Способ измерения шероховатости поверхностей прозрачных плоскопараллельных пластин

СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИК ИЯ (И) А 1 1 В 11 30 СССР981 ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПо ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКЮГИПРИ ГКНТ СССР Н А ВТОРСНОММ ОБИДЕ(71) Черновицкий государственный университет(5 б) Авторское свидетельство В 872959, кп. С 01 В 11/30, (54) СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ НЕРОХОВАТОСТИ ПОВЕРХНОСТЕЙ ПРОЗРАЧНЫХ ПЛОСКОПАРАЛЛЕЛЬНЫХ ПЛАСТИН, (57) Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано, в частности, для измерения шероховатости поверхностей. Цепь изобретения - повышение точности измерения и расширение диапазона измеряемых высот в сторону меньших значений. Направляют на поверхность полупрозрачной пластины монохроматический пучок высококогерентного излучения, Формируют волну с плоскимфронтом, принимают пространственночастотный спектр излучения, отраженного от исследуемой пластины, изменяют угол падения излучения на пластину до появления максимального значения интенсивности 1отраженного пучка, измеряют значениеи угол (", падения, изменяют уголпадения излучения на пластину до появления минимального значения интенсивности 1 , отраженного пучка,(1измеряют значение 1 " . и угол палнНдения, переворачивают пластину так, чтобы пучок излучения падална противоположную поверхность пластины, измеряют значения 11 . 1аналогично предьдущимизмерениям, рассчитывают среднеквадратичные отклонения профиля от базовой линии К ъ и К, поверхностей1 1пластины нз соотношений, приведенныхв описании изобретения. 1 ил,1585673 параллельной пластины 7, интерфери руют, Весь поток отраженного излучения объективом 5 собирается в плоскости полевой диафрагмы б,причем изображаетсй , сечение фраунгоферовой зоны пЬля отраженного излучения.На исследуемую пластину 7 направляют плоскопараллельный пучок высококогерентного излучения, Собирают весь пространственно-частотный спектр излучения, отраженного от пластины 7, Изменяют угол падения излучения на пластину 7 до появления максимального значения интенсивности 1отраженного Ьучка. Измеряют значение 1 ) и угол падениямакс маке Изменяют угол падения излучения на пластину 7 до появления минимально-. го значения интенсивности 1отЧ раженного пучка, Измеряют значение 1 , и угол падения )р . Перенцн мни ворачивают пластину 7 так, чтобы пучок излучения падал на противоположную поверхность пластины 7, Измеряют значения 1кеЧ мкс1 иини ц аналогично предыдущим:измеминрениям. Расчитывают среднеквадратичные отклонения профиля от базовой линии К и и Кповерхностей3пластины из соотношений: Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в оптическом приборостроении,машиностроении и других отраслях науки и техники для измерения шероховатости поверхности.Цель изобретения - повышение точности измерения и расширение диапа. зона измеряемых высот в сторону мень Оших знаений.На чертеже изображена принципиаль-,ная схема устройства, реализующегоописываемый способ,Устройство содержит одномодовый 15лазер 1, телескопическую систему 2,гениометр 3, объектив 4, диафрагмуи фотоэлектронный блок б регистрации.Размер диафрагмы 5 выбирается меньшим неоднородного участка интерференционной картины, осуществляетсяописываемый способ с помощью устройства следующим образом,Плоскопараллельную пластину 7 устанавливают на столике гониометра 3. 25Излучение от одномодового лазерапопадает на вход телескопическойсистемы 2, состоящей из микрообъектива и микронной диафрагмы между ними,Система 2 формирует волну с плоскимЗОфронтом. Пучки, отраженные от плоско 4) ) ацщ + В,а))п ,А ион Ьа мин+ Ванн 6,иниЮ Е Е МФ МА" У;+ В" -иА ,С, В к,6 и ) 8, каке) ТминЙ р1 1макс ет гдето 1,2 исначальному е вует пеению плна 180 ины ол и перевернуто1и со соя сов о 2 сов 4 на волны испольэуемоизлучения. оя е("(о+ соз) го) соя 2 п соя ф 3 1 ФЙ соя Фф соя-(. + и совдп .( , показатель преломя 3.п ) "ления; Способ измерения шероховрхностей прозрачных плоск( 1кс масс а,макс Ь,ас С(2В мин ) + А мд(н 1 т(, Р+соз ( " ф3 1, 2 и соответствует первоначальному положению пластиныперевернутому на 180 и совУ (.ов 4 ) сть па его пуч О 1Д - длина волны используемого излучения. Составитель Л.ЛобзоваТехред Л,Сердюкова. Редактор Л.Пчолинская орректор О,Кравцова Заказ 2321 Тираж 492ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и113035, Москва, Ж, Раушская наб Подписноекрытиям при ГКНТ СССд. 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г.ужгород, ул. Гагарина,30 5 15856 ных пластин, заключающийся в том, что направляют на поверхности пластины монохроматический пучок излучения измеряют интенсивность отраженного от каждои поверхности пластины излун5 чения и определяют высоту шероховатости поверхностей, о т л и ч а ю - щ и й с я тем, что, с целью повьппения точности измерения и расширения диапазона измеряемых высот в сторону маньших значений, используют высококогерентное излучение, формируют волну с плоским фронтом, принимают про 73 6странственно-частотный спектр излучения, отраженного от каждой поверхно 4 ти пластины, изменяют угол падения излучения на поверхности пластины до появления максимальных значений Тмсс и дм интенсивностей раженного пучка и минимальных значений Ти Тинтенсивностеййотраженного пучка, измеряют эти значения и углы падения с 1( " , Ц(1 с (,ма(кс и смакс амин а определение вйсот К и Ншероховатости по 1 аверхности производят из соотношений