Патенты с меткой «свч-эллипсометр»

Номер патента: 1499196

Опубликовано: 07.08.1989

Авторы: Волков, Клушин, Пунько

МПК: G01N 22/00

Метки: свч-эллипсометр

...1 О отношений, сигнал с выхода которого регистрируется индикатором 11,Формула изобре тения Составитель В.ГончаровРедактор И.Горная Техред М, Дидык Корректор О.Ципле Заказ 4682/40 Тираж 789 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5 Производственно-издательский комбинат Патент", г.ужгород, ул. Гагарина,01 Э 1499 9Изобретение относится к технике измерений на СВЧ и может быть исполь зовано при измерении параметров покрытий, в частности для определения толщины тонких металлических пленок на диэлектрических подложкахнепроводящих покрытий на металлах, комплексной диэлектрической проницаемости материалов. 10Цель изобретения - уменьшение габаритов и массы.На...