Способ определения параметров анизотропной поверхности
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
(511 4 С 01 В 11/3 ПИС И АВТОРС ко. ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИЯМПРИ ГКНТ СССР НИЕ ИЗОБР МУ СВИДЕТЕЛЬСТВ(71) Научно-исследовательский институт механики и физики Саратовскогогосударственного университета(56) Авторское свидетельство СССРУ 1262280, кл. С 01 В 11/30, 1987,(54) СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ПАРАМЕТРОВАНИЗОТРОПНОЙ ПОВЕРХНОСТИ(57) Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения глубины канавокпериодических структур поверхности,например поверхности элементов полуИзобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения глубины канавокпериодических структур поверхности,например поверхности элементов полупроводниковых приборов,Целью изобретения является расширение диапазона исследуемых поверхностей за счет определения параметров поверхностей с канавками, имеющими ширину порядка длины волны зондирующего излучения,Способ осуществляется следующимобразом,Исследуемую поверхность с канавками, имеющими период чередования винтервале (1-100), где- длинаволны когерентного, монохроматичес И:1.Г."Р.: 11г,.т;Е ь,1 ;,.У проводниковых приборов, Целью изобретения является расширение диапазона исследуемых поверхностей за счет определения параметров поверхностей с канавками, имеющими ширину порядка длины волны зондирующего излучения, Поверхность освещают пучком когерентного монохроматического излучения, плоскость поляризации которого перпендикулярна плоскости падения излучения, Ориентируют поверхность так, чтобы плоскость падения излучения была параллельна направлению анизотропии поверхности, изменяют угол падения излучения, измеряя при этом интенсивность дифрагированного излу- аФ чения, и по результатам измерений судят о глубине канавок. го излучения, используемого при исследованиях, и ширину не менее /4,освещают пучком когерентного монохроматического излучения, плоскостьполяризации которого перпендикулярнаплоскости падения излучения, В качестве источника такого излучения может быть использован, например, гелий-неоновый лазер, имеющий длину1волны 3 = 0,63 мкм,Поверхность ориентируют так, что плоскость падения излучения параллельна направлению анизотропииИзменяют угол падения излучения, например, с помощьюгониометра, одновременно с этим производят измерение интенсивности дифрагированного излучения, Определяютзависимость интенсивности дифрагирг1481594ванного излучения от угла падения,по угловому положению экстремумовкоторой определяют глубину канавки,. Формула изобретения Составитель В. Костюченко Техред М.Ходанич Корректор Г. Джула Редактор Н. Бобкова Заказ 2675/41 Тираж 684 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г.ужгород, ул. Гагарина,101 Способ определения параметров анизотропной поверхности, заключающийся в том, что исследуемую поверхность освещают пучком когерентного монохроматического излучения, ориентируют так, чтобы плоскость падения излучения была параллельна направлению анизотропии, измеряют интенсивность дирагированного излучения и определяют параметры, о т л и -ч а ю щ и й с я тем, что, с цельюрасширения диапазона исследуемыхповерхностей, поверхность освещаютпучком излучения, плоскость поляризации которого перпендикулярна плоскости падения излучения, измеряютугол падения излучения, измерениеинтенсивности дирагированногоизлучения производят одновременнос изменением угла падения, определяют зависимость интенсивности дифрагированного излучения от угла па дения, по угловому положению экстремумов которой определяют параметры.
СмотретьЗаявка
4320119, 26.10.1987
НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ИНСТИТУТ МЕХАНИКИ И ФИЗИКИ САРАТОВСКОГО ГОСУДАРСТВЕННОГО УНИВЕРСИТЕТА
БИЛЕНКО ДАВИД ИСАКОВИЧ, ПОЛЯНСКАЯ ВАЛЕНТИНА ПЕТРОВНА, ИВАНОВ МИХАИЛ ВЛАДИМИРОВИЧ
МПК / Метки
МПК: G01B 11/30
Метки: анизотропной, параметров, поверхности
Опубликовано: 23.05.1989
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-1481594-sposob-opredeleniya-parametrov-anizotropnojj-poverkhnosti.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ определения параметров анизотропной поверхности</a>
Способ измерения геометрических параметров поверхности в интерференционном профилографе белого света
Номер патента: 1298542
Опубликовано: 23.03.1987
Авторы: Бабенко, Горбаренко, Евтихиев, Кучин, Левинсон
МПК: G01B 21/00
Метки: белого, геометрических, интерференционном, параметров, поверхности, профилографе, света
...3, к которому подключен также генератор 4 модулирующего напряжения, Вход датчика 11 перемещения опорного зеркала связан с опорным зеркалом 2, а его выход - с первым входом вычислительного блока 14, к второму входу которого подключен блок 13 сравнения, а выход вычис лительного блока 14 связан с генератором 6 отклоняющего напряжения. Формирователь 12 сигнала допустимой 2 2ошибки подключен к второму входу блока 13 сравнения,Способ и работа устройства осуществляются следующим образом.3 1985В блоке 13 осуществляется сравне -ние сигнала допустимой сшибки, сформированного формирователем 12, и сигнала расстройки, сформированного формирователем 9,5Если сигнал расстройки меньше величины, заданной формирователем 12,блок 13 сравнения...
