Способ измерения сдвига интерференционной полосы

СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСНИХРЕСПУБЛИН 1520333 1)4 С О 1 В 21/00 9/ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИПРИ ГКНТ СССР ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИ АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ(56) Авторское свидет94936, кл. С 01 В СССР80. льст /02,(54) СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯФЕРЕНЦИОННОЙ ПОЛОСЫ(57) Изобретение атнорольно-измерительнойизобретения - повышен ДВИГА ИНТЕР итсяехник онтЦельти за очн ия, по порног а инте ровень Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может бытьиспользовано для измерения сдвига интерференционных полос в интерферометрах с модуляцией оптической длины.Цель изобретения - повышение точности за счет уменьшения влияния постоянной составляющей интерференционного сигнала,На чертеже представлена блок-схемаустройства, реализующего способ.Устройство состоит из интерферометра 1, модулятора 2, механическисвязанного с одним из плеч интерферометра 1, последовательно соединенныхФотоприемника 3, расположенного в выходной плоскости интерферометра 1,усилителя 4, компаратора 5, Формирователя б Фронта, блока 7 выборки ихранения, сумматора 8, аналого-цифрового преобразователя 9 и вычислительного блока 10, последовательно соединенных формирователя 1 среза, входкоторого подключен к выходу компарасчет уменьшения влияния постояннойсоставляющей интерференционного сигнала, Способ заключается в модуляцииразности хода интерферирующих лучейс амплитудой, превышающей 3/2 длиныволны, измерении величин модулирующего воздействия в моменты, когдаинтенсивность интерференционного сигнала переходит через постоянный уровень, и определении направления ивеличины сдвига интерференционныхполос по полусумме измеренных величин,ил,тора 5, и блока 12 выборки и хранения, выход которого подключен к второму входу сумматора 8, Формирователя 13 импульса запуска, выход которого подключен к входу запуска преобразователя 9, генератора 14, выходы которого подключены к входам модуля" тора 2 и Формирователя 13, и вторым входам блоков 7 и 12, и источника 15 опорного напряжения,Способ осущестляют следующим образом.Интерферометр 1 Формирует интерФеренционную картину в плоскости фотоприемника 3. Картина модулируется при помощи модулятора 2, подключенного к генератору 14. Сигнал с фотоприемника 3 усиливается усилителем 4 и сравнивается при помощи комгаратора 5 с уровнем постоянного напряжен ступающего от источника 15 о о напряжения. В момент перехо д рференционного сигнала через у постоянного напряжения в по1520333 СОставитель М.КузнецовРедактор М.Бланар Техред М.Ходанич Корректор М.Максимишин Заказ 6744/41 Тираж 683 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СС11303, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г.ужгород, ул. Гагарина,ложительную сторону Формирователь 6 Формирует импульс по которому происходит запись в блок 7 мгновенного значения модулирующего напряжения генератора 14. В момент перехода интер 5 Ференционного сигнала через уровень постоянного напряжения в отрицательную сторону Формирователь 11 формирует импульс, по которому происходит запись в блок 12 выборки-хранения мгновенного значения модулирующего напряжения. Два этих значения пода.м ются на сумматор 13 с коэффициентом передачи 1/2 по обоим каналам, где находится их полусумма. Это напряжение подается на преобразователь 9, который запускается Формирователем 13, срабатывающим на обратном ходе генератора 14, Значение кода преоб" раэователя 9 по сигналуГотов" передается в вычислительный блок 10.Таким. образом, на прямом ходе генератора модулирующего напряжения осуществляется измерение двух последовательных мгновенных значений модулирующего напряжения, их запоминание в блоках 7 и 12 выборки и хране" ния, нахождение полусуммы, а на обратном ходе - преобразование полу- суммы в цифровую Форму, хранение30 цифрового кода и его передача в вычислительный блок 10. Напряжение источника опорного напряжения выбирают больше уровня интерференционного фона, что позволяет более точно опре делять сдвиг интерферейционной полосыф о р м у л а изобретения Способ измерения сдвига интерференционных полос, заключающийся в модуляции разности хода интерферирующих лучей, регистрации интенсивности интерференционной картины, измерении величины модулирующего воздействия и определения велицины и направления сдвига интерференционных полос с учетом величины модулирующего воздействия, о т л и ч а ющ и й с я тем, что, с целью повышения точности, модуляцию осуществляют с амплитудой, превышающей 3/2 длины волны интерферирующих лучей, величину модулирующего воздействия измеряют дважды в моменты последовательного перехода интенсивности интерференционной картины через постоянный уровень, превышающий величину постоянной составляющей интерференционного сигнала, а величину и направление сдвига полос определяют по полусумме измеренных величин модулирующеговоздействия.