Способ контроля магнитострикции тонкой ферромагнитной пленки
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
ОПИСАНИЕИЗОБРЕТЕ НИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬОВУ Союз Советских Социалистических РеспубликЗависимое от авт. свидетельстваКл. 420, 11 Заявлено 16 Х .1966 ( 1091640/25-28)с присоединением заявкиПриоритетОпубликовано 15 Х.1967, Бюллетень17Дата опубликования описания 23,Х.1967 ПК 60 Комитет по делам изобретений и открыти при Совете Министров СССРУДК 531,717,082,72 .652 (088.8) А Фабриков и Ю А Черенко " вторызобретени Заявител ПОСОБ КОНТРОЛЯ МАГНИТОСТРИКЦИИ ТОНКОЙ ФЕРРОМАГНИТНОЙ ПЛЕНКИ1Известен способ контроля магнитострикции тонких ферромагнитных пленок, состоящий в том, что над контролируемой пленкой создают магнитное поле с частотой 1 кгтт, с помощью механизма деформации подвергают пленку периодическим знакопеременным напряжениям и по модуляции выходного сигнала судят о наличии магнитострикции пленки,определить лишь рикции, поскольависимость межрикции и выходвлияния процесПо предложенному способу для осуществления контроля магнитострикции заданного значения и одновременного определения толщины пленки магнитное поле создают с помощью датчика, имеющего две взаимно перпепдикулярные обмотки, питаемые токами высокой и разной частоты, и о магнитострикции судят по отклонению модуляции выходного сигнала, снимаемого с одной из обмоток датчика на суммарной частоте от 100%, а для определения толщины с помощью интегрирующего устройства интегрируют модулированный выходной сигнал и по уровню проинтегрированного сигнала судят о толщине. Г 1 о этому способу можно нулевое значение магнитост ку отсутствует однозначная з ду коэффициентом магнитост ным сигналом датчика из-за са смещения стенок доменов,Создание двух взаимно перпендикулярныхмагнитных полей позволяет исключить влияние смещения стенок доменов.Предлагаемый способ магнитострикции топкой ферромагнитной пленки состоит в том, что в процессе напыления напыляемую на подложку пленку подвергают действию магнитного поля, создаваемого с помощью датчика с двумя взаимно перпендикулярными об мотками, питаемыми токами высокой и разной частоты. При этом напряжение о, питает одну из обмоток датчика, а напряжение с частотой вв - другую обмотку датчика, расположенную под углом 90 к первой обмотке.15 Под действием высокочастотных полей обеихобмоток вектор намагниченности пленки колеблется в плоскости пленки с очень малой амплитудой на частоте со=о 1+к. С одной пз обмоток датчика па суммарноп частоте, 20 т, е. частоте н снимают выходной сигнал парегистрирующее устройство, например осциллограф, По отклонению модуляции выходного сигнала от 100/, судят о магнитострикцпи пленки, а по уровшо проинтсгрированного вы ходного сигнала судят о толщине пленки.Предмет изобретенияСпособ контроля магнитострикции тонкойферромагнитной пленки в процессе папыле ния, состоящий в том, что напыляемую на200773 Составитель А. Ионова Тсхрсд Т. П, Курилко Корректоры: Е. Ф. Полиоиоааи И. Л. Кириллова Редактор Т. Данилова Заказ 3191/11 Тира)к 535 ПодписноеЦ 11 ИИПИ Комитета по делам пзооретсий и открытий прп Совете Министров СССРМосква, Центр, пр. Серова, д. 4 Типография, пр. Сапунова, 2 подложку пленку подвергают действию магнитного поля, создаваемого обмоткой датчика, и периодической знакоперсменной деформации и снимают с обмотки датчика выходной сигнал на регистрирующее устройство, например осциллограф, отличающийся тем, что, с целью осуществления контроля магнитострикции заданного значения и одновременного определения толщины пленки, магнитное поле создают с помощью датчика, имеющего две взаимно перпендикулярные обмотки, питаемые токами высокой и разной частоты, выходной сигнал снимают с одной из обмоток датчика па суммарной частоте и о магнитострикции 5 судят по отклонению модуляции выходногосигнала от 100%, а для определения толщины с помощью интегрирующего устройства интегрируют модулированный выходной сигнал и по уровню проинтегрированного сигна ла судят о толщине.
СмотретьЗаявка
1091640
В. А. Фабриков, Ю. А. Черенков
МПК / Метки
МПК: G01D 7/06, G01R 33/18
Метки: магнитострикции, пленки, тонкой, ферромагнитной
Опубликовано: 01.01.1967
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-200773-sposob-kontrolya-magnitostrikcii-tonkojj-ferromagnitnojj-plenki.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ контроля магнитострикции тонкой ферромагнитной пленки</a>