ ИЗДЕЛИИ ИЗ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ МАТЕРИАЛОВ(57) Изобретение относится к областитехнологии оптических деталей, аименно к способам ионно-лучевой обго слоя Ь от времени остей СЙТе, где крипо обычной методике,работки деталей, изготовленных из электрических материалов, и может быть использовано вэлектронике, С целью м пучком ио в, в которыи оток электронов, причем в тупенчато до достижени а на каждой ступени с у ними, равной времен Время травления сок2 ил. емя обработки понерхпоследовательно повторя- по обработке поверхности я требуемой величины1527201 Следовательно, предложенный способ позноляет повысить эффектинность обработки,Формула и э о б р е т е н и я Л,яка 0,5,4 0,2 16 й,пин 6 12 6 2 Ф фи Фив. Составитель Г,Буронцеваактор В.Данко Техред П,Сердюкова Ксрректор Т,Мале аказ 7474/31 Тираж 4 НИИПИ Государственного комитета по113035 Москва, ЖПодписное обретениям и открытиям при ГКНТ СССРаушская наб., д. 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г,Ужгород, ул. Гагарина, 10 или прекращается, Выключение ионногопучка приводит к компенсации поверхностного положительного заряда эасчет притяжения этим зарядом электро 5нов, эмиттированных с ними нейтрали -затора,На фиг.2 обозначены: 1 - ионныйисточник, 2 - нейтралиэатор, 3 - обрабатываемая деталь, 4 - прибор контроля величины съема,П р и м е р, Были обработаны двояковыпуклые линзы из стали маркиТКс просветляющим покрытием МцРс целью коррекции спектральной характеристики путем съема лишней толщиныпросветляющего .покрытия, Дпя обеспечения съема 60 нм было проведено5 циклон, каждый из которых состоялиз включения ионного пучка на время,равное 1 мин, и выключения его на тоже время при постоянна включенномнейтрализаторе. Таким образом, общее фвремя обработки соответствовало10 мин. Скорость травления МГ ионами аргона с энергией 730 эВ составляла 12 нм/минПри этом изменения качестна обработанной поверхности не наблюдалось.Величина съема при обработке аналогичных деталей известным способом эа время 10 мин составляла 12 нм, Качество обработанной поверхности н некоторых случаях ухудшалось,1 Способ травления поверхности иэделий из диэлектрических материалон путем воздействия сколлимированным пучком ионов, в который введен поток электронов, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью понышения скорости транления, воздействие пучком ионон ведут ступенчато до достижения постоянного значения величины съема материала на каждой ступени с выдержкой между ними, равной времени воздейстния,
СмотретьЗаявка
4196318, 31.12.1986
ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ Г-4149
ЖУРКИН ЕВГЕНИЙ СЕРГЕЕВИЧ, КИСЕЛЕВ ВЛАДИМИР АНАТОЛЬЕВИЧ, СЕРГЕЕВ ЛЕОНИД ВАДИМОВИЧ
МПК / Метки
МПК: C03C 23/00, H01L 21/3065
Метки: диэлектрических, поверхности, травления
Опубликовано: 07.12.1989
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-1527201-sposob-travleniya-poverkhnosti-izdelijj-iz-diehlektricheskikh-materialov.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ травления поверхности изделий из диэлектрических материалов</a>
Средство для одновременного обезжиривания и травления стальной поверхности
Номер патента: 1622424
Опубликовано: 23.01.1991
Авторы: Григорьева, Карпель, Клымкив, Луценко, Мартинович, Олейник, Шестопалов
МПК: C23G 1/02
Метки: обезжиривания, одновременного, поверхности, средство, стальной, травления
...шкуркой, обезжиривают эфиром (для обеспечения хорошего контакта металла со средством), взвешивают на аналитических весах и погружают в исследуемое средство при 18 - 21 С, После 30 мин выдержки в средстве образцы промывают дистиллированной водой, высушивают и вновь обрабатывают эфиром, а затем взвешивают на аналитических весах, Разница показаний двух взвешиваний составляет потерю веса образца Л Р.Скорость растворения металла определяют по формулеЛР/=- -г, где Ч - скорость растворения металла, г/м;Л Р - потеря веса, г;5 - поверхность образца, м;2,1 - время испытания, ч.Окись алкилдиметиламина (алкилдиметиламиноксид СпН 2 п+1(СНз)2 МО, где и = 10 - 18) - поверхностно-активное вещество, светло-желтая жидкость, хорошо растворима в воде,...
