Способ контроля диаметра микропроволоки

,н 1 . ЗОБРЕТЕНИ ПИСА ТО измериено для дназ ОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТ МУ СВИДЕТЕЛЬСТ(71) Центральное проектно-конструкторское и технологическое бюро научного приборостроения АН УЗССР (72) И.И.Хаммадов(56) Авторское свидетельство СССР 9 1026005, кл. С 01 В 11/10, 1981,Авторское свидетельство СССР У 859807, кл, С 01 В 11/10, 1979. (54) СПОСОБ КОНТРОЛЯ ДИАМЕТРА МИКРО- ПРОВОЛОКИ(57) Изобретение относится к тельной технике и пре нач Я 01359667 А 1 неразрушающего оптического бесконтак тного контроля диаметра микропроволо ки как в статике, так и в динамике. Цель изобретения - повышение точности и упрощение процесса контроля. Устанавливают между источником 1 монохроматического параллельного потоксвета и выпуклой сферической дифрак. ционной решеткой 2 параллельно еештрихам контролируемую микропроволоку 4, направляют поток света на дифракционную решетку 2, регистрируют,отраженные от штрихов решетки 2 равноотстоящие лучи и по количеству затененных лучей судят о диаметре микропроволоки.4, 1 ил.135966 Формула изобретения Составитель Л.ЛобзоваТехред М.Дидык Корректор М.Максимишинец Редактор Э.Слиган Заказ 6146/44 Тираж 677 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета СССРпо делам изобретений и открытий113035, Москва, Ж, Раушская наб д. 4/5 Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул, Проектная, 4 Изобретение относится к измерительной технике и предназначено длянвразрушающего оптического бесконтактного контроля диаметра микропро 5волоки из раэличнык непрозрачных материалов, используемых в изделиях.электронной техники, как в статике,так и в динамике.Цель изобретения - повышение точности и упрощение процесса контроляпутем исключения погрешностей нестабильности источников, Формированичи отсчета импульсов переднего и заднего фронтов, причем погрешность автоматически задается условием выборадля микропроволоки соответствующейрешетки.На чертеже изображена принципиальная схема устройства для осуществления способа контроля диаметра микропроволоки.Устройство содержит источник 1монохроматического параллельного потока света, например лазер, выпуклую 25сферическую дифракционную решетку 2и регистрирующий прибор 3.Способ осуществляют следующим об,разом.Направляют параллельный монохроматический поток света от источника 1на контролируемую микропроволоку 4,расположенную между источником 1 ивыпуклой сферической дифракционнойрешеткой 2 параллельно ее штрихам.Отраженный от решетки 2 поток формируется в виде равноотстоящих друг отдруга лучей 5, которые направляют нарегистрирующий прибор 3 в виде наборафотодатчиков, равноотстоящих друг от 40друга на расстоянии, равном расстоянию между лучами. Затененный контролируемой микропроволокой 4 участок йпотока света отображается на регистрирующем приборе 3,45Число штрихов дифракционной решетки 2 определяется заданной для конт 7 2роля погрешностью. Например, приконтроле микропроволоки диаметром,100 мкм с заданной погрешностью + 17можно применить дифракционную решетку с периодом 1000 штрихов/мм. Радиускривизны выпуклой сферической дифракционной решетки выбирается в зависимости от конструкции регистрирующегоприбора 3 и расстояния между ним ирешеткой 2, причем в контроле диаметра микропроволоки нет необходимостив определении радиуса кривизны и любых других геометрических параметров.В случае, когда диаметр микропроволоки 100 мкм, а дифракционная решеткаимеет 1000 штрихов/мм, участок будетсодержать 100 затененных лучей, равноотстоящих друг от друга.с ценойделения 1 мкм. Отклонение на 1 мкмдиаметра микропроволоки в ту или инуюсторону даст участок затенения в 101деление (в случае, когда проволокатолще) или в 99 делений (когда проволока тоньше). Точность контролясоставляет 1 Ж. Используя дифракционную решетку с другим числом штриховна мм можно задать любую точностьконтроля. Способ контроля диаметра микропроволоки, заключающийся в 1 ом, чтонаправляют световой поток на микропроволоку и судят о ее диаметре,о т л и ч а ю щ и й с я тем, что,с целью повышения точности и упрощения процесса контроля, устанавливаютна пути светового потока после микропроволоки выпуклую сферическую дифракционную решетку так, что еештрихи параллельны микропроволоке,регистрируют отраженные от штриховрешетки лучи и по количеству затененных проволокой лучей судят о диаметремикропроволоки,