Раствор для травления тантала
Формула | Описание | Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 1292387
Автор: Апанович
Формула
Раствор для травления тантала, содержащий фтористоводородную кислоту и воду, отличающийся тем, что, с целью улучшения качества, повышения равномерности и увеличения скорости травления, он дополнительно содержит концентрированную соляную кислоту при следующем соотношении компонентов, мас.ч.
Фтористоводородная кислота 0,5 2
Соляная кислота 2 4
Вода 2 4
Описание
Целью изобретения является улучшение качества, повышение равномерности и увеличение скорости травления.
После нанесения пленки тантала на кремниевую подложку в установке вакуумного напыления плазменным распылением ее извлекают из установки, и на пленку тантала наносят фоторезист, вскрывают контактные окна в нем, затем высушивают. В результате на поверхности пленки тантала в скрытых контактных окнах образуется тонкий слой оксида тантала.
Известный раствор, содержащий фтористоводородную кислоту в смеси с азотной кислотой, слабо растворяет оксид тантала, поэтому процесс травления пленки тантала получается неравномерным и медленным. Назначение соляной кислоты снятие оксида тантала ускоряет процесс травления тантала. В то же время НСl является поставщиком Н+ + е-, что поддерживает стабильность раствора и обеспечивает равномерность травления.
Сравнительные данные, полученные при травлении тантала, толщиной 400-500

Из анализа приведенных данных следует, что (пример 3) травление равномерное, обеспечивает полное вытравливание тантала без подтравов, скорость травления составляет 0,0005 0,0006 мкм/с, высокий процент выхода годных 99,8%
Раствор для травления тантала, содержащий фтористоводородную кислоту и воду, отличающийся тем, что, с целью улучшения качества, повышения равномерности и увеличения скорости травления, он дополнительно содержит концентрированную соляную кислоту при следующем соотношении компонентов, мас.ч.:
Фтористоводородная кислота - 0,5 - 2
Соляная кислота - 2 - 4
Вода - 2 - 4
Рисунки
Заявка
3884217/02, 15.04.1985
Апанович Л. В
МПК / Метки
МПК: C23F 1/26
Метки: раствор, тантала, травления
Опубликовано: 20.05.1996
Код ссылки
<a href="https://patents.su/0-1292387-rastvor-dlya-travleniya-tantala.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Раствор для травления тантала</a>
Предыдущий патент: Способ получения катализатора для конверсии монооксида углерода
Следующий патент: Запорное устройство
Случайный патент: Шихта порошковой проволоки