Способ контроля качества резисторов

Номер патента: 1359715

Авторы: Канчуковский, Комарова, Мирошниченко, Мороз, Садова

ZIP архив

Текст

СОЮЗ СОВЕТСНИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИН 1 й 3/4 ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ ОБРЕТЕНИЯ ИСАНИ ЕЛЬСТ(71) Одесский государственный университет им.И.И.Мечникова(54) СПОСОБ КОНТРОЛЯ КАЧЕСТВА РЕЗИСТОРОВ(57) Изобретение относится к области микроэлектроники, в частности кетехнологическому процессу изготовления толстопленочных схем. Цель изобретения - повышение надежности за счет учета способа изготовления резистора. Для этого в способе измеряют микротвердости резистивного слоя, нанесенного на керамическую подложку и на проводник, и по их относительному изменению в пределах 103 определяют степень качества.9715 пересчитывают число микротвердостипо Виккерсу (НЧ ). Например, НЧ=68,2.После этого вычисляют относи 5тельное изменение микротвердости реФзистивного слоя, обусловленное разец в исходное положение под объекСпособ контроля качества резистотив микроскопа и измеряют диагоналиров, заключающийся в том, что изме- отпечатка.ряют параметры, по которым определяВычислив среднюю длину диагоналиют степень качества резисторов, о т - отпечаткал и ч а ю щ и й с я тем, что, са"+ атс 12целью повьппения надежности за счетЧучета способа изготовления резистопересчитывают ее на число микротвер ра, в качестве параметров измеряют дости по Виккерсу. Например, НЧ = микротвердости резистивного слоя,=64,.На резистивном слое, нанесен- нанесенного на керамическую подложку, ном на поверхность керамической под- и на проводник, и определяют степень ложки, повторяют измерения. Вычислив качества по относительному изменению среднюю длину диагонали отпечатка, 50 микротвердостей в пределах 103.Составитель В.ШиманскаяРедактор М.Васильева Техред М, Ходанич Корректор Л.Патай Тираж 776 ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д, 4/5Заказ 6149/46 Подписное Производственно-полиграфическое предприятие, г.Ужгород, ул.Проектная, 4 1 135Изобретение относится к микроэлектронике, в частности к технологическому процессуизготовления гиб" оридных толстопленочных микросхем.Цель изобретения - повышение надежности за счет учета способа изготовления резистора.П р и м е р. Для контроля качества толстопленочных резисторов с сопротивлением 100 кОм устанавливают образец в держатели на столике прибора типа ПМТтак, чтобы его поверхность была параллельна плоскости столика, Установленный образец просматривают через окуляр и выбирают на резистивном слое участок в средней части области пленочного межсоединения резистивного слоя с проводником, в котором проводят измерение микротвердости по Виккерсу. Выбранный участок размещают в середине поля зрения микроскопа - точно в вершине угла неподвижной сетки. Затем устанавливают груз массой 40 г и поворачивают с помощью ручки стаолика на 180 (от одного упора до другого) для подведения выбранного участка образца под алмазную пирамиду. После этого медленным поворотом ручки на 180 в течение 30 с опускают шток с алмазной пирамидкой так, чтобы алмаз коснулся образца. В этом положении выдерживают образец под нагрузкой в течение 10 с, после чего поднимают шток с алмазом,Поворотом столика возвращают обНЧ - НЧ;РНЧ = - в100 НЧВ данном случае 3 НЧ = 5,17В результате исследований установлено, что относительное изменениемикротвердости связано с кинетикойстарения резистивных элементов прихранении и тем более при эксплуата 15ции под нагрузкой в условиях повышенных температур,Чем меньше относительное изменение микротвердости, тем выше качество сформированного пленочного резистивного элемента, тем менееон склонен к деградации с течением времени, тем вьппе его параметррическая стабильность.У образцов относительное изменение микротвердости после контролясоставляло 1, 2, 5, 1 ОХ и практически не изменялось в течение 12 месяцев, а также после их коррозионных30испытаний и испытаний под нагрузкой,т.е. параметры образцов стабильны.У образцов с относительным изменением микротвердости больше 103наблюдалось значительное иЗменениеих характеристик.35формула изобретения

Смотреть

Заявка

4095361, 11.06.1986

ОДЕССКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ ИМ. И. И. МЕЧНИКОВА

КАНЧУКОВСКИЙ ОЛЕГ ПЕТРОВИЧ, МОРОЗ ЛИДИЯ ВАСИЛЬЕВНА, КОМАРОВА НАТАЛЬЯ ВЛАДИМИРОВНА, САДОВА НИНА НИКОЛАЕВНА, МИРОШНИЧЕНКО АЛЕКСАНДР СЕРГЕЕВИЧ

МПК / Метки

МПК: G01N 3/42

Метки: качества, резисторов

Опубликовано: 15.12.1987

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-1359715-sposob-kontrolya-kachestva-rezistorov.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ контроля качества резисторов</a>

Похожие патенты