Диффузионный насос

СОЮЗ СОВЕТ СОЦИАЛИСТ РЕСПУБЛИК И,1525343 Ш 4 г 04 Г 9/ АНИЕ ИЭОБРЕТЕНИ детельство СС 4 Р 9/06, 1984 НЪЙ НАСОС носится к вакуумн еличить быстроту корпус 1, частиц ью 2, размещенныи лом 4, нагревате ой тех- откачно зав нем ь 5 и ютна исаемсьена ОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМРИ ГКНТ СССР К А ВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВ(21) 4421897/25-29 (22) 29,03.88 (46) 30,11.89. Бюл. (7) Томский инсти систем управления (72) Л. Н. Орлико (53) 62 .517.8 (088. (56) Авторское сви1270427, кл. Р 0(54) ДИФФУЗИОН (57) Изобретение о нике и позволяет у ки. Насос содержи полненный жидкост паропровод 3 с со44тут автоматизированныхи радиоэлектроники источник 6 напряжения, подключенный электродом 7 к корпусу 1. Насос снабжен кольцом 8, расположенным между корпусоми паропроводом 3, причем оси симметрии профилей кольца 8 и сопла 4 в продольном сечении размещены на одной линии. Паропровод 3 снабжен диэлектрической вставкой, а электрод 10 источника 6 подключен к соплу 4. Такое размещение кольца 8 против образующих сопла 4 способствует переводу сверхзвукового потока паров рабочей жидкости в звуковой, обладающий большим коэффициентом эжекции, и расслаивает поток, увеличивая его площадь, что также увеличивает эжекцию откачиваемого газа.1 ил.1525343Изобретение относится к вакуумной технике и может быть использовано в диффузионных вакуумных насосах.Целью изобретения является увеличение быстроты откачки.На чертеже изображен диффузионный насос, продольный разрез.Диффузионный насос содержит корпус 1, частично заполненный жидкостью 2, размещенные в нем по оси паропровод 3 с 10 соплом 4, нагреватель 5 и источник 6 напряжения, подключенный электродом 7 к корпусу 1, причем насос снабжен кольцом 8, размещенным между корпусом 1 и паропроводом 3, причем осн симметрии профилей кольца 8 и сопла 4 в продольном сечении размещены на одной линии, паропровод 3 снабжен диэлектрической вставкой 9, а электрод О источника 6 напряжения подключен к соплу 4.Насос содержит также входной патру О бок 11, выходной патрубок 12 и рубашку 13 охлаждения.Диффузионный насос работает следующим образом.После предварительной откачки форвакуумным насосом (не показан) включается нагреватель 5. Жидкость 2 доводится до кипения. Давление паров жидкости 2 в сопле 4 в несколько раз больше, чем давление газа внутри насоса. Пары жидкости 2 истекают из сопл 4 в виде сверхзвуковой струи.На пути потока пара установлено кольцо 8, толщиной не более критического сечения сопла, струя расслаивается, ее площадь возрастает, а скорость становится дозвуковой.Увеличение площади струи способствует 34повышению коэффициента эжекции и увеличению быстроты откачки. Приложение потенциала позволяет создать дополнительное движение паров жидкости 2 на стенку корпуса 1. Это поддерживает скорость струи на уровне, близком к звуковой, и предотвращает обратную диффузию паров в откачиваемый объем. Величина потенциала выбирается такой, чтобы не происходило полиме. ризации рабочей жидкости. Откачиваемый гаэ, проходя через входной патрубок 11, диффундирует в струю пара, Пар, попадая на охлаждаемые стенки корпуса 1, конденсируется, стекает в нижнюю часть корпуса 1, а откачиваемый газ удаляется в выходной патрубок 12.Использование изобретения позволяет существенно повысить быстроту откачки насоса за счет увеличения коэффициента эжекции вследствие увеличения площади струи пара жидкости 2.Формула изобретенияДиффузионный насос, содержащий корпус, частично заполненный жидкостью, размещенные в нем по оси паропровод с соплом, нагреватель и источник напряжения, подключенный одним электродом к корпусу, отличающийся тем, что, с целью увеличения быстроты откачки, насос снабжен кольцом, размещенным между корпусом и паропроводом, причем оси симметрии профилей кольца и сопла в продольном сечении размещены на одной линии, паропровод в верхней части снабжен диэлектрической вставкой, а другой электрод источника напряжения подключен к соплу.(дк анисгн Зоб инРс.и 1 к 1 ор М ан,о рн 1 н11 Бг кКорректор О. КривиивЛакан ТРЧ "Т 1 нриж зов 1 одннсноеВН 1111111 Гостдарственного когии 1 ета но иаобретениям и открьпияч при ГКНТ (:СХР1 З 035, Москва, Ж 35, Раугиская наб., д 4,5роиаводственно.издательский комбинат 1 атснть,Ужгород, 1 д. Гагарина, )