Номер патента: 1292387

Автор: Апанович

Формула

Раствор для травления тантала, содержащий фтористоводородную кислоту и воду, отличающийся тем, что, с целью улучшения качества, повышения равномерности и увеличения скорости травления, он дополнительно содержит концентрированную соляную кислоту при следующем соотношении компонентов, мас.ч.
Фтористоводородная кислота 0,5 2
Соляная кислота 2 4
Вода 2 4

Описание

Изобретение касается химической обработки металлов, в частности травления тантала, и может быть использовано, например, в электронной технике при производстве дискретных полупроводниковых приборов и интегральных схем.
Целью изобретения является улучшение качества, повышение равномерности и увеличение скорости травления.
После нанесения пленки тантала на кремниевую подложку в установке вакуумного напыления плазменным распылением ее извлекают из установки, и на пленку тантала наносят фоторезист, вскрывают контактные окна в нем, затем высушивают. В результате на поверхности пленки тантала в скрытых контактных окнах образуется тонкий слой оксида тантала.
Известный раствор, содержащий фтористоводородную кислоту в смеси с азотной кислотой, слабо растворяет оксид тантала, поэтому процесс травления пленки тантала получается неравномерным и медленным. Назначение соляной кислоты снятие оксида тантала ускоряет процесс травления тантала. В то же время НСl является поставщиком Н+ + е-, что поддерживает стабильность раствора и обеспечивает равномерность травления.
Сравнительные данные, полученные при травлении тантала, толщиной 400-500 , нанесенного на кремниевую подложку с удельным сопротивлением 1 Ом/см со слоем оксида кремния и сформированными в ней Р-областями в предложенном растворе и в известном приведены в таблице.
Из анализа приведенных данных следует, что (пример 3) травление равномерное, обеспечивает полное вытравливание тантала без подтравов, скорость травления составляет 0,0005 0,0006 мкм/с, высокий процент выхода годных 99,8%
Раствор для травления тантала, содержащий фтористоводородную кислоту и воду, отличающийся тем, что, с целью улучшения качества, повышения равномерности и увеличения скорости травления, он дополнительно содержит концентрированную соляную кислоту при следующем соотношении компонентов, мас.ч.:
Фтористоводородная кислота - 0,5 - 2
Соляная кислота - 2 - 4
Вода - 2 - 4

Рисунки

Заявка

3884217/02, 15.04.1985

Апанович Л. В

МПК / Метки

МПК: C23F 1/26

Метки: раствор, тантала, травления

Опубликовано: 20.05.1996

Код ссылки

<a href="https://patents.su/0-1292387-rastvor-dlya-travleniya-tantala.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Раствор для травления тантала</a>

Похожие патенты