Водный раствор для размерного травления металлической поверхности
Номер патента: 1084339
Опубликовано: 07.04.1984
Авторы: Аскадский, Ногач, Ситник, Стецишин
МПК: C23F 1/04
Метки: водный, металлической, поверхности, размерного, раствор, травления
...на глубину до 1000 мкмбез торцового подтравливания элемен 0 тов, т.е. без искажения штрихов шириной менее 300 мкм.Раствор готовят. простым смешениемкомпонентов,Процесс травления рекомендуется65 проводить в температурном интервале1084339 38 46-50 фС., т3бованиемЭтот интервал определен тре- трехроторная ТОР-.40 Т 2 скорость вранием максимального отношения ско- щения роторов 600 об/мин темперости т авления к ср я к скорости стравли- ра раствора +46 С, продолжительностьвания граней элементов изображения, травления 56 мин.марки Ст.З полП р и м е р 1. Рельефы на стали При травлении в этих услов иях дор .3 получают травлением в рас стигается глубина травления 1000 мкмтворе след егоРХлорноеующ го состава, мас,боковое стравлнвание и торцовое...
Устройство для размерного травления внутренней поверхности труб
Номер патента: 1742354
Опубликовано: 23.06.1992
Авторы: Васильев, Кошара, Лисьих, Смирнов
Метки: внутренней, поверхности, размерного, травления, труб
...оси перемещения трубы,На фиг, 1 изображено устройство, видсверху; на фиг, 2 - то же, вид сбоку; на фиг.3 - мембранная камера, разрез.Устройство выполнено в виде цепногоконвейера, содержащего ведущий вал 1, ведущие звездочки 2-5, бесконечные цепи 69 сдвоенных цепей, захваты. 10-13,выполненные в виде пластинчатых элементов цепи, расстояние между осями шарниров которых совпадает С шагом. цепи,ведомые звездочки 14-17, ось 18 ведомыхзвездочек, мембранные камеры 1,9 и 20 дляобработки трубы 21, ряд спрееров 22, крометого, мембранная камера выполнена в видеполой емкости 23 и снабжена сильфоном 24,плунжером 25, цилиндрическойнаправляющей 26 для сильфона, роликом 27, подшипниками 28 и 29 скольжения, зубчатымколесом 30, электродвигателем 31;...
Раствор для травления полимерной поверхности
Номер патента: 1036792
Опубликовано: 23.08.1983
МПК: C23C 3/02
Метки: поверхности, полимерной, раствор, травления
...и сни- при комнатной температуре,жается на 30-40 Ъ.через 5 сут в про- Промытую в дистиллированной водецессе хранения раствора, что свиде- пленку погружают н ванну химическоготельствует о его нестабильности. Кро меднения, где из раствора, содержаме того, получаемые покрытия иеран- щего, г/л:;номерны по толщине. 505 Н 20Целью изобретения является повыше- Кйа С 4 Н 406 4 Н 20ние стабильности раствора, а также На 2 СО 1 ОН Оадгезии и равномерности покрытий. 30 МаОНСН 20 (37-ный раствоР)Поставленная цель достигается тем, мл/л 30что раствор преимущественно полиимид- при комнатной температуре наносят. ной пленки перед реталлиэацией, со- медное покрытие.держащий йод и йодид калия, дополни На промытую и высушенную на возду"тельно...
Устройство для съема окислов с поверхности расплава в изложнице
Номер патента: 1764811
Опубликовано: 30.09.1992
Авторы: Джолдасбеков, Молдабеков, Мурушкин, Умбетов
МПК: B22D 43/00
Метки: изложнице, окислов, поверхности, расплава, съема
...привод и механизм очистки лопаток, снабжено двумя стержнями, установленными с возможностью перемещения относительно подвижной рамы, ограниченного упорами, и соединенными с кривошипно-шатунным механизмом, связанным с приводом, при этом подвижная рама соединена с основаниемпосредством четырех параллельных тяг, один из брусьев, жестко закреплен на стержнях, другой установлен на них подвижно, а брусья соединены между собой посредством двух рычагов, шарнирно закрепленных на подвижной раме и связанных с брусьями посредством шарнирных тяг,На фиг,1,2 изображено предлагаемое устройство; на фиг.3 представлен разрез устройства вдоль оси двух рычагов; на фиг,4 изображен механизм очистки лопаток; нафиг. 5 - 8 показан механизм устройства в различных...
Предыдущий патент: Прозрачная глазурь
Следующий патент: Состав покрытия стекловолокна для армирования изделий на цементном или гипсопуццолановом вяжущем
Случайный патент: Складной шкаф