Способ измерения геометрических параметров поверхности в интерференционном профилографе белого света
Номер патента: 1575070
Опубликовано: 30.06.1990
Авторы: Бабенко, Горбаренко, Евтихиев, Курчатов, Левинсон, Тугарин
МПК: G01B 21/00
Метки: белого, геометрических, интерференционном, параметров, поверхности, профилографе, света
...ахроматической полосой, и формирует сигнал, пропорциональный временному положению центра ахроматической относительно начала40 развертки, Формирователь 8 формирует сигнал, длительность которого не изменяется и равняется приблизительно 1/4 периода модуляции. Сигналы с выходов блока 7 и формирователя 8 посту 1 пают на вход формирователя 9 сигнала расстройки, который формирует импульс, пропорциональный разности длительностей входных сигналов, т,е. пропорциональный положению пика сигнала,50 связанного с ахроматической полосой, полученной на выходе фотоприемника 5, относительно положения, выбранного с помощью сигнала фиксированной длительности за начальноеЗа началь 55 ное положение центра ахроматической полосы, относительно которого...
Устройство для маскировки прозрачных плоскостей с отражающей поверхностью
Номер патента: 1836620
Опубликовано: 23.08.1993
Автор: Курт
МПК: F41H 3/00
Метки: маскировки, отражающей, плоскостей, поверхностью, прозрачных
...рамка2, открытая с ее верхней стороны. Рамка 2закреплена на удерживающем профиле 3для оконного стекла 1 (например: свинченаили приклеена) и снабжена пазом 4, проходящим на определенном расстоянии отоконного стекла 1. В паз 4 вдвинуто выполненное, например, из металлического листаили пластмассовой пластины покрытие 5,имеющее перфорацию 6. Вследствие этой 30перфорации 6 лучи света 7 не могут отражаться от оконного стекла 1. С другой стороны, все же возможен вид изнутри, т.е. внаправлении 8. В универсальном проти- .вогазе 9 (противоатомного, противобиологического и противохимического),содержащем обычно маску 10, фильтр 11, атакже фиксирующие ленточки 12, застекленные отверстия для глаз покрытынапример, выполненным из пластмассы,...
Устройство для доводки рабочих поверхностей технических камней, например, из корунда путем оплавления
Номер патента: 117690
Опубликовано: 01.01.1958
Автор: Федотов
Метки: доводки, камней, корунда, например, оплавления, поверхностей, путем, рабочих, технических
...за598874/29 в Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССРЛоо 117 б 90Токоподводящие стволы б и б электродов выполнены с полостями, в которых циркулирует для охлаждения вода. На чертеже движение воды показано стрелками 7. Ствол э нижнего электрода выполнен с тепловым экраном 8, в полостях которого также циркулирует вода.Для ведения процесса доводки рабочей поверхности камней оплавле. нием в среде разреженного инертного газа электроды вместе с экранами 4 и 8 размещены в герметическом сосуде 9. Вертикальные стенки герметического сосуда 9 выполнены из прозрачного материала, Герметический сосуд 9 для создания в нем разреженной среды инертного газа соединен трубопроводом 10 с баллоном 11, содержащим инертный газ, и с...
Устройство для очистки внутренней поверхности различных емкостей, например дежей
Номер патента: 166284
Опубликовано: 01.01.1964
Авторы: Конструкторский, Пироцкий, Раинский, Тропп, Харитоненко
Метки: внутренней, дежей, емкостей, например, поверхности, различных
...с электродвигателем 3, смонтирован. ного иа поворотной около горизонтальной оси плите 4, и связанного с ним ходового винта 5, размещенного в цилиндрическом корпусе 6.Рамка составлена из двух изогнутых по форме емкости трубчатых рычагов 7 с рабочим инструментом, шарнирно усти подпружиненных в корпусе 8, ккреплен на подвижной втулке 2.Рабочий инструмент выполнен в5 иирно укрепленных к рычагам 7изогнутых подпружиненных планок,фторопластом.На наружной поверхности втулкдва диаметрально расположенныхО вающих друг друга профильных пвнутренней - винтовая нарезка.Втулка закреплена па гайке 10винта 6, снабженного на конце штифможет совершать возвратио-поступа5 вращательное движения.На цилиндрическом корпусе 6 вкрепленном иа редукторе,...
Предыдущий патент: Устройство для контроля шероховатости зеркальных поверхностей
Следующий патент: Устройство для измерения толщины движущихся изделий
Случайный патент: Устройство для возбуждения синхронной электрической машины